Nanopositionier-Hubtisch, 120 µm, ohne Sensor
P-611.Z Piezohubtisch
Kompakter Nanopositionierer
- Kompakt: Grundfläche nur 44 mm × 44 mm
- Stellweg 100 µm
- Auflösung bis 0,2 nm
- Besonders kostengünstige Systeme (Mechanik und Controller)
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- X-, XY-, XZ- und XYZ-Versionen
Einsatzgebiete
- Mikrobearbeitung
- Photonik
- Faserpositionierung
- Prüfverfahren und Qualitätssicherung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | P-611.Z0 | P-611.ZS | Toleranz |
---|---|---|---|
Aktive Achsen | Z | Z | |
Stellweg in Z, ungeregelt | 120 µm | 120 µm | ±20% |
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z) | ± 20 µrad | ± 20 µrad | typ. |
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
Rollen (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Z) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
Bandbreite, 10%-Schritt in Z | 40 Hz | 40 Hz | |
Stellweg in Z | 100 µm | ||
Linearitätsabweichung in Z | 0,1 % | typ. | |
Positionieren | P-611.Z0 | P-611.ZS | Toleranz |
Auflösung in Z, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | typ. |
Einschwingzeit für 10%-Schritt in Z | 25 ms | 25 ms | |
Integrierter Sensor | DMS, indirekte Positionsmessung | ||
Systemauflösung in Z | 2 nm | ||
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 5 nm | typ. | |
Antriebseigenschaften | P-611.Z0 | P-611.ZS | Toleranz |
Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | |
Elektrische Kapazität in Z | 1,5 µF | 1,5 µF | ±20% |
Mechanische Eigenschaften | P-611.Z0 | P-611.ZS | Toleranz |
Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
Steifigkeit in Z | 0,45 N/µm | 0,45 N/µm | ±20 % |
Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 100 g | 265 Hz | 265 Hz | ±20% |
Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 30 g | 375 Hz | 375 Hz | ±20% |
Resonanzfrequenz in Z, unbelastet | 460 Hz | 460 Hz | ±20% |
Zulässige Druckkraft in Z | 15 N | 15 N | max. |
Zulässige Zugkraft in Z | 10 N | 10 N | max. |
Gesamtmasse | 176 g | 176 g | |
Material | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | |
P-611.Z0 | P-611.ZS | Toleranz | |
Anschluss | LEMO LVPZT | LEMO LVPZT | |
Empfohlene Controller / Treiber | E-610, E-625, E-665, E-836 | E-610, E-625, E-665, E-709.SRG, E-836 | |
Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | |
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | |
Sensoranschluss | LEMO für Dehnmessstreifen |
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).
Systemeigenschaften
Systemkonfiguration: P-611.ZS und E-665.SR Controller mit 30 g Last
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ253
P-611 Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor / ohne Sensor
Auspackanweisung P611T0006
Auspacken und Handhabung von P-611 Positionierern
3-D-Modelle
P-611.Z 3D-Modell
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Nanopositionier-Hubtisch, 100 µm, DMS-Sensor