A-121 PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager

Hochleistungs-Nanopositioniertisch mit kleiner Bauform

  • Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
  • Reinraumtauglich
  • Größe der Bewegungsplattform 115 mm × 115 mm
  • Stellwege bis 350 mm
  • Niedrige Bauhöhe von 60 mm
  • Auflösung bis 1 nm
A-121 PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager
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Produktübersicht

Die Tische der PIglide Serie verfügen über einen Servo-Linearmotorantrieb mit vorgespannten Luftlagern und integriertem optischen Linearencoder. Die Kombination dieser berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungslose Bewegungsplattform, die die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet.

Ein Hochleistungslinearmotor kann den Tisch zur Höchstgeschwindigkeit innerhalb weniger Millisekunden fahren. Die vorgespannte, luftgelagerte Konstruktion unterstützt eine Montage in jeder beliebigen Orientierung.

Zubehör und Optionen

  • Encoder
  • PIglide Filter und Druckregler
  • Mehrachsige Motion Controller und Direktantriebe
  • XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen
  • Schleppkettenvarianten
  • Gegengewichtoptionen für vertikale Montage
  • Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung

Einsatzgebiete

PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.

Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt A-121

Version / Datum
2021-04-27
pdf - 1 MB
Version / Datum
2021-04-27
pdf - 1 MB
Version / Datum
2021-04-27
pdf - 714 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt A-121

Version / Datum
2021-04-27
pdf - 1 MB
Version / Datum
2021-04-27
pdf - 1 MB
Version / Datum
2021-04-27
pdf - 714 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch A121D0001

A-121 PIglide AT1 Motorisierter Linearversteller mit Luftlagermodul und Encoder

Version / Datum
2021-05-17
pdf - 1,020 KB
Englisch

3-D-Modelle

3-D-Modelle

A-121 3D-Modell

Version / Datum
2018-03-15
zip - 12 MB

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