S-303.0L
Piezophasenschieber, 3 µm, ohne Sensor
S-303 Piezo-Phasenschieber
Hochdynamische, sub-nanometergenaue Piezophasenschieber
- Resonanzfrequenz 25 kHz für höchste Dynamik
- Stellweg bis 3 µm
- Geringe Abmessungen: Ø 30 mm × 10 mm
- Ungeregelte Versionen mit Apertur
- Invar-Option für höchste thermische Stabilität
Ein 250-Picometer-Schritt (0,25 nm) der S-303 Plattform, angesteuert mit einem E-503 Verstärkermodul und einem E 509.C1A Servocontroller-Modul. Gemessen mit einem speziellen ultrahochauflösenden, kapazitiven Messgerät, ±0,02 nm Auflösung.
S-303.CD / .CDi, Abmessungen in mm.
S-303.0L / .0Li, Abmessungen in mm.
S-303 Piezo-Phasenschieber
Produktbeschreibung
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Einsatzgebiete
- (Fizeau-) Interferometrie
- Optische Nanomanipulation und Prüfung
- Scanning-Mikroskopie
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung
Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.
Spezifikationen
Spezifikationen
| Bewegen | S-303.0L | S-303.CD | S-303.0LI | S-303.CDI | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | Z | Z | Z | Z | |
| Stellweg in Z, ungeregelt | 3 µm | 3 µm | 3 µm | 3 µm | ±20% |
| Stellweg in Z | 2 µm | 2 µm | |||
| Linearitätsabweichung in Z | 1 % | 1 % | typ. | ||
| Positionieren | S-303.0L | S-303.CD | S-303.0LI | S-303.CDI | Toleranz |
| Auflösung in Z, ungeregelt | 0,03 nm | 0,03 nm | 0,03 nm | 0,03 nm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z, 10% Stellweg | ± 1,4 nm | ± 1,4 nm | ± 1,4 nm | ± 1,4 nm | typ. |
| Systemauflösung in Z | 0,03 nm | 0,03 nm | |||
| Integrierter Sensor | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | |||
| Antriebseigenschaften | S-303.0L | S-303.CD | S-303.0LI | S-303.CDI | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Betriebsspannung | -20 bis 120 V | -20 bis 120 V | -20 bis 120 V | -20 bis 120 V | |
| Elektrische Kapazität in Z | 0,9 µF | 0,9 µF | 0,9 µF | 0,9 µF | ±20% |
| Mechanische Eigenschaften | S-303.0L | S-303.CD | S-303.0LI | S-303.CDI | Toleranz |
| Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
| Steifigkeit in Z | 400 N/µm | 400 N/µm | 400 N/µm | 400 N/µm | ±20% |
| Resonanzfrequenz in Z, unbelastet | 25000 Hz | 25000 Hz | 25000 Hz | 25000 Hz | ±20% |
| Zulässige Druckkraft in Z | 0,5 N | 0,5 N | 0,5 N | 0,5 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Z | 0,5 N | 0,5 N | 0,5 N | 0,5 N | max. |
| Zulässiges Moment in θZ | 0,1 N·m | 0,1 N·m | 0,1 N·m | 0,1 N·m | max. |
| Gesamtmasse | 30 g | 100 g | 30 g | 100 g | |
| Material | Aluminium | Aluminium | Invar | Invar | |
| Anschlüsse und Umgebung | S-303.0L | S-303.CD | S-303.0LI | S-303.CDI | Toleranz |
| Anschluss | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | D-Sub 7W2 (m) | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | D-Sub 7W2 (m) | |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-663, E-665, E-709, E-709.CHG, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-663, E-665, E-709, E-709.CHG, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-663, E-665, E-709, E-709.CHG, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-663, E-665, E-709, E-709.CHG, E-754 | |
| Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | |
| Sensoranschluss | D-Sub 7W2 (m) | D-Sub 7W2 (m) |
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Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
3-D-Modelle
3-D-Modelle
3D-Modell S-303.xxI
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3-D-Modelle
3D-Modell S-303.CD
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3-D-Modelle
3D-Modell S-303.xL
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S-303.CD
Piezophasenschieber, 3 µm, kapazitiver Sensor
S-303.0LI
Piezophasenschieber, 3 µm, ohne Sensor, Invar
S-303.CDI
Piezophasenschieber, 3 µm, kapazitiver Sensor, Invar
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