PIglide HS Planarscanner mit Luftlager

XY-Positioniersystem mit 1 nm Auflösung

PIglide HS Planarscanner mit Luftlager
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
  • Reinraumtauglich
  • Stellwege bis 500 mm × 1000 mm
  • Belastbarkeit bis 245 N
  • Auflösung bis 1 nm
  • Geschwindigkeit bis 2 m/s

PIglide XY-Positioniersystem der Referenzklasse

Der PIglide HS Planarscanner besitzt magnetische Linearmotoren, Vakuum-Vorspannung und Absolutencoder: Kontakt- und Reibungsfreie Bewegung für höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit.

Absolutencoder

Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden.

PIMag® magnetischer Direktantrieb

3-phasige magnetische Direktantriebe verzichten auf mechanische Bauteile im Antriebsstrang, sie übertragen die Antriebskraft direkt und reibungsfrei auf die Bewegungsplattform. Die Antriebe erreichen hohe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen. Eisenlose Motoren eignen sich besonders für Positionieraufgaben mit höchsten Ansprüchen an Präzision, da es keine unerwünschten Wechselwirkungen mit den Permanentmagneten gibt. Dies ermöglicht einen ruckfreien Lauf auch bei niedrigsten Geschwindigkeiten, gleichzeitig treten keine Vibrationen bei hohen Geschwindigkeiten auf. Nichtlinearitäten im Regelverhalten werden vermieden und jede beliebige Position kann einfach geregelt werden. Die Antriebskraft ist frei einstellbar.

Das Positioniersystem wurde ausgelegt, um sowohl die Durchsatzrate zu maximieren als auch die höchste Präzision zu gewährleisten. Die flexible Ankopplung der Brückenachse zur Portalachse ermöglicht eine laterale Entkopplung ohne auf die Gesamtsteifigkeit des Systems zu verzichten.

Der Betrieb mit Digitalcontrollern von führenden Herstellern bietet fortschrittliche Regelalgorithmen zur Verbesserung der Dynamik und Führungsfehlerkompensation.

Zubehör und Optionen

  • PIglide Filter und Druckregler
  • Zusätzliche Achsen
  • Unterbauten
  • Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung

Einsatzgebiete

PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.

Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Versteller ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.

Spezifikationen

Datenblatt A-322

Version / Datum
2018-02-01
Version / Datum
2018-02-01
Dokumentsprache
pdf - 689 KB
pdf - 700 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt A-322

Version / Datum
2018-02-01
Version / Datum
2018-02-01
Dokumentsprache
pdf - 689 KB
pdf - 700 KB

3-D-Modelle

A-322 STEP

Version / Datum
2017-03-03

Sonstiges

Whitepaper: Air Bearings: When to Use and When to Avoid in Your Motion Application

All Positioning Stages are not Created Equal. Author: Matt Reck, PI
Version / Datum
WP4003 2015-09
Dokumentsprache Englisch
pdf - 3 MB

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