P-611.Z Piezohubtisch

Kompakter Nanopositionierer

Kompakt: Grundfläche nur 44 mm × 44 mm
Stellweg 100 µm
Auflösung bis 0,2 nm
Besonders kostengünstige Systeme (Mechanik und Controller)
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
X-, XY-, XZ- und XYZ-Versionen

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Der P-611.ZS benötigt eine Einschwingzeit von 26 ms für einen 10-µm-Schritt bei einer Last von 30 g.

P-611.ZS, Abmessungen in mm

Einsatzgebiete

Mikrobearbeitung
Photonik
Faserpositionierung
Prüfverfahren und Qualitätssicherung

Überragende Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren

Die PICMA^® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA^® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-11

pdf - 529 KB

Version / Datum

2023-12-11

pdf - 533 KB

Version / Datum

2019-01-18

pdf - 718 KB

Version / Datum

2019-01-18

pdf - 800 KB

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Bewegen	P-611.Z0	P-611.ZS	Toleranz
Aktive Achsen	Z	Z
Stellweg in Z, ungeregelt	120 µm	120 µm	±20 %
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z)	± 20 µrad	± 20 µrad	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z)	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
Rollen (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Z)	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
Bandbreite, 10%-Schritt in Z	40 Hz	40 Hz
Stellweg in Z		100 µm
Linearitätsabweichung in Z		0,1 %	typ.
Positionieren	P-611.Z0	P-611.ZS	Toleranz
Auflösung in Z, ungeregelt	0,2 nm	0,2 nm	typ.
Einschwingzeit für 10-%-Schritt in Z	25 ms	25 ms
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z		5 nm	typ.
Integrierter Sensor		DMS, indirekte Positionsmessung
Systemauflösung in Z		2 nm
Antriebseigenschaften	P-611.Z0	P-611.ZS	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®	PICMA®
Elektrische Kapazität in Z	1,5 µF	1,5 µF	±20 %
Mechanische Eigenschaften	P-611.Z0	P-611.ZS	Toleranz
Steifigkeit in Z	0,45 N/µm	0,45 N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz in Z, unbelastet	460 Hz	460 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 30 g	375 Hz	375 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 100 g	265 Hz	265 Hz	±20 %
Zulässige Druckkraft in Z	15 N	15 N	max.
Zulässige Zugkraft in Z	10 N	10 N	max.
Führung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
Gesamtmasse	176 g	176 g
Material	Aluminium, Stahl	Aluminium, Stahl
Anschlüsse und Umgebung	P-611.Z0	P-611.ZS	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C
Anschluss	LEMO FFS.00.250.CTCE24	LEMO FFS.00.250.CTCE24
Kabellänge	1,5 m	1,5 m
Empfohlene Controller / Treiber	E-610, E-625, E-665, E-836	E-610, E-625, E-665, E-709.SRG, E-836
Sensoranschluss		LEMO FFA.0S.304.CLAC32

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Systemeigenschaften

Systemkonfiguration: P-611.ZS und E-665.SR Controller mit 30 g Last

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2023-12-11

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2019-01-18