Gezielte Verformung von Oberflächen
Intelligente Piezoaktor- und Ansteuertechnologien für die aktive Regelung von Oberflächenformen
Anwendungen der Zukunft verlangen nicht nur eine präzise Bewegung von Objekten, sondern auch die Verformung und Korrektur von Oberflächen. Dies erfordert intelligente Piezosystemkonzepte. Mit unserer Surface Shaping-Technologie lassen sich große massive Platten mit Nanometergenauigkeit gezielt verformen. Dank fortschrittlicher Ansteuer- und Regelungskonzepte können wir Oberflächenprofile aktiv regeln. Integrierte hochauflösende Sensoren, optional in Kombination mit externer Oberflächenmessung, werden zur Berechnung der Oberflächenformen verwendet und gewährleisten die präzise Erzeugung oder Korrektur langwelliger Abweichungen wie Wölbungen und andere Verformungen. Durch die rechnerische Überlagerung von Zernike-Moden und die Anwendung optimierter Ansteuerstrategien kann das System Verformungen von bis zu 100 µm unter hohen statischen Kräften erreichen. Dieser Ansatz ermöglicht die effiziente gezielte Oberflächenverformung, aber auch eine vielseitige Anpassungsfähigkeit über ein breites Anwendungsspektrum.
Flexibles Aktordesign
Flexibles Aktordesign
Wir bieten eine Vielzahl von Aktordesigns, um den spezifischen Anforderungen unserer Kunden hinsichtlich Bauraum, Hub, Kraft und Auflösung gerecht zu werden. Die Designs sind skalierbar – von Einaktorlösungen bis hin zu großen Arrays mit zahlreichen Aktoren.
Flexibler Betrieb
Flexibler Betrieb
Die Kombination aus dynamischem, quasistatischem und gemischtem Betrieb bietet die Möglichkeit, unterschiedlich große Amplituden mit minimalem Positionierungsrauschen zu erreichen. Möglich sind sowohl dynamische Korrekturen mit hoher Frequenz als auch dauerhaft stabile Verformungen, ohne dass eine dauerhafte Spannungsversorgung erforderlich ist.
Flexible Strukturgröße
Flexible Strukturgröße
Durch den Einsatz strukturierter piezokeramischer Materialien erzielen wir eine außergewöhnliche Flexibilität im Betrieb und können selbst kleinste Strukturen präzise formen.
Flexible Gestaltung
Verschiedene Anordnungen einzelner Aktoren oder Aktorarrays ermöglichen unterschiedliche Arten von Verformungen mit höchster Auflösung. Intelligente Verdrahtungs-, Antriebs- und Sensorkonzepte können zu einer Vereinfachung der Hardwareumgebung beitragen.
Um die Kundenanforderungen von morgen zu erfüllen, haben wir eine hybride Lösung mit intelligenten Aktorarrays geschaffen.
Mathias Winter, Head of Piezo Drives & Systems Technology
Gezielte Verformung von Oberflächen: Technologie von heute für das Potenzial von morgen
Die gezielte Verformung der Oberflächen optischer Komponenten und Substrate mit hoher Auflösung führt zu erheblichen Verbesserungen in der Abbildungs- und Fertigungsqualität, insbesondere in der Laserbearbeitung und in der prozesssensiblen Halbleiterproduktion. In Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern löst unser Ingenieurteam erfolgreich die Herausforderungen, die mit der Verdrahtung, der Ansteuerung und der Oberflächenregelung großer, höchstauflösender Aktorarrays verbunden sind.
Suchen Sie nach einer leistungsstarken, anpassungsfähigen Plattform für die gezielte Verformung von Oberflächen? Sprechen Sie mit unseren Ingenieuren über Ihre spezifischen Anforderungen.
Kontaktieren Sie uns jetzt