Produktserien mit Vakuum-geeigneten Artikeln

PI bietet bei ausgewählten Produktserien spezifische Katalogartikel, die bereits für Hochvakuum (HV) bzw. Ultrahochvakuum (UHV) geeignet sind.

Darüber hinaus können die meisten PI Achsen und auch Mehrachslösungen auf Anfrage für den Einsatz im Vakuum modifiziert werden. Weitere Informationen über PIs Design-for-Vacuum finden Sie auf der >> Vakuum Technologieseite.

Hexapoden

H-850.V Vacuum-Compatible 6-Axis Hexapod

Für Lasten bis 80 kg
  • Stellwege X/Y/Z [mm]: ±50/±50/±25
  • Max. Belastbark. horiz./beliebig [kg]: 80/40
  • Kleinste Schrittw. X/Y/Z [µm]: 0.3/0.3/0.2
  • Haltekraft horiz./beliebig [N]: 2000/500
  • Vakuumkompatibel bis [hPa]: 10-6

H-811.I2V Vakuumgeeigneter 6-Achsen-Miniatur-Hexapod

Schnell, kompakt und höchst präzise
  • Stellwege X/Y/Z [mm]: ±17/±16/±6.5
  • Max. Belastbark. horiz./beliebig [kg]: 5/2.5
  • Max. Geschw. [mm/s]: 10
  • Kleinste Schrittw. X/Y/Z [µm]: 0.2/0.2/0.08
  • Vakuumkompatibel bis [hPa]: 10-6

H-824.V Vakuumgeeigneter 6-Achsen-Hexapod

Kompakt und präzise
  • Stellwege X/Y/Z [mm]: ±22.5/±12.5/±7.5
  • Max. Belastbark. horiz./beliebig [kg]: 5/2.5
  • Max. Geschw. X/Y/Z [mm/s]: 12.5
  • Kleinste Schrittw. X/Y/Z [µm]: 0.3/0.3/0.3
  • Vakuumkompatibel bis [hPa]: 10-6

Lineartische, Rotationstische, Hubtische und Zubehör

NEW

P-891.VA • P-892.VA Vakuumdurchführung

Zubehör für vakuumgeeignete Piezopositionierer

L-220 V6 Vakuumgeeigneter hochauflösender Linearaktor

Für hohe Zyklenzahlen geeignet
VFxx Vacuum Feedthroughs

C-815.VFxx Vakuumdurchführungen

Schnittstelle zwischen Luftseite und Hochvakuum (HV) bzw. Ultrahochvakuum (UHV)

RS-40 V7 Vakuumgeeigneter kompakter Rotationstisch

Präzise Positionierung

M-110 • M-111 • M-112 V6 Vakuumgeeigneter kompakter Lineartisch

XY(Z)-Kombinationen mit DC-Getriebemotor, verschiedene Stellwegvarianten

L-509 V6 • V7 • V9 Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch

Kompakte Bauform, für Lasten bis 10 kg

L-611 V6 • V7 • V9 Vakuumgeeigneter Präzisions-Rotationstisch

Hohe Ablaufgenauigkeit

VT-80 V6 Vakuumgeeigneter Lineartisch

Basisversion für universelle Einsatzgebiete

L-310 V6 Vakuumgeeigneter Präzisionshubtisch

Kompakt kombinierbar mit Linear- und Drehtischen
Adapter Bracket

AB-65 Adapterwinkel

Für die vertikale Montage von Linear- und Rotationstischen
PI L-500

L-500 Adapterwinkel

Für die vertikale Montage von Linear- und Rotationstischen

Piezoaktoren und -tische

NEW

P-621.1U • P-625.1U PIHera Linearer Präzisionspositionierer

Vakuumkompatibel und variabel in Stellweg und Achskonfiguration
Preloaded Piezo Actuators

P-841 Vorgespannte Piezoaktoren

Kompakte Aktoren für hohe Lasten und Kräfte, mit Positionssensor

P-733.3 XYZ-Piezonanopositionierer

Hochpräziser XYZ-Scanner mit Apertur

P-733.2 XY-Piezonanopositionierer

Hochpräziser XY-Scanner mit Apertur

P-216 PICA Power Piezoaktor

Vorgespannte Piezoaktoren (HVPZT) mit Sensoroption

P-212 PICA Power Piezoaktor

Vorgespannte Piezoaktoren (HVPZT) mit Sensoroption

P-845 Vorgespannte Piezoaktoren

Für hohe Lasten und Kräfte, mit Positionssensor

P-844 Vorgespannte Piezoaktoren

Für hohe Lasten und Kräfte

P-843 Vorgespannte Piezoaktoren

Für hohe Lasten und Kräfte, mit Positionssensor

P-842 Vorgespannte Piezoaktoren

Für hohe Lasten und Kräfte

P-840 Vorgespannte Piezoaktoren

Kompakte Aktoren für hohe Lasten und Kräfte

P-753 LISA Linearaktor und Positioniertisch

Dynamisch und positionsstabil

P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch

Hochpräziser Nanopositionierer für bis zu 3 Achsen

P-518 • P-528 • P-558 Piezo-Hub- und Kipptisch

Hochdynamisch, mit großer Apertur

P-363 PicoCube® XY(Z) Piezoscanner

Dynamischer Nanopositionierer für die Rastersondenmikroskopie

P-235 PICA Power Piezoaktoren

Vorgespannte Hochlast-Piezoaktoren (HVPZT) mit Sensoroption

P-225 PICA Power Piezoaktoren

Vorgespannte Hochlast-Piezoaktoren (HVPZT) mit Sensoroption

N-480 Hochpräziser kinematischer Spiegelhalter

Mit N-470 PiezoMike Linearaktoren

N-470.V PiezoMike Linearaktor

Minimale Abmessungen, hohe Kräfte, stabile Positionierung, Vakuum bis 10-6 hPa

Sensoren

Capacitive Sensors

D-015 • D-050 • D-100 Kapazitive Sensoren

Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich