N-310 NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor

Kompakt, schnell, mit großem Stellweg, PiezoWalk® Prinzip

  • Stellweg 10 bis 125 mm, variable Läuferlänge
  • Kompakte Bauform, preisgünstiges Design
  • Auflösung bis 0,03 nm
  • Stellkraft bis 10 N
N-310 NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung

Einsatzgebiete

  • Industrielle Präzisionspositionierung
  • Halbleitertechnik
  • Halbleitertests
  • Wafer-Inspektion
  • Lithografie
  • Nanoimprint
  • Nanometrologie

Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben

Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

 

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt N-310

Version / Datum
2021-10-15
pdf - 573 KB
Version / Datum
2021-10-15
pdf - 576 KB
Version / Datum
2017-11-16
pdf - 748 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt N-310

Version / Datum
2021-10-15
pdf - 573 KB
Version / Datum
2021-10-15
pdf - 576 KB
Version / Datum
2017-11-16
pdf - 748 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch N310T0012

N-310 NEXACT® OEM Miniatur-Linearantrieb

Version / Datum
2021-03-09
pdf - 896 KB
Englisch

3-D-Modelle

3-D-Modelle

N-310 3D-Modell

zip - 341 KB

Angebot / Bestellung

Fordern Sie ein unverbindliches Angebot über gewünschte Stückzahlen, Preise und Lieferzeiten an oder beschreiben Sie ihre gewünschte Modifikation. Produkte, die online verfügbar sind, können Sie direkt bestellen.

Fragen Sie den Fachmann!

Erhalten Sie innerhalb kürzester Zeit per E-Mail oder Telefon eine Rückmeldung zu Ihren Fragen von einem PI Vertriebsingenieur.

Kompatible Elektroniken Verwandte Produkte