A-121 PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager

Hochleistungs-Nanopositioniertisch mit kleiner Bauform

A-121 PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager

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Die Tische der PIglide Serie verfügen über einen Servo-Linearmotorantrieb mit vorgespannten Luftlagern und integriertem optischen Linearencoder. Die Kombination dieser berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungslose Bewegungsplattform, die die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet.

Ein Hochleistungslinearmotor kann den Tisch zur Höchstgeschwindigkeit innerhalb weniger Millisekunden fahren. Die vorgespannte, luftgelagerte Konstruktion unterstützt eine Montage in jeder beliebigen Orientierung.

Encoder
PIglide Filter und Druckregler
Mehrachsige Motion Controller und Direktantriebe
XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen
Schleppkettenvarianten
Gegengewichtoptionen für vertikale Montage
Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung

PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.

Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.

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Datenblatt

Datenblatt A-121

Version / Datum

2021-04-27

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2021-04-27

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2021-04-27

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Bewegen	A-121.050	A-121.100	A-121.150	A-121.200	A-121.250	A-121.350	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	X	X	X	X	X	X
Stellweg	50	100	150	200	250	350	mm
Neigen / Gieren ⁽¹⁾	20	20	20	20	25	35	µrad	max.
Geradheit / Ebenheit ⁽¹⁾	0,5	0,5	1	1,5	2	2,5	µm	max.
Geradheit / Ebenheit pro 25 mm Stellweg ⁽¹⁾	0,1	0,1	0,1	0,1	0,1	0,1	µm	max.
Geschwindigkeit, unbelastet ⁽²⁾	0,5	1	1	1	1	1	m/s	max.
Beschleunigung, unbelastet ⁽²⁾	20	20	20	20	20	20	m/s²	max.

Mechanische Eigenschaften	A-121.050	A-121.100	A-121.150	A-121.200	A-121.250	A-121.350	Einheit	Toleranz
Belastbarkeit in z ⁽⁶⁾	100	100	100	100	100	100	N	max.
Belastbarkeit in y ⁽⁶⁾	40	40	40	40	40	40	N	max.
Zulässiges Moment in θx ⁽⁶⁾	5	5	5	5	5	5	Nm	max.
Zulässiges Moment in θy ⁽⁶⁾	8,3	8,3	8,3	8,3	8,3	8,3	Nm	max.
Bewegte Masse	1,2	1,2	1,2	1,2	1,2	1,2	kg	typ.
Gesamtmasse	3,5	4,2	4,5	5,2	5,7	6,8	kg	typ.
Führungstyp	Luftlager	Luftlager	Luftlager	Luftlager	Luftlager	Luftlager

Antriebseigenschaften	A-121	Einheit	Toleranz
Antriebstyp	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor
Zwischenkreisspannung, effektiv	48, nom. 80, max.	V DC
Spitzenstrom, effektiv	3,5	A	max.
Nennstrom, effektiv	1,2	A	max.
Spitzenkraft	33,2	N	max.
Nennkraft	11,1	N	max.
Kraftkonstante, effektiv	9,4	N/A	typ.
Widerstand Phase-Phase	6,3	Ω	typ.
Induktivität Phase-Phase	1,0	mH	typ.
Gegen-EMK Phase-Phase	7,7	V·s/m	typ.
Verkabelung	Extern, bewegtes Kabel

Positionieren	A-121.xxxA	A-121.xxxB
Integrierter Sensor	Inkrementeller Linearencoder	Absoluter Linearencoder
Sensorsignal	Sin/cos, 1 V Spitze-Spitze, 20 µm Signalperiode	BiSS-C
Sensorauflösung	4,88 nm ⁽³⁾	1 nm
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit	± 0,25 µm	± 0,25 µm
Positioniergenauigkeit, unkalibriert ⁽⁴⁾	A-121.050: ± 1,5 µm A-121.100: ± 1,5 µm A-121.150: ± 1,5 µm A-121.200: ± 2,0 µm A-121.250: ± 2,0 µm A-121.350: ± 3,0 µm	A-121.050: ± 1,5 µm A-121.100: ± 1,5 µm A-121.150: ± 1,5 µm A-121.200: ± 1,5 µm A-121.250: ± 1,5 µm A-121.350: ± 1,5 µm
Positioniergenauigkeit, kalibriert ⁽⁴⁾	A-121.050: ± 0,5 µm A-121.100: ± 0,5 µm A-121.150: ± 0,5 µm A-121.200: ± 0,5 µm A-121.250: ± 0,5 µm A-121.350: ± 0,5 µm	A-121.050: ± 0,5 µm A-121.100: ± 0,5 µm A-121.150: ± 0,5 µm A-121.200: ± 0,5 µm A-121.250: ± 0,5 µm A-121.350: ± 0,5 µm

Anschlüsse und Umgebung	A-121
Betriebsdruck ⁽⁵⁾	65 bis 75 psi (450 bis 520 kPa)
Luftdurchsatz	< 1,0 SCFM (28 SLPM)
Luftqualität	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573‑1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573‑1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573‑1 Klasse 3
Materialien	Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl

⁽¹⁾ Abhängig von der Ebenheit der Oberfläche, auf der der Tisch montiert ist.

⁽²⁾ Kann durch die Nutzlast, den Controller oder Antrieb begrenzt werden.

⁽³⁾ Geht von einer 4096-fachen Interpolation aus. Kontaktieren Sie PI für den Einsatz anderer Faktoren.

⁽⁴⁾ Verbesserte Genauigkeit möglich durch Controller-gesteuerte Fehlerkompensation. Der Tisch muss mit einem Controller von PI geordert werden, um diese Werte zu erreichen. Genauigkeitswerte gehen von kurzfristiger Dauer aus und berücksichtigen die Langzeitfolgen des thermischen Drifts auf den Tisch nicht.

⁽⁵⁾ Zum Schutz des Tischs gegen Schäden wird empfohlen, einen Luftdrucksensor an den Motion-Stop-Eingang des Controllers anzuschließen.

⁽⁶⁾ Geht von einem Betriebsdruck der Luftlager von 70 psi (480 kPa) aus.

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Produktmitteilung

Product Change Notification A-xxx.*C1

Version / Datum

2018-08-02

Dokumentsprache Englisch

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Datenblatt

Datenblatt A-121

Version / Datum

2021-04-27

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2021-04-27

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2021-04-27

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Dokumentation

Benutzerhandbuch A121D0001

A-121 PIglide AT1 Motorisierter Linearversteller mit Luftlagermodul und Encoder

Version / Datum

2020-03-26

Dokumentsprache Englisch

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3-D-Modelle

A-121 3D-Modell

Version / Datum

2018-03-15

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Zu Angebot / Bestellung

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A-121.050A1

PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 50 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-121.050B1

PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 50 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-121.100A1

PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 100 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-121.100B1

PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 100 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-121.150A1

PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 150 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-121.150B1

PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 150 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-121.200A1

PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 200 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-121.200B1

PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 200 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-121.250A1

PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 250 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-121.250B1

PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 250 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-121.350A1

PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 350 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-121.350B1

PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 350 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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