S-303 Piezo-Phasenschieber

Hochdynamische, sub-nanometer-genaue Piezophasenschieber

Resonanzfrequenz 25 kHz für höchste Dynamik
Geregelte Version mit kapazitivem Sensor für Sub-Nanometer-Genauigkeit und Stabilität
Linearstellweg bis 3 µm
Geringe Abmessungen Ø 30 mm × 10 mm
Ungeregelte Versionen mit Apertur
Invar-Option

Spezifikationen

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Datenblatt S-303

2015-02-17
2015-02-17
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Zeichnungen / Bilder

PI S-303.0Lx Drawing
[Translate to German:] PI S-303.CDx Drawing
[Translate to German:] PI S-303 Diagram, A 250 picometer step (0.25 nm) of the S-303 platform, controlled by an E-503 amplifier module and an E-509.C1A servocontroller module. Measured with special ultra-high-resolution capacitive gauge, ±0.02 nm resolution.

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Datenblatt S-303

2015-02-17
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