A-121 PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager
Hochleistungs-Nanopositioniertisch mit kleiner Bauform
- Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
- Reinraumtauglich
- Größe der Bewegungsplattform 115 mm × 115 mm
- Stellwege bis 350 mm
- Niedrige Bauhöhe von 60 mm
- Auflösung bis 1 nm
Produktübersicht
Die Tische der PIglide Serie verfügen über einen Servo-Linearmotorantrieb mit vorgespannten Luftlagern und integriertem optischen Linearencoder. Die Kombination dieser berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungslose Bewegungsplattform, die die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet.
Ein Hochleistungslinearmotor kann den Tisch zur Höchstgeschwindigkeit innerhalb weniger Millisekunden fahren. Die vorgespannte, luftgelagerte Konstruktion unterstützt eine Montage in jeder beliebigen Orientierung.
Zubehör und Optionen
- Encoder
- PIglide Filter und Druckregler
- Mehrachsige Motion Controller und Direktantriebe
- XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen
- Schleppkettenvarianten
- Gegengewichtoptionen für vertikale Montage
- Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung
Einsatzgebiete
PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.
Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | A-121.050 | A-121.100 | A-121.150 | A-121.200 | A-121.250 | A-121.350 | Einheit | Toleranz |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Aktive Achsen | X | X | X | X | X | X | ||
Stellweg | 50 | 100 | 150 | 200 | 250 | 350 | mm | |
Neigen / Gieren (1) | 20 | 20 | 20 | 20 | 25 | 35 | µrad | max. |
Geradheit / Ebenheit (1) | 0,5 | 0,5 | 1 | 1,5 | 2 | 2,5 | µm | max. |
Geradheit / Ebenheit pro 25 mm Stellweg (1) | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | µm | max. |
Geschwindigkeit, unbelastet (2) | 0,5 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | m/s | max. |
Beschleunigung, unbelastet (2) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | m/s² | max. |
Mechanische Eigenschaften | A-121.050 | A-121.100 | A-121.150 | A-121.200 | A-121.250 | A-121.350 | Einheit | Toleranz |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Belastbarkeit in z (6) | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | N | max. |
Belastbarkeit in y (6) | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | N | max. |
Zulässiges Moment in θx (6) | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | Nm | max. |
Zulässiges Moment in θy (6) | 8,3 | 8,3 | 8,3 | 8,3 | 8,3 | 8,3 | Nm | max. |
Bewegte Masse | 1,2 | 1,2 | 1,2 | 1,2 | 1,2 | 1,2 | kg | typ. |
Gesamtmasse | 3,5 | 4,2 | 4,5 | 5,2 | 5,7 | 6,8 | kg | typ. |
Führungstyp | Luftlager | Luftlager | Luftlager | Luftlager | Luftlager | Luftlager |
Antriebseigenschaften | A-121 | Einheit | Toleranz |
---|---|---|---|
Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | ||
Zwischenkreisspannung, effektiv | 48, nom. 80, max. | V DC | |
Spitzenstrom, effektiv | 3,5 | A | max. |
Nennstrom, effektiv | 1,2 | A | max. |
Spitzenkraft | 33,2 | N | max. |
Nennkraft | 11,1 | N | max. |
Kraftkonstante, effektiv | 9,4 | N/A | typ. |
Widerstand Phase-Phase | 6,3 | Ω | typ. |
Induktivität Phase-Phase | 1,0 | mH | typ. |
Gegen-EMK Phase-Phase | 7,7 | V·s/m | typ. |
Verkabelung | Extern, bewegtes Kabel |
Positionieren | A-121.xxxA | A-121.xxxB |
---|---|---|
Integrierter Sensor | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder |
Sensorsignal | Sin/cos, 1 V Spitze-Spitze, 20 µm Signalperiode | BiSS-C |
Sensorauflösung | 4,88 nm (3) | 1 nm |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm |
Positioniergenauigkeit, unkalibriert (4) | A-121.050: ± 1,5 µm A-121.100: ± 1,5 µm A-121.150: ± 1,5 µm A-121.200: ± 2,0 µm A-121.250: ± 2,0 µm A-121.350: ± 3,0 µm | A-121.050: ± 1,5 µm A-121.100: ± 1,5 µm A-121.150: ± 1,5 µm A-121.200: ± 1,5 µm A-121.250: ± 1,5 µm A-121.350: ± 1,5 µm |
Positioniergenauigkeit, kalibriert (4) | A-121.050: ± 0,5 µm A-121.100: ± 0,5 µm A-121.150: ± 0,5 µm A-121.200: ± 0,5 µm A-121.250: ± 0,5 µm A-121.350: ± 0,5 µm | A-121.050: ± 0,5 µm A-121.100: ± 0,5 µm A-121.150: ± 0,5 µm A-121.200: ± 0,5 µm A-121.250: ± 0,5 µm A-121.350: ± 0,5 µm |
Anschlüsse und Umgebung | A-121 |
---|---|
Betriebsdruck (5) | 65 bis 75 psi (450 bis 520 kPa) |
Luftdurchsatz | < 1,0 SCFM (28 SLPM) |
Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573‑1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573‑1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573‑1 Klasse 3 |
Materialien | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl |
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch A121D0001
A-121 PIglide AT1 Motorisierter Linearversteller mit Luftlagermodul und Encoder
3-D-Modelle
A-121 3D-Modell
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Technologie

PIglide Luftlager-Technologie
Der Magnetantrieb kann eine luftgelagerte bewegte Plattform innerhalb weniger Nanometer linear oder weniger Bogensekunden rotatorisch positionieren.

Magnetische Direktantriebe
Magnetische Direktantriebe bieten vor allem hinsichtlich Verschleiß und Dynamik Vorteile gegenüber klassischen spindelbasierten Lösungen.