P-611.1 Lineares Piezopositioniersystem
Kompaktes und preisgünstiges Linearsystem
- Kompakte Bauform: Grundfläche 44 mm × 44 mm
- Stellweg 120 µm
- Auflösung bis 0,2 nm
- Besonders kostengünstige Systeme (Mechanik und Controller)
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- Auch als Hubtisch, XY-, XZ- und XYZ-Version erhältlich
Einsatzgebiete
- Mikroskopie
- Nanopositionierung
- Biotechnologie
- Testanwendungen
- Halbleitertechnik
- Photonik
- Faserpositionierung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Spezifikationen
Spezifikationen
P-611.1S | P-611.10 | Einheit | Toleranz | |
---|---|---|---|---|
Aktive Achsen | X | X | ||
Bewegung und Positionieren | ||||
Integrierter Sensor | DMS | - | ||
Stellweg bei -20 bis +120V, ungeregelt | 120 | 120 | µm | +20 % / -0 % |
Stellweg, geregelt | 100 | - | µm | |
Auflösung, ungeregelt | 0,2 | 0,2 | nm | typ. |
Auflösung, geregelt | 2 | - | nm | typ. |
Linearitätsabweichung, geregelt | 0,1 | - | % | typ. |
Wiederholgenauigkeit | <10 | - | nm | typ. |
Neigen | ±5 | ±5 | µrad | typ. |
Gieren | ±20 | ±20 | µrad | typ. |
Ebenheit | 10 | 10 | nm | typ. |
Mechanische Eigenschaften | ||||
Steifigkeit in Stellrichtung | 0,2 | 0,2 | N/µm | ±20 % |
Resonanzfrequenz unbelastet | 400 | 400 | Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz, belastet, 30 g | 300 | 300 | Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz, belastet, 100 g | 195 | 195 | Hz | ±20 % |
Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung | 15 / 10 | 15 / 10 | N | max. |
Belastbarkeit | 15 | 15 | N | max. |
Antriebseigenschaften | ||||
Keramiktyp | PICMA® P-885 | PICMA® P-885 | ||
Elektrische Kapazität | 1,5 | 1,5 | µF | ±20 % |
Anschlüsse und Umgebung | ||||
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 | -20 bis 80 | °C | |
Material | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | ||
Abmessungen | 44 mm × 44 mm × 17 mm | 44 mm × 44 mm × 17 mm | ||
Masse | 0,135 | 0,135 | kg | ±5 % |
Kabellänge | 1,5 | 1,5 | m | ±10 mm |
Spannungsanschluss | LEMO | LEMO | ||
Sensoranschluss | LEMO | - | ||
Empfohlene Elektroniken | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-836 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-836 |
Downloads
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ253
P-611 Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor / ohne Sensor
Auspackanweisung P611T0006
Auspacken und Handhabung von P-611 Positionierern
3-D-Modelle
P-611.1x 3D-Modell
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