P-541.2 • P-542.2 Piezokreuztisch

Flaches XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur

P-541.2 • P-542.2 Piezokreuztisch
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Niedrige Bauhöhe für einfache Integration: 16,5 mm
  • Apertur 80 mm × 80 mm
  • Stellweg bis 200 µm × 200 µm
  • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
  • Hochdynamische direkt getriebene Version
  • Sensorik: Preisgünstige DMS-Sensoren oder kapazitive Sensoren für höhere Performance
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • Kombination mit Mikroskoptischen für größere Stellwege möglich

Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Hochdurchsatz-Mikroskopie
  • Superresolution-Mikroskopie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Interferometrie
  • Messtechnik
  • Biotechnologie
  • Mikromanipulation

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Hochdynamischer Mehrachsbetrieb durch Parallelkinematik

In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt P-541.2 • P-542.2

Version / Datum
2019-11-15
Version / Datum
2019-11-15
Version / Datum
2018-07-11
Version / Datum
2018-06-19
Dokumentsprache
pdf - 564 KB
pdf - 568 KB
pdf - 905 KB
pdf - 820 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt P-541.2 • P-542.2

Version / Datum
2019-11-15
Version / Datum
2019-11-15
Version / Datum
2018-07-11
Version / Datum
2018-06-19
Dokumentsprache
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Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ244

P-541, P-542 XY-Nanopositioniersysteme mit großer Apertur
Version / Datum
2013-03-21
Version / Datum
2013-03-21
Dokumentsprache
Dokumentation

Übersicht Mikroskopiezubehör

PI Mikroskopie-Probenhalter und Adapter für Mikroskopietische
Version / Datum
2018-05-16
Version / Datum
2018-05-16
Dokumentsprache
pdf - 138 KB
pdf - 150 KB

3-D-Modelle

3-D-Modelle

P-541.2 3D-Modell

3-D-Modelle

P-542.2 3D-Modell

Broschüre

Broschüre

Mikroskoptisch-Konfigurator

Probentische und -halter für inverse Mikroskope
Version / Datum
BRO70E R3D
Dokumentsprache Englisch
pdf - 4 MB

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