S-303 Piezo-Phasenschieber

Hochdynamische, sub-nanometergenaue Piezophasenschieber

Resonanzfrequenz 25 kHz für höchste Dynamik
Stellweg bis 3 µm
Geringe Abmessungen: Ø 30 mm × 10 mm
Ungeregelte Versionen mit Apertur
Invar-Option für höchste thermische Stabilität

Ein 250-Picometer-Schritt (0,25 nm) der S-303 Plattform, angesteuert mit einem E-503 Verstärkermodul und einem E 509.C1A Servocontroller-Modul. Gemessen mit einem speziellen ultrahochauflösenden, kapazitiven Messgerät, ±0,02 nm Auflösung.

S-303.CD / .CDi, Abmessungen in mm.

S-303.0L / .0Li, Abmessungen in mm.

Einsatzgebiete

(Fizeau-) Interferometrie
Optische Nanomanipulation und Prüfung
Scanning-Mikroskopie

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

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Datenblatt

Version / Datum

2021-03-19

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Version / Datum

2021-03-19

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Bewegen	S-303.0L	S-303.CD	S-303.0LI	S-303.CDI	Toleranz
Aktive Achsen	Z	Z	Z	Z
Stellweg in Z, ungeregelt	3 µm	3 µm	3 µm	3 µm	±20%
Stellweg in Z		2 µm		2 µm
Linearitätsabweichung in Z		1 %		1 %	typ.
Positionieren	S-303.0L	S-303.CD	S-303.0LI	S-303.CDI	Toleranz
Auflösung in Z, ungeregelt	0,03 nm	0,03 nm	0,03 nm	0,03 nm	typ.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z, 10% Stellweg	± 1,4 nm	± 1,4 nm	± 1,4 nm	± 1,4 nm	typ.
Systemauflösung in Z		0,03 nm		0,03 nm
Integrierter Sensor		Kapazitiv, direkte Positionsmessung		Kapazitiv, direkte Positionsmessung
Antriebseigenschaften	S-303.0L	S-303.CD	S-303.0LI	S-303.CDI	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Betriebsspannung	-20 bis 120 V	-20 bis 120 V	-20 bis 120 V	-20 bis 120 V
Elektrische Kapazität in Z	0,9 µF	0,9 µF	0,9 µF	0,9 µF	±20%
Mechanische Eigenschaften	S-303.0L	S-303.CD	S-303.0LI	S-303.CDI	Toleranz
Führung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
Steifigkeit in Z	400 N/µm	400 N/µm	400 N/µm	400 N/µm	±20%
Resonanzfrequenz in Z, unbelastet	25000 Hz	25000 Hz	25000 Hz	25000 Hz	±20%
Zulässige Druckkraft in Z	0,5 N	0,5 N	0,5 N	0,5 N	max.
Zulässige Zugkraft in Z	0,5 N	0,5 N	0,5 N	0,5 N	max.
Zulässiges Moment in θZ	0,1 N·m	0,1 N·m	0,1 N·m	0,1 N·m	max.
Gesamtmasse	30 g	100 g	30 g	100 g
Material	Aluminium	Aluminium	Invar	Invar
Anschlüsse und Umgebung	S-303.0L	S-303.CD	S-303.0LI	S-303.CDI	Toleranz
Anschluss	LEMO FFS.00.250.CTCE24	D-Sub 7W2 (m)	LEMO FFS.00.250.CTCE24	D-Sub 7W2 (m)
Empfohlene Controller / Treiber	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-663, E-665, E-709, E-709.CHG, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-663, E-665, E-709, E-709.CHG, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-663, E-665, E-709, E-709.CHG, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-663, E-665, E-709, E-709.CHG, E-754
Kabellänge	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C
Sensoranschluss		D-Sub 7W2 (m)		D-Sub 7W2 (m)

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

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Datenblatt

Version / Datum

2021-03-19

pdf - 848 KB

Version / Datum

2021-03-19

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Dokumentation

S-303 Piezo-Phasenschieber

Version / Datum

2020-02-03

pdf - 1 MB

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2020-02-03

pdf - 1 MB

Dokumentation

Piezokippplattformen: S-3xx

Version / Datum

1.3.0 09/2021

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Version / Datum

1.3.0 09/2021

pdf - 1 MB

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3-D-Modelle

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3-D-Modelle

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S-303.0L

Piezophasenschieber, 3 µm, ohne Sensor

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S-303.CD

Piezophasenschieber, 3 µm, kapazitiver Sensor

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S-303.0LI

Piezophasenschieber, 3 µm, ohne Sensor, Invar

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S-303.CDI

Piezophasenschieber, 3 µm, kapazitiver Sensor, Invar

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