V-573 Ultrapräziser Nanopositionier-Lineartisch mit Direktantrieb

Produktübersicht

Die Nanopositionier-Lineartische V-573 sind für hohe Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit, lange Lebensdauer und einfache Integration mit anderen Tischen von PI und ACS-basierten Controllern ausgelegt.

Die Tische V-573 bieten im Vergleich zu Lineartischen ähnlicher Größe eine überragende Leistung hinsichtlich der linearen Trajektorie. Durch den leistungsstarken, Cogging-freien Direktantriebsmotor ist die Lineartischfamilie V-573 ausgezeichnet für den Einsatz in Produktionsumgebungen geeignet.

Die Modelle mit absolutem Encoder bieten nicht nur eine Auflösung von 1 nm, sondern auch einen sicheren und effizienten Start, der keine Initialisierung oder Referenzierungsfahrt erfordert. Der kontaktlose Direktantrieb-Linearmotor bietet eine hohe Dynamik und einen wartungs- und reibungsfreien Betrieb. Die hochpräzisen Kreuzrollenlager sind für einen wartungsarmen Betrieb über die gesamte Lebensdauer des Tischs konzipiert.

V-573 Lineartische sind für die XY-Montage ausgelegt und mit den ACS-basierten A-8xx Standard-Elektroniken kompatibel.

3-Phasen-Motoren für höhere Dynamik sowie reibungs- und wartungsfreien Betrieb

Die 3-phasigen Linearmotoren, die die Tische der Familie V-573 antreiben, übertragen ihre Kraft direkt und reibungsfrei auf die Bewegungsplattform. Dadurch werden Umkehrspiel und Spiel vermieden, die durch mechanische Komponenten wie Zahnräder und Schrauben im Antriebsstrang verursacht werden können. Diese Motoren, die ideal für Anwendungen mit hohen Geschwindigkeiten und hohen Beschleunigungen geeignet sind, zeichnen sich durch ein reibungs- und wartungsfreies Design aus, das eine lange Lebensdauer im anspruchsvollen Dauerbetrieb gewährleistet. Die Controllereinstellungen zur Strombegrenzung ermöglichen eine einfache Deaktivierung des Motors, um mögliche Schäden am Tisch oder an der Anwendung abzuwenden.

Kreuzrollenlager für höhere Belastbarkeit und Genauigkeit sowie eine längere Lebensdauer

Kreuzrollenlager bieten ein hohes Maß an Leichtgängigkeit, Geradheit und Ebenheit, das der Leistung von Luftlagern nahe kommt. Indem der Punktkontakt der Kugellager durch einen Linienkontakt ersetzt wurde, sind die Rollen wesentlich steifer und benötigen weniger Vorspannung. Diese Verringerung der Reibung führt zu einem ruhigeren Lauf, weniger Rauschen und einer höheren Genauigkeit. Kreuzrollenlager können auch höhere senkrechte Lasten und Momentbelastungen aufnehmen. Der Anti-Kriech-Mechanismus verhindert ein Abdriften der Rollen und sorgt dadurch für eine erhöhte Zuverlässigkeit. Die Anwendung von Reinraumfett sorgt für einen wartungsarmen Betrieb.

Modelle mit inkrementellem und absolutem Encoder verfügbar

Die Tische V-573 sind mit Linearencodern ausgestattet, die Positionen mit höchster Genauigkeit direkt auf der Bewegungsplattform messen. Dies verbessert die Linearität und gewährleistet Unempfindlichkeit gegenüber mechanischem Spiel und elastischer Verformung, wie sie bei indirekten Positionsrückmeldeverfahren auftreten können. Inkrementelle Encoder, die Sinus/Cosinus-Signale von 1 V_pp ausgeben, benötigen für den Start ein Referenzsignal. Im Gegensatz dazu bieten absolute Linearencoder eine eindeutige Positionsinformation, die eine sofortige Bestimmung der absoluten Position ermöglicht. Dadurch entfällt die Notwendigkeit einer Referenzierung beim Einschalten, was sowohl die Effizienz als auch die Sicherheit im Betrieb erhöht.

Auswahl des passenden Präzisionslineartischs und Controllers

Die Auswahl des richtigen Lineartischs ist entscheidend für eine optimale Leistung bei hochpräzisen Bewegungsanwendungen wie Halbleiterinspektion und Ausrichtung in der Photonik. Faktoren wie Auflösung, Führungsgenauigkeit und Wiederholgenauigkeit müssen in Betracht gezogen werden. Die V-573 Lineartischfamilie bietet eine außergewöhnliche geometrische Genauigkeit (Ebenheit, Geradheit, Nicken und Gieren) sowie eine bidirektionale Wiederholgenauigkeit von ±80 Nanometern. Mit ihren hochdynamischen Eigenschaften, einschließlich einer Beschleunigung von 1g und einer Geschwindigkeit von 500 mm/s, sind diese schnellen und präzisen motorisierten Tische ideal für die Automatisierung hochgenauer Positionieraufgaben, die für die Massenproduktion von Präzisionsgeräten erforderlich sind.

In Kombination mit den Controllern der Serie A-8xx von PI erreichen diese Tische eine unübertroffene Bewegungsleistung. Die EtherCAT-basierten Controller von PI bieten eine außerordentliche Flexibilität und erleichtern so die nahtlose Integration von EtherCAT-kompatiblen Geräten anderer Hersteller. Hochentwickelte Algorithmen in den Controllern der Serie A-8xx, wie PILOT, ermöglichen eine höhere Dynamik bei reduzierten Motorströmen und erhöhen dadurch praktisch die Kraftkonstante des Motors. Der V-573 ist die ideale Wahl, wenn es Ihnen um Präzision, Zuverlässigkeit und Effizienz in Ihren Bewegungsanwendungen geht.

Zubehör und Optionen

• Encodertyp: 1-V_pp-Sin/Cos- (20 µm oder 4 µm) oder absoluter Encoder mit BiSS-Ausgang
• Ein- oder mehrachsig, ACS Motion Controller und Servoantriebe, integriert oder verteilt
• Kabel kompatibel mit A-8xx, der Serie ACS-basierter Controller
• Mehrachsiger XY- und XYZ-Tischaufbau
• Granitunterbau

Einsatzgebiete

Probeninspektion. Präzise Mikromontage. Forschung. Biotechnologie. Halbleitertest und -inspektion. Metrologie. Allgemeine Automatisierung. Gerätemontage. Lasermikrobearbeitung. Pick-and-Place. Ausrichtung optischer, mikromechanischer und photonischer Komponenten.