A-121.050A1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 50 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121 PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager
Hochleistungs-Nanopositioniertisch mit kleiner Bauform
- Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
- Reinraumtauglich
- Größe der Bewegungsplattform 115 mm × 115 mm
- Stellwege bis 350 mm
- Niedrige Bauhöhe von 60 mm
- Auflösung bis 1 nm
A-121, Abmessungen in mm
A-121 PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager
Produktbeschreibung
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Produktübersicht
Die Tische der PIglide Serie verfügen über einen Servo-Linearmotorantrieb mit vorgespannten Luftlagern und integriertem optischen Linearencoder. Die Kombination dieser berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungslose Bewegungsplattform, die die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet.
Ein Hochleistungslinearmotor kann den Tisch zur Höchstgeschwindigkeit innerhalb weniger Millisekunden fahren. Die vorgespannte, luftgelagerte Konstruktion unterstützt eine Montage in jeder beliebigen Orientierung.
Zubehör und Optionen
- Encoder
- PIglide Filter und Druckregler
- Mehrachsige Motion Controller und Direktantriebe
- XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen
- Schleppkettenvarianten
- Gegengewichtoptionen für vertikale Montage
- Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung
Einsatzgebiete
PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.
Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | A-121.050 | A-121.100 | A-121.150 | A-121.200 | A-121.250 | A-121.350 | Einheit | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Aktive Achsen | X | X | X | X | X | X | ||
Stellweg | 50 | 100 | 150 | 200 | 250 | 350 | mm | |
Neigen / Gieren (1) | 20 | 20 | 20 | 20 | 25 | 35 | µrad | max. |
Geradheit / Ebenheit (1) | 0,5 | 0,5 | 1 | 1,5 | 2 | 2,5 | µm | max. |
Geradheit / Ebenheit pro 25 mm Stellweg (1) | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | µm | max. |
Geschwindigkeit, unbelastet (2) | 0,5 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | m/s | max. |
Beschleunigung, unbelastet (2) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | m/s² | max. |
Mechanische Eigenschaften | A-121.050 | A-121.100 | A-121.150 | A-121.200 | A-121.250 | A-121.350 | Einheit | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Belastbarkeit in z (6) | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | N | max. |
Belastbarkeit in y (6) | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | N | max. |
Zulässiges Moment in θx (6) | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | Nm | max. |
Zulässiges Moment in θy (6) | 8,3 | 8,3 | 8,3 | 8,3 | 8,3 | 8,3 | Nm | max. |
Bewegte Masse | 1,2 | 1,2 | 1,2 | 1,2 | 1,2 | 1,2 | kg | typ. |
Gesamtmasse | 3,5 | 4,2 | 4,5 | 5,2 | 5,7 | 6,8 | kg | typ. |
Führungstyp | Luftlager | Luftlager | Luftlager | Luftlager | Luftlager | Luftlager |
Antriebseigenschaften | A-121 | Einheit | Toleranz |
|---|---|---|---|
Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | ||
Zwischenkreisspannung, effektiv | 48, nom. 80, max. | V DC | |
Spitzenstrom, effektiv | 3,5 | A | max. |
Nennstrom, effektiv | 1,2 | A | max. |
Spitzenkraft | 33,2 | N | max. |
Nennkraft | 11,1 | N | max. |
Kraftkonstante, effektiv | 9,4 | N/A | typ. |
Widerstand Phase-Phase | 6,3 | Ω | typ. |
Induktivität Phase-Phase | 1,0 | mH | typ. |
Gegen-EMK Phase-Phase | 7,7 | V·s/m | typ. |
Verkabelung | Extern, bewegtes Kabel |
Positionieren | A-121.xxxA | A-121.xxxB |
|---|---|---|
Integrierter Sensor | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder |
Sensorsignal | Sin/cos, 1 V Spitze-Spitze, 20 µm Signalperiode | BiSS-C |
Sensorauflösung | 4,88 nm (3) | 1 nm |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm |
Positioniergenauigkeit, unkalibriert (4) | A-121.050: ± 1,5 µm A-121.100: ± 1,5 µm A-121.150: ± 1,5 µm A-121.200: ± 2,0 µm A-121.250: ± 2,0 µm A-121.350: ± 3,0 µm | A-121.050: ± 1,5 µm A-121.100: ± 1,5 µm A-121.150: ± 1,5 µm A-121.200: ± 1,5 µm A-121.250: ± 1,5 µm A-121.350: ± 1,5 µm |
Positioniergenauigkeit, kalibriert (4) | A-121.050: ± 0,5 µm A-121.100: ± 0,5 µm A-121.150: ± 0,5 µm A-121.200: ± 0,5 µm A-121.250: ± 0,5 µm A-121.350: ± 0,5 µm | A-121.050: ± 0,5 µm A-121.100: ± 0,5 µm A-121.150: ± 0,5 µm A-121.200: ± 0,5 µm A-121.250: ± 0,5 µm A-121.350: ± 0,5 µm |
Anschlüsse und Umgebung | A-121 |
|---|---|
Betriebsdruck (5) | 65 bis 75 psi (450 bis 520 kPa) |
Luftdurchsatz | < 1,0 SCFM (28 SLPM) |
Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573‑1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573‑1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573‑1 Klasse 3 |
Materialien | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl |
(1) Abhängig von der Ebenheit der Oberfläche, auf der der Tisch montiert ist.
(2) Kann durch die Nutzlast, den Controller oder Antrieb begrenzt werden.
(3) Geht von einer 4096-fachen Interpolation aus. Kontaktieren Sie PI für den Einsatz anderer Faktoren.
(4) Verbesserte Genauigkeit möglich durch Controller-gesteuerte Fehlerkompensation. Der Tisch muss mit einem Controller von PI geordert werden, um diese Werte zu erreichen. Genauigkeitswerte gehen von kurzfristiger Dauer aus und berücksichtigen die Langzeitfolgen des thermischen Drifts auf den Tisch nicht.
(5) Zum Schutz des Tischs gegen Schäden wird empfohlen, einen Luftdrucksensor an den Motion-Stop-Eingang des Controllers anzuschließen.
(6) Geht von einem Betriebsdruck der Luftlager von 70 psi (480 kPa) aus.
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Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch A121D0001
A-121 PIglide AT1 Motorisierter Linearversteller mit Luftlagermodul und Encoder
Version / Datum
2021-05-17
pdf - 1,020 KB
Englisch
3-D-Modelle
3-D-Modelle
A-121 3D-Modell
Version / Datum
2018-03-15
zip - 12 MB
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A-121.050B1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 50 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.100A1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 100 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.100B1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 100 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.150A1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 150 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.150B1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 150 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.200A1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 200 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.200B1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 200 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.250A1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 250 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.250B1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 250 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.350A1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 350 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.350B1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 350 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
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