P-541.2 • P-542.2 Piezokreuztisch

Aktive Achsen

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

DMS

DMS

–

Stellweg bei -20 bis +120 V, ungeregelt

150 µm × 150 µm

250 µm × 250 µm

60 µm × 60 µm

150 µm × 150 µm

250 µm × 250 µm

siehe P-541.2CD / P-542.2CD

+20 % / -0 %

Stellweg, geregelt

100 µm × 100 µm

200 µm × 200 µm

45 µm × 45 µm

100 µm × 100 µm

200 µm × 200 µm

–

Auflösung, ungeregelt / geregelt

0,2 / 0,3

0,4 / 0,7

0,1 / 0,3

0,2 / 2,5

0,4 / 4

ungeregelt 0,2 / 0,4

nm

typ.

Linearitätsabweichung

0,03

0,03

0,03*

0,2

0,2

–

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

<5

<5

<5

<10

<10

–

nm

typ.

Neigen

<5

<5

<3

<5

<5

<5

µrad

typ.

Gieren

<10

<10

<3

<10

<10

<10

µrad

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Bewegungsrichtung

0,47

0,4

10

0,47

0,4

0,47 / 0,4

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

255

230

1550

255

230

255 / 230

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 100 g

200

190

–

200

190

200 / 190

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 200 g

180

–

1230

180

–

180 / –

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 300 g

150

145

–

150

145

150 / 145

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

100 / 30

100 / 30

100 / 30

100 / 30

100 / 30

100 / 30

N

max.

Belastbarkeit

20

20

20

20

20

20

N

max.

Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität je Achse

4,2

7,5

9

4,2

7,5

4,2 / 7,5

µF

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Masse

0,75

0,75

0,75

0,73

0,73

0,7

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

CD-Versionen: D-Sub 25W3 (m)

CL-Versionen: LEMO

CD-Versionen: D-Sub 25W3 (m)

CL-Versionen: LEMO

D-Sub 25W3 (m)

LEMO

LEMO

LEMO (ohne Sensor)

Empfohlene Elektroniken

E-503, E-505, E-621, E-712, E-727

E-503, E-505, E-621, E-712, E-727

E-503, E-505, E-621, E-712, E-727

E-503, E-505, E-621, E-712, E-727

E-503, E-505, E-621, E-712, E-727

E-503, E-505, E-621, E-712, E-727