A-63x PIglide RL Flacher Rotationstisch mit Luftlager

Reibungsfrei, motorisiert

  • Durchmesser Bewegungsplattform 150 mm, 200 mm oder 350 mm
  • Niedrige Bauhöhe
  • Exzentrizität und Ebenheit < 100 nm
  • Möglichkeit zur Selbsthemmung im Stillstand durch magnetische Vorspannung
A-63x PIglide RL Flacher Rotationstisch mit Luftlager
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung

Produktübersicht

Die direktangetriebenen Rotationstische der PIglide RL-Serie sind für höchste Präzision ausgelegt und haben eine flache Bauform. Verschiedene Optionen können zu einer Lösung kombiniert werden, die ideal für Punkt-zu-Punkt Indizierung oder Scannen mit konstanter Geschwindigkeit ist. Die RL-Tische bieten eine überragende Leistung bei Ablaufgenauigkeit, Ebenheit und Taumeln.

3-Phasen-Torquemotor

  • Bürstenlos
  • Nutenlos
  • Geringes Rastmoment

Absolutencoder (optional)

Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden.

Zubehör und Optionen

  • Inkrementeller oder absoluter Encoder
  • Vakuumdurchführung
  • Selbsthemmung im Stillstand durch magnetische Vorspannung
  • Freie Apertur auf Anforderung
  • PIglide Filter und Druckregler
  • Ein- oder mehrachsige Motion Controller und Servoantriebe
  • Mehrachs-/ kundenspezifische Aufbauten
  • Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung

Einsatzgebiete

Optische Justage, Waferinspektion, Waferjustage, Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen.

Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt A-63x

Version / Datum
2021-12-09
pdf - 2 MB
Version / Datum
2021-12-09
pdf - 2 MB
Version / Datum
2020-01-14
pdf - 702 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt A-63x

Version / Datum
2021-12-09
pdf - 2 MB
Version / Datum
2021-12-09
pdf - 2 MB
Version / Datum
2020-01-14
pdf - 702 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch A630D0001

A-63x Series Low Profile Rotary Air Bearing Stage PIglide RL, Direct-drive Torque Motor Driven with Encoder Feedback

Version / Datum
3.0 2021-11-29
pdf - 1 MB
Englisch

3-D-Modelle

3-D-Modelle

A-63x 3D-Modell

Version / Datum
2021-12-09
zip - 3 MB

Angebot / Bestellung

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A-634.B100 NEW!

PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 150 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor

A-638.B100 NEW!

PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 350 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor

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