A-322 PIglide HS Planarscanner mit Luftlager

XY-Positioniersystem mit 1 nm Auflösung

A-322 PIglide HS Planarscanner mit Luftlager
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
  • Reinraumtauglich
  • Stellwege bis 500 mm × 1000 mm
  • Belastbarkeit bis 245 N
  • Auflösung bis 1 nm, Geschwindigkeit bis 2 m/s
  • Drei Leistungsklassen: Base, Plus, und Ultra

PIglide XY-Positioniersystem der Referenzklasse

Der PIglide HS Planarscanner besitzt magnetische Linearmotoren, Vakuum-Vorspannung und Absolutencoder: Kontakt- und Reibungsfreie Bewegung für höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit.

Das Positioniersystem wurde ausgelegt, um sowohl die Durchsatzrate zu maximieren als auch die höchste Präzision zu gewährleisten. Die flexible Ankopplung der Brückenachse zur Portalachse ermöglicht eine laterale Entkopplung ohne auf die Gesamtsteifigkeit des Systems zu verzichten.

Das A-322 ist mit branchenführenden Controllern und Antriebsreglern von ACS gekoppelt, die eine hervorragende Servoleistung, fortschrittliche Regelalgorithmen zur Verbesserung der dynamischen Leistung und Fehlerkompensation sowie eine breite Palette von Softwareentwicklungswerkzeugen bieten.

Die A-322-Serie ist ein Ausgangspunkt für Anpassungen. Kritische Kernkomponenten wie Linearmotoren, Messsysteme und Luftlager-Baugruppen wurden bereits entwickelt, getestet und haben ihre Fähigkeiten unter Beweis gestellt. Je nach Anwendung und Anforderungen des Kunden bildet eine Variante der A-322-Serie den idealen Ausgangspunkt für eine maßgeschneiderte ultrapräzise Lösung.

3 Leistungs- und Preisklassen:

  • Base: XY-Gantry-Bauweise mit 3 Standard-Linearmotoren.
  • Plus: XY-Gantry-Bauweise mit 3 flüssigkeitsgekühlten Hochleistungs-Linearmotoren. Für Anwendungen mit hoher Einschaltdauer und hohen Beschleunigungen.
  • Ultra: XY-Dual-Gantry-Bauweise mit 4 flüssigkeitsgekühlten Hochleistungs-Linearmotoren. Sowohl die X- als auch die Y-Achse besitzen je 2 Linearmotoren und 2 Linearencoder. Diese Bauweise verbessert die Positioniergenauigkeit, Wiederholbarkeit und Fehlerkompensation, besonders bei Lasten mit großen Abmessungen.

Absolutencoder

Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden.

PIMag® magnetischer Direktantrieb

3-phasige magnetische Direktantriebe verzichten auf mechanische Bauteile im Antriebsstrang, sie übertragen die Antriebskraft direkt und reibungsfrei auf die Bewegungsplattform. Die Antriebe erreichen hohe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen. Eisenlose Motoren eignen sich besonders für Positionieraufgaben mit höchsten Ansprüchen an Präzision, da es keine unerwünschten Wechselwirkungen mit den Permanentmagneten gibt. Dies ermöglicht einen gleichmäßigen Lauf auch bei niedrigsten Geschwindigkeiten, gleichzeitig treten keine Vibrationen bei hohen Geschwindigkeiten auf. Nichtlinearitäten im Regelverhalten werden vermieden und jede beliebige Position kann einfach geregelt werden. Die Antriebskraft ist frei einstellbar.

Zubehör und Optionen

  • PIglide Filter und Druckregler
  • Zusätzliche Achsen
  • Unterbauten
  • Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung
  • Aufnahmen für zusätzliche Positionierer, wie Kippplattformen oder 6-Achs-Positionierer mit Piezoantrieben.

Lange Lebensdauer, reinraumtaugliche Schleppketten

Der A-322 verfügt über hochwertige, langlebige Flachbandkabel und Pneumatikschläuche. Umfangreiche Forschungs- und Entwicklungsarbeiten haben zu einem optimierten Kabelmanagement-System geführt, das Millionen von wartungsfreien Zyklen ermöglicht. Eine Teflonummantelung sorgt für geringe Partikelbildung.

Einsatzgebiete

PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.

Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Positionierer ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt A-322

Version / Datum
2019-05-14
Version / Datum
2019-05-14
Dokumentsprache
pdf - 450 KB
pdf - 457 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt A-322

Version / Datum
2019-05-14
Version / Datum
2019-05-14
Dokumentsprache
pdf - 450 KB
pdf - 457 KB

3-D-Modelle

3-D-Modelle

A-322 3D-Modell

Version / Datum
2017-03-03

Whitepaper

Whitepaper

Luftlager: Wann sie in Ihrer Bewegungsapplikation verwendet und wann sie vermieden werden sollten

Nicht alle Positioniertische sind gleich aufgebaut. Autor: Matt Reck, PI
Version / Datum
WP4003 2015-09
Dokumentsprache Englisch
pdf - 3 MB

Angebot / Bestellung

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A-322 Base
PIglide HS Planarscanner, Luftlager, 3-Phasen-Linearmotoren, Absolute Linearencoder, Stellweg bis zu 500 mm × 500 mm (bitte in der Anfrageliste spezifizieren)
A-322 Plus
PIglide HS Planarscanner, Luftlager, Flüssigkeitsgekühlte Hochleistungs-3-Phasen-Linearmotoren, Absolute Linearencoder, Stellweg bis zu 500 mm × 750 mm (bitte in der Anfrageliste spezifizieren)
A-322 Ultra
PIglide HS Planarscanner, XY-Dual-Gantry-Bauweise, Luftlager, Flüssigkeitsgekühlte Hochleistungs-3-Phasen-Linearmotoren, Absolute Linearencoder, Stellweg bis zu 500 mm × 1000 mm (bitte in der Anfrageliste spezifizieren)

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