P-541.2 • P-542.2 Piezokreuztisch
Flaches XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur
- Niedrige Bauhöhe für einfache Integration: 16,5 mm
- Apertur 80 mm × 80 mm
- Stellweg bis 200 µm × 200 µm
- Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
- Hochdynamische direkt getriebene Version
- Sensorik: Preisgünstige DMS-Sensoren oder kapazitive Sensoren für höhere Performance
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- Kombination mit Mikroskoptischen für größere Stellwege möglich
Einsatzgebiete
- Scanning-Mikroskopie
- Hochdurchsatz-Mikroskopie
- Superresolution-Mikroskopie
- Masken- / Waferpositionierung
- Interferometrie
- Messtechnik
- Biotechnologie
- Mikromanipulation
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung
Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.
Hochdynamischer Mehrachsbetrieb durch Parallelkinematik
In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.
Spezifikationen
Spezifikationen
P-541.2CD / P-541.2CL | P-542.2CD / P-542.2CL | P-541.2DD | P-541.2SL | P-542.2SL | P-541.20L / P-542.20L | Einheit | Toleranz | |
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Aktive Achsen | X, Y | X, Y | X, Y | X, Y | X, Y | X, Y |
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Bewegung und Positionieren |
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Integrierter Sensor | Kapazitiv | Kapazitiv | Kapazitiv | DMS | DMS | – |
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Stellweg bei -20 bis +120 V, ungeregelt | 150 µm × 150 µm | 250 µm × 250 µm | 60 µm × 60 µm | 150 µm × 150 µm | 250 µm × 250 µm | siehe P-541.2CD / P-542.2CD | +20 % / -0 % | |
Stellweg, geregelt | 100 µm × 100 µm | 200 µm × 200 µm | 45 µm × 45 µm | 100 µm × 100 µm | 200 µm × 200 µm | – |
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Auflösung, ungeregelt / geregelt | 0,2 / 0,3 | 0,4 / 0,7 | 0,1 / 0,3 | 0,2 / 2,5 | 0,4 / 4 | ungeregelt 0,2 / 0,4 | nm | typ. |
Linearitätsabweichung | 0,03 | 0,03 | 0,03* | 0,2 | 0,2 | – | % | typ. |
Wiederholgenauigkeit | <5 | <5 | <5 | <10 | <10 | – | nm | typ. |
Neigen | <5 | <5 | <3 | <5 | <5 | <5 | µrad | typ. |
Gieren | <10 | <10 | <3 | <10 | <10 | <10 | µrad | typ. |
Mechanische Eigenschaften |
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Steifigkeit in Bewegungsrichtung | 0,47 | 0,4 | 10 | 0,47 | 0,4 | 0,47 / 0,4 | N/µm | ±20 % |
Resonanzfrequenz, unbelastet | 255 | 230 | 1550 | 255 | 230 | 255 / 230 | Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz, belastet, 100 g | 200 | 190 | – | 200 | 190 | 200 / 190 | Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz, belastet, 200 g | 180 | – | 1230 | 180 | – | 180 / – | Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz, belastet, 300 g | 150 | 145 | – | 150 | 145 | 150 / 145 | Hz | ±20 % |
Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung | 100 / 30 | 100 / 30 | 100 / 30 | 100 / 30 | 100 / 30 | 100 / 30 | N | max. |
Belastbarkeit | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | N | max. |
Antriebseigenschaften |
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Piezokeramik | PICMA® P-885 | PICMA® P-885 | PICMA® P-885 | PICMA® P-885 | PICMA® P-885 | PICMA® P-885 |
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Elektrische Kapazität je Achse | 4,2 | 7,5 | 9 | 4,2 | 7,5 | 4,2 / 7,5 | µF | ±20 % |
Anschlüsse und Umgebung |
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ID-Chip-Funktionalität | P-541.2CD | P-542.2CD | Ja | – | – | – | ||
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 | -20 bis 80 | -20 bis 80 | -20 bis 80 | -20 bis 80 | -20 bis 80 | °C |
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Material | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium |
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Masse | 0,75 | 0,75 | 0,75 | 0,73 | 0,73 | 0,7 | kg | ±5 % |
Kabellänge | 1,5 | 1,5 | 1,5 | 1,5 | 1,5 | 1,5 | m | ±10 mm |
Sensor- / Spannungsanschluss | CD-Versionen: D-Sub 25W3 (m) CL-Versionen: LEMO | CD-Versionen: D-Sub 25W3 (m) CL-Versionen: LEMO | D-Sub 25W3 (m) | LEMO | LEMO | LEMO (ohne Sensor) | ||
Empfohlene Elektroniken | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 |
Downloads
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ244
P-541/P-542 Nanopositionierer
3-D-Modelle
P-541.2 3D-Modell
P-542.2 3D-Modell
Broschüre
Mikroskoptisch-Konfigurator
Probentische und -halter für inverse Mikroskope
Angebot / Bestellung
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Zubehör
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Technologie

PICMA® Technologie
Hohe Zuverlässigkeit und überlegene Lebensdauer durch das patentierte Herstellungsverfahren für Multilayer-Aktoren.

Flexure Festkörpergelenke
Festkörpergelenksführungen von PI führen den Piezoaktor und dienen der geradlinigen Bewegung ohne Verkippung oder seitlichen Versatz.

Digitale Motion Controller
Digitale Controller haben gegenüber analogen Verstärkerelektroniken Vorteile, die vor allem bei hochpräzisen Positionieraufgaben zum Tragen kommen.

Kapazitive Sensoren
Präzision und Reproduzierbarkeit sind undenkbar ohne Einsätze höchstauflösender Messverfahren. Hier bieten kapazitive Sensoren die besten Ergebnisse.

Parallele Kinematik
Der Vorteil eines Parallelkinematik-Mehrachsensystem ist, dass es kompakter gebaut werden kann, da nur es nur eine bewegte Plattform gibt.