N-310 NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor

N-310 NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor

Kompakt, schnell, mit großem Stellweg, PiezoWalk® Prinzip

  • Stellweg 20 mm
  • Kompakte Bauform, preisgünstiges Design
  • Auflösung bis 0,03 nm
  • Antriebskraft bis 10 N
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N-310.11, Abmessungen in mm
N-310 NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor
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Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben

Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

Einsatzgebiete

  • Industrielle Präzisionspositionierung
  • Halbleitertechnik
  • Halbleitertests
  • Wafer-Inspektion
  • Lithografie
  • Nanoimprint
  • Nanometrologie
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Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt N-310

Version / Datum
2025-01-23
pdf - 492 KB
Version / Datum
2025-01-23
pdf - 510 KB
Version / Datum
2017-11-16
pdf - 748 KB
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Produktmitteilung

Produktmitteilung

Product Change Notification N-310.XX-N-47X.XX

Version / Datum
2023-01-23
pdf - 86 KB
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Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt N-310

Version / Datum
2025-01-23
pdf - 492 KB
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2025-01-23
pdf - 510 KB
Version / Datum
2017-11-16
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch N310T0012

N-310 NEXACT® OEM Miniatur-Linearantrieb

Version / Datum
2024-12-20
pdf - 986 KB
Englisch

3-D-Modelle

3-D-Modelle

N-310.11 3D-Modell

Version / Datum
2025-01-02
zip - 119 KB
Angebot / Bestellung

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N-310.11

NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT® Piezo-Schreitantrieb; 20 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge

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