L-310.021211V6, Abmessungen in mm
Hubtisch der Präzisionsklasse
Hohe Führungsgenauigkeit und Steifigkeit durch Kugelumlaufspindel und Kreuzrollenführungen. Grundprofil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität. Kontaktlose End- und Referenzschalter (Hall-Effekt). Referenzschalter mit Richtungserkennung in der Mitte des Stellwegs. Integrierter Linearencoder, zentrisch montiert.
Anwendungen und Use Cases
Vakuumkammern
Forschung
Beamline-Instrumentierung
Mikroskopie
Elektronikmontage und -inspektion
Technologie
Antriebsart: 2-Phasen-Schrittmotor für hohes Drehmoment auch bei kleinen Geschwindigkeiten und hohe Auflösung.
Positionsmessung: Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.
Reduziertes Ausgasen speziell für den Einsatz in Vakuumumgebung: Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden. Durch diese und weitere Modifikationen der PI Vakuumklasse V6 kann dieser Positionierer bei bis zu 10-6 hPa verwendet werden.
Positionieren | Einheit | Toleranz | L-310.021211V6 |
|---|---|---|---|
Kleinste Schrittweite | µm | typ. | 0,05 |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit | µm | typ. | ±0,05 |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit | µm | typ. | 0,4 |
Referenzschalter |
|
| Hall-Effekt, Öffner, 5 V, NPN |
Wiederholgenauigkeit des Referenzschalters | µm |
| 2 |
Endschalter |
|
| Hall-Effekt, Öffner, 5 V, NPN |
Integrierter Sensor |
|
| Inkrementeller Linearencoder |
Sensorsignal |
|
| Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze |
Sensorsignalperiode | µm |
| 20 |
Mechanische Eigenschaften | Einheit | Toleranz | L-310.021211V6 |
|---|---|---|---|
Zulässige Druckkraft in X | N | max. | 100 |
Zulässige Druckkraft in Y | N | max. | 50 |
Zulässige Druckkraft in Z | N | max. | 55 |
Zulässiges Moment in θX | Nm | max. | 40 |
Zulässiges Moment in θY | Nm | max. | 80 |
Zulässiges Moment in θZ | Nm | max. | 80 |
Haltekraft in Z, passiv | N |
| 50 |
Bewegte Masse in Z, unbelastet | kg |
| 0,9 |
Spindeltyp |
|
| Kugelumlaufspindel |
Spindelsteigung | mm |
| 1 |
Führung |
|
| Kreuzrollenführung |
Gesamtmasse | kg |
| 2,6 |
Material |
|
| Aluminium, eloxiert |
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
L-310.021211V6
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Vakuumgeeigneter Präzisionshubtisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 26 mm Stellweg; 55 N Belastbarkeit; 7,5 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; Inkrementeller Linearencoder, 20 μm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Adapterwinkel AB-65 L für die vertikale Montage von Linear- und Rotationstischen; Aluminium, blank; vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Vakuumdurchführung, D-Sub 15 (m/f), geeignet für Hochvakuum (bis 10-6 hPa)
Vakuumdurchführung, HD D-Sub 26 (m/f), geeignet für Hochvakuum (bis 10-6 hPa)
Vakuumdurchführung, D-Sub 9 (m/f), geeignet für Hochvakuum (bis 10-6 hPa)
Vakuumdurchführung, CF40-Flansch, 1 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10-9 hPa)
Vakuumdurchführung, CF63-Flansch, 3 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10-9 hPa)
Vakuumdurchführung, CF100-Flansch, 6 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10-9 hPa)
Vakuumdurchführung, CF160-Flansch, 15 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10-9 hPa)
Vakuumdurchführung, CF63-Flansch, 1 × D-Sub 9 (m/m) und 1 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10-9 hPa)
Vakuumdurchführung, CF100-Flansch, 3 × D-Sub 9 (m/m) und 3 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10-9 hPa)
Vakuumdurchführung, CF160-Flansch, 6 × D-Sub 9 (m/m) und 6 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10-9 hPa)
Adapterwinkel AB-65 L, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Adapterwinkel zur vertikalen Montage von Positionierern mit bis zu 100 mm Breite und bis zu 300 mm Länge, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Adapterwinkel zur vertikalen Montage von Positionierern mit bis zu 100 mm Breite und bis zu 300 mm Länge, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Die drehenden Elektromotoren, wie zum Beispiel DC- oder Schrittmotoren, werden in Verbindung mit Spindel- oder Schneckenantrieb eingesetzt.
