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P-621.1U • P-625.1U PIHera Linearer Präzisionspositionierer

Vakuumkompatibel und variabel in Stellweg und Achskonfiguration

  • Stellwege 100 bis 500 µm (600 µm ungeregelt)
  • Auflösung bis 0,2 nm
  • Linearitätsabweichung ≤0,03 %
  • XY-Kombination möglich
  • UHV-kompatibel bis 10-9 hPa
P-621.1U • P-625.1U PIHera Linearer Präzisionspositionierer
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Einsatzgebiete

  • Interferometrie
  • Mikroskopie
  • Nanopositionierung
  • Biotechnologie
  • Testanwendungen
  • Halbleitertechnik
  • Photonik
  • Faserpositionierung

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt P-621.1U • P-625.1U

Version / Datum
2022-02-14
pdf - 558 KB
Version / Datum
2022-02-14
pdf - 561 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt P-621.1U • P-625.1U

Version / Datum
2022-02-14
pdf - 558 KB
Version / Datum
2022-02-14
pdf - 561 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ234

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum
1.3.0 2021-11-03
pdf - 3 MB
Version / Datum
1.3.0 2021-11-03
pdf - 3 MB

3-D-Modelle

3-D-Modelle

P-62x.1 STEP

Version / Datum
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zip - 954 KB

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