A-322 PIglide HS Planarscanner mit Luftlager

XY-Positioniersystem mit 1 nm Auflösung

Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
Reinraumtauglich
Stellwege bis 500 mm × 1000 mm
Belastbarkeit bis 245 N
Auflösung bis 1 nm
Geschwindigkeit bis 2 m/s

PIglide XY-Positioniersystem der Referenzklasse

Der PIglide HS Planarscanner besitzt magnetische Linearmotoren, Vakuum-Vorspannung und Absolutencoder: Kontakt- und Reibungsfreie Bewegung für höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit.

Absolutencoder

Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden.

PIMag® magnetischer Direktantrieb

Der Versteller besitzt einen eisenlosen magnetischen Direktantrieb, wodurch hohe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen möglich werden. Mit sinuskommutierter Ansteuerung wird gleichzeitig eine hohe Positionsauflösung erzielt, da der Antrieb reibungsfrei ist. Die Antriebskraft ist frei einstellbar.

Das Positioniersystem wurde ausgelegt, um sowohl die Durchsatzrate zu maximieren als auch die höchste Präzision zu gewährleisten. Die flexible Ankopplung der Brückenachse zur Portalachse ermöglicht eine laterale Entkopplung ohne auf die Gesamtsteifigkeit des Systems zu verzichten.

Der Betrieb mit Digitalcontrollern von führenden Herstellern bietet fortschrittliche Regelalgorithmen zur Verbesserung der Dynamik und Führungsfehlerkompensation.

Zubehör und Optionen

  • PIglide Filter und Druckregler
  • Zusätzliche Achsen
  • Unterbauten
  • Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung

 

Einsatzgebiete

PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.

Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Versteller ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.

Spezifikationen

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Datenblatt A-322

2017-02-22
2017-02-22
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Zeichnungen / Bilder

A-322 Zeichnung

Downloads

Datenblatt

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Datenblatt A-322

2017-02-22
2017-02-22
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3-D-Modelle

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A-322 STEP

2017-03-03
zip - 32 MB

Sonstiges

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Whitepaper: Air Bearings: When to Use and When to Avoid in Your Motion Application

All Positioning Stages are not Created Equal. Author: Matt Reck, PI
WP4003 2015-09
Englisch
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