L-509.021100V6
Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 26 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; vakuumkompatibel bis 10⁻⁶ hPa
L-509 V6 • V7 • V9 Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch
Kompakte Bauform, für Lasten bis 10 kg
- Vakuumgeeignet bis zu 10-9 hPa
- Stellwege von 26 bis 102 mm (1" bis 4")
- Wiederholgenauigkeit bis 0,1 µm
- DC-Getriebemotor, Schrittmotor
- Richtungserkennender Referenzschalter
- Mehrachsaufbauten möglich
L-509.021100V6, Abmessungen in mm
L-509.031100V6, Abmessungen in mm
L-509.051100V6, Abmessungen in mm
L-509.024132V6, Abmessungen in mm
L-509.034132V6, Abmessungen in mm
L-509.054132V6, Abmessungen in mm
L-509.021300V7, Abmessungen in mm
L-509.031300V7, Abmessungen in mm
L-509.051300V7, Abmessungen in mm
L-509.021600V9, Abmessungen in mm
L-509.031600V9, Abmessungen in mm
L-509.051600V9, Abmessungen in mm
L-509 V6 • V7 • V9 Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch
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Produktübersicht
Hohe Ablaufgenauigkeit und Belastbarkeit durch Kreuzrollenführungen mit Käfig-Zwangsführung. Präzisions-Kugelumlaufspindel mit 1 mm Steigung. Kompaktes Design. Grundprofil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität. Endschalter. Kontaktloser optischer Referenzschalter mit Richtungserkennung in der Mitte des Stellwegs.
Reduziertes Ausgasen speziell für den Einsatz in Vakuumumgebung
Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden. Durch diese und weitere Modifikationen der PI Vakuumklasse V6 kann dieser Positionierer bei bis zu 10-6 hPa verwendet werden.
Höhere Güte für Anwendungen im Hochvakuum
Hier werden spezielle hochvakuumgeeignete Komponenten eingesetzt, wie Motor, Messsystem und Endschalter. Zusätzlich ist die Oberfläche aus blankem Aluminium, Spindeln und Führungen sind aus Edelstahl. Dadurch wird die PI Vakuumklasse V7 erreicht, d. h. bis zu 10-7 hPa.
Höchste Güte für spezielle Anforderungen im Ultrahochvakuum
In dieser Vakuumklasse wird das Produkt durch ultrahochvakuumgeeignete Komponenten und in allen Details optimiert, um die PI Vakuumklasse V9 bis zu 10-9 hPa zu erreichen. Dafür werden unter anderem nur ausgewählte Kunststoffarten und eine Ausheiztemperatur von 120 °C mit Messsystem bzw. von 150 °C ohne Messsystem verwendet.
Erhältliche Motortypen
- DC-Servomotor mit Getriebe für hohe Drehmomente und Auflösung bei geringer Motorleistung, bis 10-6 hPa
- 2-Phasen-Schrittmotor für kleine Geschwindigkeiten und hohe Auflösung, bis 10-9 hPa
Arten der Positionsmessung
- Ohne Encoder (Open-Loop)
- Integrierter Rotationsencoder auf der Motorwelle
Einsatzgebiete
Vakuumkammern. Forschung. Beamline-Instrumentierung. Mikroskopie. Elektronikmontage und -inspektion.
Spezifikationen
Spezifikationen
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| Bewegen | L-509.021100V6 | L-509.031100V6 | L-509.051100V6 | L-509.024132V6 | L-509.034132V6 | L-509.054132V6 | L-509.021300V7 | L-509.031300V7 | L-509.051300V7 | L-509.031600V9 | L-509.051600V9 | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X | X | X | X | X | X | X | X | X | X | X | |
| Stellweg in X | 26 mm | 52 mm | 102 mm | 26 mm | 52 mm | 102 mm | 26 mm | 52 mm | 102 mm | 52 mm | 102 mm | |
| Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 1,5 mm/s | 1,5 mm/s | 1,5 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | |
| Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in X) | ± 2 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | ± 2 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | ± 2 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | typ. |
| Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in X) | ± 2 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | ± 2 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | ± 2 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 60 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | ± 60 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | ± 60 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 60 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | ± 60 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | ± 60 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | typ. |
| Positionieren | L-509.021100V6 | L-509.031100V6 | L-509.051100V6 | L-509.024132V6 | L-509.034132V6 | L-509.054132V6 | L-509.021300V7 | L-509.031300V7 | L-509.051300V7 | L-509.031600V9 | L-509.051600V9 | Toleranz |
| Kleinste Schrittweite in X | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 0,3 µm | ± 0,3 µm | ± 0,3 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,3 µm | ± 0,3 µm | ± 0,3 µm | ± 0,3 µm | ± 0,3 µm | typ. |
| Endschalter | Gabellichtschranke, Öffner, 5 V, NPN | Gabellichtschranke, Öffner, 5 V, NPN | Gabellichtschranke, Öffner, 5 V, NPN | Gabellichtschranke, Öffner, 5 V, NPN | Gabellichtschranke, Öffner, 5 V, NPN | Gabellichtschranke, Öffner, 5 V, NPN | Mechanisch | Mechanisch | Mechanisch | Mechanisch | Mechanisch | |
| Motorencoder | Inkrementeller Rotationsencoder | Inkrementeller Rotationsencoder | Inkrementeller Rotationsencoder | |||||||||
| Sensorsignal Motorencoder | A/B-Quadratur, RS-422 | A/B-Quadratur, RS-422 | A/B-Quadratur, RS-422 | |||||||||
| Antriebseigenschaften | L-509.021100V6 | L-509.031100V6 | L-509.051100V6 | L-509.024132V6 | L-509.034132V6 | L-509.054132V6 | L-509.021300V7 | L-509.031300V7 | L-509.051300V7 | L-509.031600V9 | L-509.051600V9 | Toleranz |
| Antriebstyp | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | DC-Getriebemotor | DC-Getriebemotor | DC-Getriebemotor | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | |
| Nennspannung | 24 V | 24 V | 24 V | 12 V | 12 V | 12 V | 24 V | 24 V | 24 V | 24 V | 24 V | |
| Spitzenspannung | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | ||||
| Maximale Leistungsaufnahme | 10 W | 10 W | 10 W | 10 W | 10 W | 10 W | 10 W | 10 W | ||||
| Motorauflösung | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | ||||
| Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | typ. |
| Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | typ. |
| Widerstand Phase-Phase | 3,3 Ω | 3,3 Ω | 3,3 Ω | 4,09 Ω | 4,09 Ω | 4,09 Ω | 1,7 Ω | 1,7 Ω | 1,7 Ω | 1,7 Ω | 1,7 Ω | typ. |
| Induktivität Phase-Phase | 2,8 mH | 2,8 mH | 2,8 mH | 0,18 mH | 0,18 mH | 0,18 mH | 3 mH | 3 mH | 3 mH | 3 mH | 3 mH | |
| Gegen-EMK Phase-Phase, rotatorisch | 1,68 V/kRPM | 1,68 V/kRPM | 1,68 V/kRPM | max. | ||||||||
| Mechanische Eigenschaften | L-509.021100V6 | L-509.031100V6 | L-509.051100V6 | L-509.024132V6 | L-509.034132V6 | L-509.054132V6 | L-509.021300V7 | L-509.031300V7 | L-509.051300V7 | L-509.031600V9 | L-509.051600V9 | Toleranz |
| Zulässige Druckkraft in Y | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | max. |
| Zulässiges Moment in θX | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θY | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θZ | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | max. |
| Haltekraft in X, passiv | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 30 N | 30 N | |
| Bewegte Masse in X, unbelastet | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | |
| Spindeltyp | Kugelumlaufspindel | Kugelumlaufspindel | Kugelumlaufspindel | Kugelumlaufspindel | Kugelumlaufspindel | Kugelumlaufspindel | Kugelumlaufspindel | Kugelumlaufspindel | Kugelumlaufspindel | Kugelumlaufspindel | Kugelumlaufspindel | |
| Spindelsteigung | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | |
| Führung | Kreuzrollenführung | Kreuzrollenführung | Kreuzrollenführung | Kreuzrollenführung | Kreuzrollenführung | Kreuzrollenführung | Kreuzrollenführung | Kreuzrollenführung | Kreuzrollenführung | Kreuzrollenführung | Kreuzrollenführung | |
| Gesamtmasse | 1400 g | 1500 g | 1700 g | 1100 g | 1200 g | 1500 g | 1000 g | 1100 g | 1600 g | 1400 g | 1600 g | |
| Material | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | |
| Getriebeuntersetzung i | 2401 : 81 | 2401 : 81 | 2401 : 81 | |||||||||
| Anschlüsse und Umgebung | L-509.021100V6 | L-509.031100V6 | L-509.051100V6 | L-509.024132V6 | L-509.034132V6 | L-509.054132V6 | L-509.021300V7 | L-509.031300V7 | L-509.051300V7 | L-509.031600V9 | L-509.051600V9 | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | |
| Vakuumklasse | 10⁻⁶ hPa | 10⁻⁶ hPa | 10⁻⁶ hPa | 10⁻⁶ hPa | 10⁻⁶ hPa | 10⁻⁶ hPa | 10⁻⁷ hPa | 10⁻⁷ hPa | 10⁻⁷ hPa | 10⁻⁹ hPa | 10⁻⁹ hPa | |
| Maximale Ausheiztemperatur | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 150 °C | 150 °C | |
| Anschluss | HD D-Sub 26-polig (m) | HD D-Sub 26-polig (m) | HD D-Sub 26-polig (m) | HD D-Sub 26-polig (m) | HD D-Sub 26-polig (m) | HD D-Sub 26-polig (m) | D-Sub 15-polig (w) | D-Sub 15-polig (w) | D-Sub 15-polig (w) | D-Sub 15-polig (w) | D-Sub 15-polig (w) | |
| Kabellänge | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | |
| Empfohlene Controller / Treiber | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-863 C-885 mit C-863.20C885 C-884 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-863 C-885 mit C-863.20C885 C-884 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-863 C-885 mit C-863.20C885 C-884 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller |
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Dokumentation
Dokumentation
User Manual MP186
This document describes the following precision linear positioner, vacuum-compatible 1 E-7 hPa: L-509.0x1300V7; L-509.0x1311V7
Version / Datum
1.2 2020-06-29
pdf - 2 MB
Englisch
Dokumentation
User Manual L509T0018
L-509 Vacuum-Compatible Precision Linear Positioner (1E-9 hPa)
Version / Datum
2020-06-29
pdf - 3 MB
Englisch
Dokumentation
Benutzerhandbuch MP174
L-509 Vakuumtauglicher Präzisions-Lineartisch (1 E-6 hPa)
Version / Datum
1.2 2020-06-30
pdf - 3 MB
Version / Datum
1.2 2020-06-30
pdf - 3 MB
3-D-Modelle
3-D-Modelle
3D-Modell L-509.0x1100V6
Version / Datum
2017-08-11
zip - 10 MB
3-D-Modelle
3D-Modell-L-509.0x1300V7
Version / Datum
2018-02-28
zip - 8 MB
3-D-Modelle
3D-Modell-L-509.0x1311V7
Version / Datum
2018-02-28
zip - 6 MB
3-D-Modelle
3D-Modell-L-509.0x1600V9
Version / Datum
2019-08-09
zip - 11 MB
3-D-Modelle
3D-Modell-L-509.0x4132V6
Version / Datum
2018-04-04
zip - 10 MB
3-D-Modelle
3D-Modell L-509.054132V6
Version / Datum
2019-12-06
zip - 3 MB
3-D-Modelle
3D-Modell L-509.051600V9
Version / Datum
2019-12-06
zip - 4 MB
3-D-Modelle
3D-Modell L-509.051100V6
Version / Datum
2019-12-06
zip - 3 MB
3-D-Modelle
3D-Modell L-509.034132V6
Version / Datum
2019-12-06
zip - 3 MB
3-D-Modelle
3D-Modell L-509.031600V9
Version / Datum
2019-12-06
zip - 4 MB
3-D-Modelle
3D-Modell L-509.031300V7
Version / Datum
2019-12-06
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3-D-Modelle
3D-Modell L-509.031100V6
Version / Datum
2019-12-06
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3-D-Modelle
3D-Modell L-509.024132V6
Version / Datum
2019-12-06
zip - 3 MB
3-D-Modelle
3D-ModellL-509.021600V9
Version / Datum
2019-12-06
zip - 3 MB
3-D-Modelle
3-D model L-509.021300V7
Version / Datum
2019-12-06
zip - 3 MB
3-D-Modelle
3D-Modell L-509.0513xxV7
Version / Datum
2019-12-09
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3-D-Modelle
3D-Modell L-509.0211xxV6
Version / Datum
2019-12-09
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L-509.031100V6
Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 52 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; vakuumkompatibel bis 10⁻⁶ hPa
L-509.051100V6
Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 102 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; vakuumkompatibel bis 10⁻⁶ hPa
L-509.024132V6
Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch; DC-Getriebemotor; 26 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1,5 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; Inkrementeller Rotationsencoder, A/B-Quadratur, RS-422; vakuumkompatibel bis 10⁻⁶ hPa
L-509.034132V6
Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch; DC-Getriebemotor; 52 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1,5 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; Inkrementeller Rotationsencoder, A/B-Quadratur, RS-422; vakuumkompatibel bis 10⁻⁶ hPa
L-509.054132V6
Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch; DC-Getriebemotor; 102 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1,5 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; Inkrementeller Rotationsencoder, A/B-Quadratur, RS-422; vakuumkompatibel bis 10⁻⁶ hPa
L-509.021300V7
Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 26 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; vakuumkompatibel bis 10⁻⁷ hPa; 2 m Kabellänge
L-509.031300V7
Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 52 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; vakuumkompatibel bis 10⁻⁷ hPa; 2 m Kabellänge
L-509.051300V7
Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 102 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; vakuumkompatibel bis 10⁻⁷ hPa; 2 m Kabellänge
L-509.031600V9
Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 52 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa; 2 m Kabellänge
L-509.051600V9
Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 102 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa; 2 m Kabellänge
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