A-322 PIglide™ HS Planarscanner mit Luftlager

XY Positioniersystem mit 1 nm Auflösung

Anforderungsspezifische Anpassungen möglich
Stellwege bis 500 mm x 1000 mm
Belastbarkeit 15 kg
Auflösung bis 1 nm
Geschwindigkeit bis 1 m/s, Beschleunigung bis 1 g
Geradheit / Ebenheit bis 0,25 µm
Aktive Führungsfehlerkompensation
Reinraumkomaptibel

Übersicht

Der PIglide HS Planarscanner mit Luftlager wurde ausgelegt, um sowohl die Durchsatzrate zu maximieren als auch die höchste Präzision zu gewährleisten. Dieser Versteller ist ideal für Anwendungen mit hochpräzisen Anforderungen an Bewegung und Positionierung wie in Inspektionssystemen für Halbleiter-Wafer oder Flachbildschirme.

Die Ankopplung der oberen Achse zur Achse über Festkörpergelenke ermöglicht eine laterale Entkopplung ohne auf die Gesamtsteifigkeit des Systems zu verzichten. Eisenlose Linearmotoren bieten einen gleichmäßigen Lauf ohne Cogging oder Anzugskräfte. Der PIglide HS ist mit drei hochgenauen Linearencodern ausgestattet, einer für die untere und zwei für die obere Achse. Wahlweise stehen hierfür inkrementelle oder Absoluteencoder zu Verfügung.

Der PIglide HS wird mit Digitalcontrollern führender Hersteller betrieben, die hervorragende Servo-Update-Raten (bis zu 5 kHz), fortschrittliche Regelalgorithmen zur Verbesserung der Dynamik und Führungsfehlerkompensation sowie eine große Auswahl an Werkzeugen für die Softwareentwicklung bieten.

 


Vorläufige Daten

A-322 X-Achse (obere Achse)

A-322 Y-Achse (untere Achse)

Einheit

Toleranz

Bewegung und Positionieren

Stellweg

350

500

mm

Integrierter Sensor

Optischer Linearencoder

Optischer Linearencoder

Sensorauflösung

Bis zu 1 nm

Bis zu 1 nm

Positioniergenauigkeit (1)

±1

±1

µm

typ.

Regelkonstanz (2)

±10

±15

nm

typ.

Bidirektionale Wiederholgenauigkeit

±0,05

±0,05

µm

typ.

Neigen

20

30

µrad

Gieren

3

2

µrad

Geradheit / Ebenheit

< 0,1 µm je 25 mm Stellweg, < ±1 über den gesamten Stellweg

< 0,1 µm je 25 mm Stellweg, < ±1 über den gesamten Stellweg

µm

Geschwindigkeit (3)

1000

1000

mm/s

max.

Geschwindigkeitskonstanz (2)

< 0,06 % bei 80 mm/s

< 0,1% bei 80 mm/s

XY-Orthogonalität

±10

µrad

 

Beschleunigung (3)

10

10

m/s²

max.

Einschwingen (3)

150 ms bei 10 mm Schrittweite auf ±0,1 µm genau

190 ms bei 20 mm Schrittweite auf ±0,1 µm genau

262 ms bei 50 mm Schrittweite auf ±0,1 µm genau

 

Mechanische Eigenschaften

Masse

705

kg

±5 %

 

Bewegte Masse

13

39

kg

±5 %

Führung

Luftlager

Luftlager

Betriebsdruck

4,5 ± 0,3 (65 ± 5)

bar (psi)

 

Luftdurchsatz

< 60 (< 2 SCFH)

l/h

 

Luftqualität

Rein (gefiltert bis 1,0 µm oder besser), ölfrei, trocken (-15°C Taupunkt)

 

Belastbarkeit (4)

150

N

max.

 

Antriebseigenschaften

Motortyp

Bürstenloser Servo-Linearmotor, 3 Phasen

Bürstenloser Servo-Linearmotor, 3 Phasen

Ω

Motorspannung

80

80

V

1. Mit optionaler Führungsfehlerkompensation

2. Abhängig von der Schwingungsisolation des Systems

3. Maximale Geschwindigkeit und Beschleunigung abhängig vom gewählten Antrieb und Motion Controller

4. Zentrische Last, Schwerpunkt nicht höher als 50 mm über der bewegten Plattform

Zeichnungen / Bilder

A-322, Abmessungen in mm

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt A-322

PIglide HS Planarscanner mit Luftlager XY Positioniersystem mit 1 nm Auflösung
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Sonstiges

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Whitepaper: Air Bearings: When to use and When to Avoid in your Motion Application

All Positioning Stages are not Created Equal. Author: Matt Reck, PI
WP4003 2015-09
Englisch
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