Piezo-Lineartische

Nanopositioniertische und Scanner von PI vereinen nanometergenaue Auflösung und Führungspräzision mit minimalem Übersprechen. Daher sind sie besonders geeignet für Referenzanwendungen in der Messtechnik, für mikroskopische Verfahren, für die Interferometrie oder in Inspektionssystemen für die Halbleiterchip-Herstellung.

Piezoaktorische Linearpositionierer mit PICMA® Piezoantrieb und Festkörperführungen sind für Stellwege bis zu 1,5 mm verfügbar. 

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Piezolineartische mit Festkörperführung

P-630 Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem

P-753 LISA Linearaktor und Positioniertisch

P-752 Hochpräziser Nanopositioniertisch

PI P-750

P-750 Piezo-Nanopositioniersystem

P-611.1 Lineares Piezopositioniersystem

P-620.1 – P-629.1 PIHera Linearer Präzisionspositionierer



Beispiele für kundenspezifische Anpassungen

P-725KHDS PIFOC® Objektivscanner mit hoher Dynamik