M-122.2DD1 Mikrostelltisch
Kompakter Lineartisch mit direkter Positionsmessung
- Stellweg 25 mm
- Integrierter Linearencoder für höchste Genauigkeit mit Auflösung 0,1 µm
- Kleinste Schrittweite 0,2 µm
- Höchstgeschwindigkeit 20 mm/s
- Kugelumlaufspindel für hohe Geschwindigkeiten und Zyklenzahlen
Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder
Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.
Einsatzgebiete
Optische Justage. Präzisionsautomatisierung.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen und Positionieren | M-122.2DD1 | Einheit | Toleranz |
---|---|---|---|
Stellweg | 25 | mm | |
Integrierter Sensor | Linearencoder | ||
Sensorauflösung | 0,1 | µm | |
Rechnerische Auflösung | 0,1 | µm | typ. |
Kleinste Schrittweite | 0,2 | µm | typ. |
Umkehrspiel | 0,2 | µm | typ. |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit | 0,15 | µm | typ. |
Neigen | ±150 | µrad | typ. |
Gieren | ±150 | µrad | typ. |
Geschwindigkeit | 20 | mm/s | max. |
Referenzschalter Wiederholgenauigkeit | 1 | µm | typ. |
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Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch MP61
M-122 Mikrostelltisch
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