S-303 Piezo-Phasenschieber

Hochdynamische, sub-nanometer-genaue Piezophasenschieber

Resonanzfrequenz 25 kHz für höchste Dynamik
Geregelte Version mit kapazitivem Sensor für Sub-Nanometer-Genauigkeit und Stabilität
Linearstellweg bis 3 µm
Geringe Abmessungen Ø 30 mm × 10 mm
Ungeregelte Versionen mit Apertur
Invar-Option

Spezifikationen

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PI Datenblatt S-303

Piezo-Phasenschieber hochdynamische, sub-nanometer-genaue Piezophasenschieber
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Zeichnungen / Bilder

PI S-303.0Lx
PI S-303.CDx
S-303 Systeme ermöglichen Auflösungen im Sub-Nanometer-Bereich, wie die obige Messung eines 250 Pikometer Schrittes zeigt (gesteuert mit E-509.C1A Servocontroller und E-503 Verstärker). Die Messung wurde mit einem hochempfindlichen externen kapazitiven

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