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L-509 V6 • V7 • V9 Precision Linear Stage Suitable for Vacuum

Kompakte Bauform, für Lasten bis 10 kg

L-509 V6 • V7 • V9 Precision Linear Stage Suitable for Vacuum
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung

Produktübersicht

Hohe Ablaufgenauigkeit und Belastbarkeit durch Kreuzrollenführungen mit Käfig-Zwangsführung. Präzisions-Kugelumlaufspindel mit 1 mm Steigung. Kompaktes Design. Grundprofil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität. Endschalter. Kontaktloser optischer Referenzschalter mit Richtungserkennung in der Mitte des Stellwegs.

Reduziertes Ausgasen speziell für den Einsatz in Vakuumumgebung

Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden. Durch diese und weitere Modifikationen der PI Vakuumklasse V6 kann dieser Positionierer bei bis zu 10-6 hPa verwendet werden.

Höhere Güte für Anwendungen im Hochvakuum

Hier werden spezielle hochvakuumgeeignete Komponenten eingesetzt, wie Motor, Messsystem und Endschalter. Zusätzlich ist die Oberfläche aus blankem Aluminium, Spindeln und Führungen sind aus Edelstahl. Dadurch wird die PI Vakuumklasse V7 erreicht, d. h. bis zu 10-7 hPa .

Höchste Güte für spezielle Anforderungen im Ultrahochvakuum

In dieser Vakuumklasse wird das Produkt durch ultrahochvakuumgeeignete Komponenten und in allen Details optimiert, um die PI Vakuumklasse V9 bis zu 10-9 hPa zu erreichen. Dafür werden unter anderem nur ausgewählte Kunststoffarten und eine Ausheiztemperatur von 120 °C mit Messsystem bzw. von 150 °C ohne Messsystem verwendet.

Erhältliche Motortypen

  • DC-Servomotor mit Getriebe für hohe Drehmomente und Auflösung bei geringer Motorleistung, bis 10-6 hPa
  • 2-Phasen Schrittmotor für kleine Geschwindigkeiten und hohe Auflösung, bis 10-9 hPa

Arten der Positionsmessung

  • Ohne Encoder (Open-Loop)
  • Integrierter Rotationsencoder auf der Motorwelle

Einsatzgebiete

Vakuumkammern. Forschung. Beamline-Instrumentierung. Mikroskopie. Elektronikmontage und -inspektion.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt L-509-V

Version / Datum
2019-12-04
Version / Datum
2019-12-04
Dokumentsprache
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt L-509-V

Version / Datum
2019-12-04
Version / Datum
2019-12-04
Dokumentsprache
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB

Dokumentation

Dokumentation

Kurzanleitung MP146EK

Positionierer mit Elektromotoren: DT-xx / HPS-170 / L-xxx / LS-xxx / MTS-65 / PRS-xxx / RS-40 / UPL-120 / VT-80 / WT-xx / WT-xxx
Version / Datum
1.5.0 October 2017
pdf - 395 KB
Dokumentation

User Manual MP186

This document describes the following precision linear positioner, vacuum-compatible 1 E-7 hPa: L-509.0x1300V7; L-509.0x1311V7
Version / Datum
1.2 2020-06-29
Dokumentsprache Englisch
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Dokumentation

User Manual L509T0018

L-509 Vacuum-Compatible Precision Linear Positioner (1E-9 hPa)
Version / Datum
2020-06-29
Dokumentsprache Englisch
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Dokumentation

Benutzerhandbuch MP174

L-509 Vakuumtauglicher Präzisions-Lineartisch (1 E-6 hPa)
Version / Datum
1.2 2020-06-30
Version / Datum
1.2 2020-06-30
Dokumentsprache
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3-D-Modelle

3-D-Modelle

3D-Modell L-509.054132V6

Version / Datum
2019-12-06
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3-D-Modelle

3D-Modell L-509.051600V9

Version / Datum
2019-12-06
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3-D-Modelle

3D-Modell L-509.051100V6

Version / Datum
2019-12-06
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3-D-Modelle

3D-Modell L-509.034132V6

Version / Datum
2019-12-06
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3-D-Modelle

3D-Modell L-509.031600V9

Version / Datum
2019-12-06
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3-D-Modelle

3D-Modell L-509.031300V7

Version / Datum
2019-12-06
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3-D-Modelle

3D-Modell L-509.031100V6

Version / Datum
2019-12-06
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3-D-Modelle

3D-Modell L-509.024132V6

Version / Datum
2019-12-06
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3-D-Modelle

3D-ModellL-509.021600V9

Version / Datum
2019-12-06
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3-D-Modelle

3-D model L-509.021300V7

Version / Datum
2019-12-06
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3-D-Modelle

3D-Modell L-509.0513xxV7

Version / Datum
2019-12-09
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3-D-Modelle

3D-Modell L-509.0211xxV6

Version / Datum
2019-12-09
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Angebot / Bestellung

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Adapterwinkel

Separates Anschlusskabel jeweils erforderlich für Motor- und Sensorverbindung.