A-63x PIglide RL Flacher Rotationstisch mit Luftlager

Reibungsfrei, motorisiert

A-63x PIglide RL Flacher Rotationstisch mit Luftlager
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Durchmesser Bewegungsplattform 150 mm, 200 mm, 300 mm oder 350 mm
  • Niedrige Bauhöhe
  • Exzentrizität und Ebenheit < 100 nm
  • Möglichkeit zur Selbsthemmung im Stillstand durch magnetische Vorspannung

Produktübersicht

Die direktangetriebenen Rotationstische der PIglide RL-Serie sind für höchste Präzision ausgelegt und haben eine flache Bauform. Verschiedene Optionen können zu einer Lösung kombiniert werden, die ideal für Punkt-zu-Punkt Indizierung oder Scannen mit konstanter Geschwindigkeit ist. Die RL-Tische bieten eine überragende Leistung bei Ablaufgenauigkeit, Ebenheit und Taumeln.

3-Phasen-Torquemotor

  • Bürstenlos
  • Nutenlos
  • Geringes Rastmoment

Absolutencoder (optional)

Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden.

Zubehör und Optionen

  • Inkrementeller oder absoluter Encoder
  • Vakuumdurchführung
  • Selbsthemmung im Stillstand durch magnetische Vorspannung
  • Freie Apertur auf Anforderung
  • PIglide Filter und Druckregler
  • Ein- oder mehrachsige Motion Controller und Servoantriebe
  • Mehrachs-/ kundenspezifische Aufbauten
  • Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung

Einsatzgebiete

Optische Justage, Waferinspektion, Waferjustage, Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen.

Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt A-63x

Version / Datum
2020-04-01
Version / Datum
2020-04-01
Dokumentsprache
pdf - 701 KB
pdf - 706 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt A-63x

Version / Datum
2020-04-01
Version / Datum
2020-04-01
Dokumentsprache
pdf - 701 KB
pdf - 706 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch A630D0001

A-63x Series Low Profile Rotary Air Bearing Stage PIglide RL, Direct-drive Torque Motor Driven with Encoder Feedback
Version / Datum
2.2 2020-03-31
Dokumentsprache Englisch
Anfrage Downloadlink

3-D-Modelle

3-D-Modelle

A-63x 3D-Modell

Version / Datum
2020-03-18
Anfrage Downloadlink

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A-634.A100 NEW!
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 150 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, Winkelmesssystem mit sin/cos-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
A-634.B100 NEW!
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 150 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
A-635.A100
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 200 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, Winkelmesssystem mit sin/cos-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
A-635.B100
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 200 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
A-637.A100
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 300 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, Winkelmesssystem mit sin/cos-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
A-637.B100
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 300 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
A-638.A100 NEW!
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 350 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, Winkelmesssystem mit sin/cos-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
A-638.B100 NEW!
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 350 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor