P-620.Z - P-622.Z PIHera Vertikaler Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

  • Stellwege 50 µm bis 250 µm (350 µm ungeregelt)
  • Auflösung bis 0,1 nm
  • Linearitätsabweichung nur 0,02 %
  • Direkte Positionsmessung mit kapazitiven Sensoren
  • X-, XY-, Z-, XYZ-Versionen
P-620.Z - P-622.Z PIHera Vertikaler Präzisionspositionierer
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung

Einsatzgebiete

  • Interferometrie
  • Mikroskopie
  • Nanopositionierung
  • Biotechnologie
  • Testanwendungen
  • Halbleitertechnik

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt P-620.Z – P-622.Z

Version / Datum
2023-12-12
pdf - 570 KB
Version / Datum
2023-12-12
pdf - 580 KB
Version / Datum
2018-06-13
pdf - 747 KB

Downloads

Produktmitteilung

Produktmitteilung

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt P-620.Z – P-622.Z

Version / Datum
2023-12-12
pdf - 570 KB
Version / Datum
2023-12-12
pdf - 580 KB
Version / Datum
2018-06-13
pdf - 747 KB

Dokumentation

Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum
6.2.0 03/2024
pdf - 561 KB
Version / Datum
6.2.0 03/2024
pdf - 595 KB
Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ234

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum
1.3.0 2021-11-03
pdf - 3 MB
Version / Datum
1.3.0 2021-11-03
pdf - 3 MB

3-D-Modelle

3-D-Modelle

P-62x.Z 3D Modell

zip - 327 KB

Angebot / Bestellung

Fordern Sie ein unverbindliches Angebot über gewünschte Stückzahlen, Preise und Lieferzeiten an oder beschreiben Sie Ihre gewünschte Modifikation.

Fragen Sie den Fachmann!

Erhalten Sie innerhalb kürzester Zeit per E-Mail oder Telefon eine Rückmeldung zu Ihren Fragen von einem PI Vertriebsingenieur.

Kompatible Elektroniken Kompatibles Zubehör Verwandte Produkte

Technologie