N-216 NEXLINE® Linearaktor

Nanopositionierung über große Stellwege, mit hohen Kräften, PiezoWalk® Prinzip

Stellkraft bis 600 N
Haltekraft bis 800 N
Stellweg 20 mm
Direktmessender Linearencoder mit Auflösung 5 nm

Vergleich der Bewegungsarten eines NEXLINE® Aktors: Der Nanoschrittbetrieb bewirkt eine sehr gleichmäßige Bewegung, während der Vollschrittbetrieb eine höhere Geschwindigkeit erlaubt.

N-216, Abmessungen in mm

Einsatzgebiete

Industrielle Präzisionspositionierung
Halbleitertechnik
Halbleitertests
Wafer-Inspektion
Lithografie
Nanoimprint
Nanometrologie
Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum

Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk^® Schreitantrieben

Im PiezoWalk^® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Piezomotoren von PI können vakuumtauglich gestaltet werden und sind für den Betrieb unter starken Magnetfeldern geeignet. Hierfür werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ultravioletter Strahlung eingesetzt werden.

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Datenblatt

Version / Datum

2024-01-09

pdf - 786 KB

Version / Datum

2024-01-09

pdf - 808 KB

Version / Datum

2019-01-22

pdf - 788 KB

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Bewegen	N-216.1A1	N-216.2A1	Toleranz
Aktive Achsen	X	X
Stellweg in X	20 mm	20 mm
Stellweg in X (Analogbetrieb)	± 3 µm	± 3 µm
Geschwindigkeit (10 % Ansteuerung, Vollschrittbetrieb)	1 mm/s	1 mm/s	max.
Geschwindigkeit (100 % Ansteuerung, Vollschrittbetrieb)	0,6 mm/s	0,6 mm/s	max.
Geschwindigkeit (100 % Ansteuerung, Nanoschrittbetrieb)	0,4 mm/s	0,4 mm/s	max.
Positionieren	N-216.1A1	N-216.2A1	Toleranz
Referenzschalter	Optisch, richtungserkennend (Referenzflankenspur), 5 V, TTL	Optisch, richtungserkennend (Referenzflankenspur), 5 V, TTL
Auflösung in X, ungeregelt	0,03 nm	0,03 nm	typ.
Integrierter Sensor	Inkrementeller Linearencoder	Inkrementeller Linearencoder
Systemauflösung in X	5 nm	5 nm
Antriebseigenschaften	N-216.1A1	N-216.2A1	Toleranz
Antriebstyp	NEXLINE® Piezoschreitantrieb	NEXLINE® Piezoschreitantrieb
Betriebsspannung	-250 bis +250 V	-250 bis +250 V
Antriebskraft in X	300 N	600 N	max.
Mechanische Eigenschaften	N-216.1A1	N-216.2A1	Toleranz
Haltekraft in X, passiv	400 N	800 N	min.
Gesamtmasse	1150 g	1250 g
Material	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl
Anschlüsse und Umgebung	N-216.1A1	N-216.2A1	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	0 bis 55 °C	0 bis 55 °C
Anschluss	D-Sub 25-polig (m)	D-Sub 25-polig (m)
Kabellänge	2 m	2 m	+50 / -0 mm
Empfohlene Controller / Treiber	E-712.1AM	E-712.1AM

Geschwindigkeit im Vollschrittbetrieb: Abhängig von der Steuerelektronik.

Geschwindigkeit im Nanoschritt-Betrieb: Abhängig von der Steuerelektronik. Die Maximalgeschwindigkeit im Nanoschritt-Betrieb ist auf größtmögliche Konstanz ausgelegt, so dass keine Geschwindigkeitsschwankungen beim Ausführen der Schritte auftreten.

Antriebskraft: Die Angaben beziehen sich auf die Bewegung im Vollschritt-Betrieb.

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2024-01-09

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2019-01-22

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