S-303 Piezo-Phasenschieber

Hochdynamische, sub-nanometergenaue Piezophasenschieber

S-303 Piezo-Phasenschieber
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Einsatzgebiete

  • (Fizeau-) Interferometrie
  • Optische Nanomanipulation und Prüfung
  • Scanning-Mikroskopie

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Spezifikationen

Datenblatt S-303

Version / Datum
2018-08-15
Version / Datum
2018-08-15
Dokumentsprache
pdf - 1 MB
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Downloads

Datenblatt

Datenblatt S-303

Version / Datum
2018-08-15
Version / Datum
2018-08-15
Dokumentsprache
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB

Dokumentation

Kurzanleitung PZ277EK

S-3xx Piezokippplattformen
Version / Datum
1.0.0 November 2017
pdf - 1 MB

Angebot / Bestellung

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