P-541.2 • P-542.2 Piezokreuztisch

Flaches XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur

P-541.2 • P-542.2 Piezokreuztisch

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Der P-541.2DD hat eine Einschwingzeit von nur 3 ms bei einem 50-µm-Schritt.

Niedrige Bauhöhe für einfache Integration: 16,5 mm
Apertur 80 mm × 80 mm
Stellweg bis 200 µm × 200 µm
Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Hochdynamische direkt getriebene Version
Sensorik: Preisgünstige DMS-Sensoren oder kapazitive Sensoren für höhere Performance
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Kombination mit Mikroskoptischen für größere Stellwege möglich

Scanning-Mikroskopie
Hochdurchsatz-Mikroskopie
Superresolution-Mikroskopie
Masken- / Waferpositionierung
Interferometrie
Messtechnik
Biotechnologie
Mikromanipulation

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.

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Datenblatt

Datenblatt P-541.2 • P-542.2

Version / Datum

2019-11-15

Version / Datum

2019-11-15

Version / Datum

2018-07-11

Version / Datum

2018-06-19

Dokumentsprache

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	P-541.2CD / P-541.2CL	P-542.2CD / P-542.2CL	P-541.2DD	P-541.2SL	P-542.2SL	P-541.20L / P-542.20L	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	X, Y	X, Y	X, Y	X, Y	X, Y	X, Y
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor	Kapazitiv	Kapazitiv	Kapazitiv	DMS	DMS	–
Stellweg bei -20 bis +120 V, ungeregelt	150 µm × 150 µm	250 µm × 250 µm	60 µm × 60 µm	150 µm × 150 µm	250 µm × 250 µm	siehe P-541.2CD / P-542.2CD		+20 % / -0 %
Stellweg, geregelt	100 µm × 100 µm	200 µm × 200 µm	45 µm × 45 µm	100 µm × 100 µm	200 µm × 200 µm	–
Auflösung, ungeregelt / geregelt	0,2 / 0,3	0,4 / 0,7	0,1 / 0,3	0,2 / 2,5	0,4 / 4	ungeregelt 0,2 / 0,4	nm	typ.
Linearitätsabweichung	0,03	0,03	0,03*	0,2	0,2	–	%	typ.
Wiederholgenauigkeit	<5	<5	<5	<10	<10	–	nm	typ.
Neigen	<5	<5	<3	<5	<5	<5	µrad	typ.
Gieren	<10	<10	<3	<10	<10	<10	µrad	typ.
Mechanische Eigenschaften
Steifigkeit in Bewegungsrichtung	0,47	0,4	10	0,47	0,4	0,47 / 0,4	N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz, unbelastet	255	230	1550	255	230	255 / 230	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz, belastet, 100 g	200	190	–	200	190	200 / 190	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz, belastet, 200 g	180	–	1230	180	–	180 / –	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz, belastet, 300 g	150	145	–	150	145	150 / 145	Hz	±20 %
Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung	100 / 30	100 / 30	100 / 30	100 / 30	100 / 30	100 / 30	N	max.
Belastbarkeit	20	20	20	20	20	20	N	max.
Antriebseigenschaften
Piezokeramik	PICMA® P-885	PICMA® P-885	PICMA® P-885	PICMA® P-885	PICMA® P-885	PICMA® P-885
Elektrische Kapazität je Achse	4,2	7,5	9	4,2	7,5	4,2 / 7,5	µF	±20 %
Anschlüsse und Umgebung
ID-Chip-Funktionalität	P-541.2CD	P-542.2CD	Ja	–	–	–
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	°C
Material	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium
Masse	0,75	0,75	0,75	0,73	0,73	0,7	kg	±5 %
Kabellänge	1,5	1,5	1,5	1,5	1,5	1,5	m	±10 mm
Sensor- / Spannungsanschluss	CD-Versionen: D-Sub 25W3 (m) CL-Versionen: LEMO	CD-Versionen: D-Sub 25W3 (m) CL-Versionen: LEMO	D-Sub 25W3 (m)	LEMO	LEMO	LEMO (ohne Sensor)
Empfohlene Elektroniken	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727

* Mit Digitalcontroller. Mit Analogcontrollern kann die Linearitätsabweichung für direkt getriebene Positionierer typ. bis 0,1 % betragen.

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Produktmitteilung

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

Version / Datum

2021-04-19

Dokumentsprache Englisch

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Datenblatt

Datenblatt P-541.2 • P-542.2

Version / Datum

2019-11-15

Version / Datum

2019-11-15

Version / Datum

2018-07-11

Version / Datum

2018-06-19

Dokumentsprache

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pdf - 820 KB

Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum

6.1.0 10/2019

Version / Datum

6.1.0 10/2019

Dokumentsprache

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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ244

P-541/P-542 Nanopositionierer

Version / Datum

1.2.0 2020-07-27

Version / Datum

1.2.0 2020-07-27

Dokumentsprache

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3-D-Modelle

P-541.2 3D-Modell

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3-D-Modelle

P-542.2 3D-Modell

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Broschüre

Mikroskoptisch-Konfigurator

Probentische und -halter für inverse Mikroskope

Version / Datum

BRO70E R3D

Dokumentsprache Englisch

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Zu Angebot / Bestellung

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P-541.2DD

XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, hochdynamischer Direktantrieb, 45 µm × 45 µm, Parallelkinematik, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

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P-541.2CD

XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, 100 µm × 100 µm, Parallelkinematik, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

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P-541.2CL

XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, 100 µm × 100 µm, Parallelkinematik, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

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P-542.2CD

XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur, 200 µm × 200 µm, Parallelkinematik, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

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