N-310 NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor

Kompakt, schnell, mit großem Stellweg, PiezoWalk® Prinzip

Stellweg 10 bis 125 mm, variable Läuferlänge
Kompakte Bauform, preisgünstiges Design
Auflösung bis 0,03 nm
Stellkraft bis 10 N

N-310, Abmessungen in mm. Läuferlänge L = Stellweg + 40 mm.

Einsatzgebiete

Industrielle Präzisionspositionierung
Halbleitertechnik
Halbleitertests
Wafer-Inspektion
Lithografie
Nanoimprint
Nanometrologie

Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk^® Schreitantrieben

Im PiezoWalk^® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

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Datenblatt

Version / Datum

2024-01-09

pdf - 627 KB

Version / Datum

2024-01-09

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Version / Datum

2017-11-16

pdf - 748 KB

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Bewegen	N-310.10	N-310.11	N-310.13	N-310.14	N-310.15	N-310.16	Toleranz
Aktive Achsen	X	X	X	X	X	X
Stellweg in X	10 mm	20 mm	50 mm	75 mm	100 mm	125 mm
Stellweg in X (Analogbetrieb)	10 µm	10 µm	10 µm	10 µm	10 µm	10 µm	max.
Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet	10 mm/s	10 mm/s	10 mm/s	10 mm/s	10 mm/s	10 mm/s
Positionieren	N-310.10	N-310.11	N-310.13	N-310.14	N-310.15	N-310.16	Toleranz
Schrittweite im Vollschrittbetrieb	10 µm	10 µm	10 µm	10 µm	10 µm	10 µm
Auflösung in X, ungeregelt	0,03 nm	0,03 nm	0,03 nm	0,03 nm	0,03 nm	0,03 nm	typ.
Antriebseigenschaften	N-310.10	N-310.11	N-310.13	N-310.14	N-310.15	N-310.16	Toleranz
Antriebstyp	NEXACT® Piezo-Schreitantrieb	NEXACT® Piezo-Schreitantrieb	NEXACT® Piezo-Schreitantrieb	NEXACT® Piezo-Schreitantrieb	NEXACT® Piezo-Schreitantrieb	NEXACT® Piezo-Schreitantrieb
Betriebsspannung	-10 bis +45 V	-10 bis +45 V	-10 bis +45 V	-10 bis +45 V	-10 bis +45 V	-10 bis +45 V
Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Mechanische Eigenschaften	N-310.10	N-310.11	N-310.13	N-310.14	N-310.15	N-310.16	Toleranz
Haltekraft in X, passiv	12 N	12 N	12 N	12 N	12 N	12 N	max.
Gesamtmasse	50 g	50 g	50 g	50 g	50 g	50 g	±5 %
Material	Edelstahl, Keramik; Kabel: PFA, PTFE	Edelstahl, Keramik; Kabel: PFA, PTFE	Edelstahl, Keramik; Kabel: PFA, PTFE	Edelstahl, Keramik; Kabel: PFA, PTFE	Edelstahl, Keramik; Kabel: PFA, PTFE	Edelstahl, Keramik; Kabel: PFA, PTFE
Anschlüsse und Umgebung	N-310.10	N-310.11	N-310.13	N-310.14	N-310.15	N-310.16	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	0 bis 50 °C	0 bis 50 °C	0 bis 50 °C	0 bis 50 °C	0 bis 50 °C	0 bis 50 °C
Anschluss	HD D-Sub 15-polig (m)	HD D-Sub 15-polig (m)	HD D-Sub 15-polig (m)	HD D-Sub 15-polig (m)	HD D-Sub 15-polig (m)	HD D-Sub 15-polig (m)
Kabellänge	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	±10 mm
Empfohlene Controller / Treiber	E-712, E-861, E-861.11C885, E-862	E-712, E-861, E-861.11C885, E-862	E-712, E-861, E-861.11C885, E-862	E-712, E-861, E-861.11C885, E-862	E-712, E-861, E-861.11C885, E-862	E-712, E-861, E-861.11C885, E-862

Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet: Abhängig von der Steuerelektronik.

Auflösung in X, ungeregelt: Abhängig von der Steuerelektronik.

Empfohlene Controller / Treiber:

E-712 - Modular, hohe Leistung für höchste Präzision und Geschwindigkeit

E-861 - Kostengünstiger Nexact^®Controller für 1 Kanal

E-861.11C885 - Nexact^®Controllermodul für modulares Controllersystem C-885

E-862 - Kostengünstiger Open-Loop-Treiber

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Produktmitteilung

Version / Datum

2023-01-23

pdf - 86 KB

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Datenblatt

Version / Datum

2024-01-09

pdf - 627 KB

Version / Datum

2024-01-09

pdf - 630 KB

Version / Datum

2017-11-16

pdf - 748 KB

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Dokumentation

N-310 NEXACT® OEM Miniatur-Linearantrieb

Version / Datum

2021-03-09

pdf - 896 KB

Englisch

3-D-Modelle

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Angebot / Bestellung

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N-310.10

NEXACT^® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT^® Piezo-Schreitantrieb; 10 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge

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N-310.11

NEXACT^® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT^® Piezo-Schreitantrieb; 20 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge

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N-310.13

NEXACT^® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT^® Piezo-Schreitantrieb; 50 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge

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N-310.14

NEXACT^® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT^® Piezo-Schreitantrieb; 75 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge

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N-310.15

NEXACT^® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT^® Piezo-Schreitantrieb; 100 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge

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N-310.16

NEXACT^® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT^® Piezo-Schreitantrieb; 125 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge

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