Vakuumgeeigneter kompakter Lineartisch; DC-Getriebemotor; 5 mm Stellweg; 30 N Belastbarkeit; 1 mm/s maximale Geschwindigkeit; Feingewindespindel; Inkrementeller Rotationsencoder, 2048 Impulse/U Auflösung, A/B-Quadratur, RS-422; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa; 0,5 m Kabellänge
M-110 • M-111 • M-112 V6 Vakuumgeeigneter kompakter Lineartisch
XY(Z)-Kombinationen mit DC-Getriebemotor, verschiedene Stellwegvarianten
- Vakuumgeeignet bis zu 10-6 hPa
- Sehr kompakt durch gefalteten Antrieb
- Geregelte DC-Motoren
- Stellwege: 5, 15 und 25 mm
- Kontaktlose Referenz- und Endschalter
- XY-Aufbauten direkt montierbar
Kompakter Lineartisch, vielseitig einsetzbar
Lineartisch mit kompakter Baugröße durch gefalteten Antrieb mit Riemengetriebe. Freie Apertur mit 10 mm Ø. XY-Aufbauten sind ohne Adapterplatte direkt montierbar.
Reduziertes Ausgasen speziell für den Einsatz in Vakuumumgebung
Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden. Durch diese und weitere Modifikationen der PI Vakuumklasse V6 kann dieser Positionierer bei bis zu 10-6 hPa verwendet werden.
Antrieb
- Geregelter DC-Getriebemotor
- Spielfrei vorgespannte Gewindespindel
Positionsmessung
- Rotationsencoder auf der Motorwelle
- Kontaktlose Hall-Effekt-Referenz- und Endschalter
Einsatzgebiete
Vakuumkammern. Forschung. Beamline-Instrumentierung. Mikroskopie. Elektronikmontage und -inspektion.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | M-110.1VG1 | M-111.1VG1 | M-112.1VG1 | Toleranz |
---|---|---|---|---|
Aktive Achsen | X | X | X | |
Stellweg in X | 5 mm | 15 mm | 25 mm | |
Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 1 mm/s | 1,5 mm/s | 1,5 mm/s | |
Positionieren | M-110.1VG1 | M-111.1VG1 | M-112.1VG1 | Toleranz |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | 0,25 µm | 0,25 µm | 0,25 µm | typ. |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 2 µm | ± 2 µm | ± 2 µm | typ. |
Kleinste Schrittweite in X | 0,05 µm | 0,05 µm | 0,05 µm | typ. |
Umkehrspiel in X | 3 µm | 3 µm | 3 µm | typ. |
Referenzschalter | Hall-Effekt | Hall-Effekt | Hall-Effekt | |
Endschalter | Hall-Effekt | Hall-Effekt | Hall-Effekt | |
Motorencoder | Inkrementeller Rotationsencoder | Inkrementeller Rotationsencoder | Inkrementeller Rotationsencoder | |
Auflösung Motorencoder | 2048 Impulse/U | 2048 Impulse/U | 2048 Impulse/U | |
Sensorsignal Motorencoder | A/B-Quadratur, RS-422 | A/B-Quadratur, RS-422 | A/B-Quadratur, RS-422 | |
Antriebseigenschaften | M-110.1VG1 | M-111.1VG1 | M-112.1VG1 | Toleranz |
Antriebstyp | DC-Getriebemotor | DC-Getriebemotor | DC-Getriebemotor | |
Nennspannung | 12 V | 12 V | 12 V | |
Nennstrom, effektiv | 0,16 A | 0,32 A | 0,32 A | typ. |
Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X | 10 N | 10 N | 10 N | typ. |
Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X | 10 N | 10 N | 10 N | typ. |
Mechanische Eigenschaften | M-110.1VG1 | M-111.1VG1 | M-112.1VG1 | Toleranz |
Führung | Kugelführung | Kugelführung | Kugelführung | |
Spindeltyp | Feingewindespindel | Feingewindespindel | Feingewindespindel | |
Spindelsteigung | 0,4 mm | 0,4 mm | 0,4 mm | |
Getriebeuntersetzung i | 256 : 9 | 256 : 9 | 256 : 9 | |
Haltekraft in X, passiv | 10 N | 10 N | 10 N | |
Bewegte Masse in X, unbelastet | 11 g | 11 g | 11 g | |
Zulässige Druckkraft in Y | 15 N | 10 N | 10 N | max. |
Zulässige Druckkraft in Z | 30 N | 30 N | 20 N | max. |
Zulässiges Moment in θX | 0,15 N·m | 0,15 N·m | 0,15 N·m | max. |
Zulässiges Moment in θY | 0,15 N·m | 0,15 N·m | 0,15 N·m | max. |
Zulässiges Moment in θZ | 0,15 N·m | 0,15 N·m | 0,15 N·m | max. |
Gesamtmasse | 250 g | 270 g | 300 g | |
Material | Aluminium eloxiert | Aluminium eloxiert | Aluminium eloxiert | |
Anschlüsse und Umgebung | M-110.1VG1 | M-111.1VG1 | M-112.1VG1 | Toleranz |
Anschluss | HD D-Sub 26-polig (m) | HD D-Sub 26-polig (m) | HD D-Sub 26-polig (m) | |
Vakuumklasse | 10⁻⁶ hPa | 10⁻⁶ hPa | 10⁻⁶ hPa | |
Empfohlene Controller / Treiber | C-863 C-884 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-863 C-884 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-863 C-884 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | |
Kabellänge | 0,5 m | 0,5 m | 0,5 m | |
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 65 °C | -20 bis 65 °C | -20 bis 65 °C |
Hinweis zu kleinster Schrittweite: Werte werden mit empfohlenem Controller erreicht
Hinweis zu Nennstrom: Werte gelten pro Phase
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch M110T0032
M-110.xxx1 / M-111.xxx1 / M-112.xxx1 Mikrostelltisch
3-D-Modelle
3D-Modell M-11x.xxx1 V6
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Vakuumgeeigneter kompakter Lineartisch; DC-Getriebemotor; 15 mm Stellweg; 30 N Belastbarkeit; 1,5 mm/s maximale Geschwindigkeit; Feingewindespindel; Inkrementeller Rotationsencoder, 2048 Impulse/U Auflösung, A/B-Quadratur, RS-422; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa; 0,5 m Kabellänge
Vakuumgeeigneter kompakter Lineartisch; DC-Getriebemotor; 25 mm Stellweg; 20 N Belastbarkeit; 1,5 mm/s maximale Geschwindigkeit; Feingewindespindel; Inkrementeller Rotationsencoder, 2048 Impulse/U Auflösung, A/B-Quadratur, RS-422; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa; 0,5 m Kabellänge
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Technologie
Vakuum
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Drehende Elektromotoren
Die drehenden Elektromotoren, wie zum Beispiel DC- oder Schrittmotoren, werden in Verbindung mit Spindel- oder Schneckenantrieb eingesetzt.