P-630 Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem

1 Achse mit großer Apertur

Resonanzfrequenz bis 3,25 kHz
Stellwege bis 80 µm
Schmale und flache Bauform
Apertur mit 30 mm Durchmesser

P-630, Abmessungen in mm

Die kleinste auflösbare Schrittweite des P-630.XCD mit dem Digitalcontroller E-753.1CD liegt unter einem nm. Extern gemessen mit einem Laserinterferometer.

Die Einschwingzeit beträgt beim P-630.XCD weniger als 6 Millisekunden auf 1 % Genauigkeit und ein 4 µm Schritt.

Optische Justage
Mikroskopie
Biotechnologie
Photonik
Faserpositionierung

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

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Datenblatt

Version / Datum

2018-04-16

pdf - 687 KB

Version / Datum

2018-04-13

pdf - 848 KB

Version / Datum

2018-06-08

pdf - 770 KB

Version / Datum

2018-06-08

pdf - 846 KB

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	P-630.XCD	P-631.XCD	Einheit
Aktive Achsen	X	X
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor	Kapazitiv	Kapazitiv
Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt	45	90	µm
Stellweg, geregelt	40	80	µm
Auflösung, ungeregelt	0,1	0,1	nm
Auflösung, geregelt	0,2	0,2	nm
Linearitätsabweichung, geregelt	0,02	0,02	%
Wiederholgenauigkeit über den gesamten Stellweg	±2	±3	nm
Neigen / Gieren	±5	±5	µrad
Geradheit / Ebenheit	50	50	nm
Mechanische Eigenschaften
Steifigkeit in Stellrichtung	5,5	5	N / µm
Resonanzfrequenz, unbelastet	3250	2850	Hz
Resonanzfrequenz, belastet, 60 g	1600	1200	Hz
Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung	10	10	N
Belastbarkeit	10	10	N
Antriebseigenschaften
Piezokeramik	PICMA® P-887	PICMA® P-885; P-887
Elektrische Kapazität	6,4	12,6	µF
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich	0 bis 40	0 bis 40	°C
Material	Aluminium	Aluminium
Abmessungen	102 mm × 50 mm × 18 mm	102 mm × 50 mm × 18 mm
Masse	300	320	g
Kabellänge	1,5	1,5	m
Sensor- / Spannungsanschluss	D-Sub 7W2 (m)	D-Sub 7W2 (m)
Empfohlene Elektroniken	E-709, E-709.CHG, E-754	E-709, E-709.CHG, E-754

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

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Datenblatt

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2018-04-16

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Version / Datum

2018-04-13

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Version / Datum

2018-06-08

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2018-06-08

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Dokumentation

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum

6.1.0 10/2019

pdf - 1 MB

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6.1.0 10/2019

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Dokumentation

P-630, P-631 Piezo-Nanopositioniersysteme mit Apertur und kapazitivem Sensor

Version / Datum

1.1.0 2022-04-29

pdf - 2 MB

Version / Datum

1.1.0 2022-04-29

pdf - 2 MB

3-D-Modelle

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Sonstiges

Hexapoden über Feldbus ansteuern, PIMag®: Magnetische Direktantriebe und Positioniersysteme, U-264KSPA mit PILine® Ultraschall-Piezomotoren, Piezo-Nanopositioniersystem P-630 und vieles mehr ...

Version / Datum

NUZ49

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Version / Datum

NUZ49

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P-630.XCD

Lineares Piezo-Nanopositioniersystem mit Apertur, 40 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor

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P-631.XCD

Lineares Piezo-Nanopositioniersystem mit Apertur, 80 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor

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