Piezo-Lineartische
Nanopositioniertische und Scanner von PI vereinen nanometergenaue Auflösung und Führungspräzision mit minimalem Übersprechen. Daher sind sie besonders geeignet für Referenzanwendungen in der Messtechnik, für mikroskopische Verfahren, für die Interferometrie oder in Inspektionssystemen für die Halbleiterchip-Herstellung.
Piezoaktorische Linearpositionierer mit PICMA® Piezoantrieb und Festkörperführungen sind für Stellwege bis zu 1,5 mm verfügbar.
