|
Aktive Achsen
|
Z
|
Z
|
|
|
Stellweg in Z, ungeregelt
|
120 µm
|
120 µm
|
±20%
|
|
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z)
|
± 20 µrad
|
± 20 µrad
|
typ.
|
|
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z)
|
± 5 µrad
|
± 5 µrad
|
typ.
|
|
Rollen (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Z)
|
± 5 µrad
|
± 5 µrad
|
typ.
|
|
Bandbreite, 10%-Schritt in Z
|
40 Hz
|
40 Hz
|
|
|
Stellweg in Z
|
|
100 µm
|
|
|
Linearitätsabweichung in Z
|
|
0,1 %
|
typ.
|
|
Positionieren
|
P-611.Z0
|
P-611.ZS
|
Toleranz
|
|
Auflösung in Z, ungeregelt
|
0,2 nm
|
0,2 nm
|
typ.
|
|
Einschwingzeit für 10%-Schritt in Z
|
25 ms
|
25 ms
|
|
|
Integrierter Sensor
|
|
DMS, indirekte Positionsmessung
|
|
|
Systemauflösung in Z
|
|
2 nm
|
|
|
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z
|
|
± 5 nm
|
typ.
|
|
Antriebseigenschaften
|
P-611.Z0
|
P-611.ZS
|
Toleranz
|
|
Antriebstyp
|
PICMA®
|
PICMA®
|
|
|
Elektrische Kapazität in Z
|
1,5 µF
|
1,5 µF
|
±20%
|
|
Mechanische Eigenschaften
|
P-611.Z0
|
P-611.ZS
|
Toleranz
|
|
Führung
|
Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
|
Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
|
|
|
Steifigkeit in Z
|
0,45 N/µm
|
0,45 N/µm
|
±20 %
|
|
Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 100 g
|
265 Hz
|
265 Hz
|
±20%
|
|
Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 30 g
|
375 Hz
|
375 Hz
|
±20%
|
|
Resonanzfrequenz in Z, unbelastet
|
460 Hz
|
460 Hz
|
±20%
|
|
Zulässige Druckkraft in Z
|
15 N
|
15 N
|
max.
|
|
Zulässige Zugkraft in Z
|
10 N
|
10 N
|
max.
|
|
Gesamtmasse
|
176 g
|
176 g
|
|
|
Material
|
Aluminium, Stahl
|
Aluminium, Stahl
|
|
|
|
P-611.Z0
|
P-611.ZS
|
Toleranz
|
|
Anschluss
|
LEMO LVPZT
|
LEMO LVPZT
|
|
|
Empfohlene Controller / Treiber
| E-610, E-625, E-665, E-836 | E-610, E-625, E-665, E-709.SRG, E-836 |
|
|
Kabellänge
|
1,5 m
|
1,5 m
|
|
|
Betriebstemperaturbereich
|
-20 bis 80 °C
|
-20 bis 80 °C
|
|
|
Sensoranschluss
|
|
LEMO für Dehnmessstreifen
|
|
