P-611.Z Piezohubtisch

Kompakter Nanopositionierer

P-611.Z Piezohubtisch

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Der P-611.ZS benötigt eine Einschwingzeit von 26 ms für einen 10-µm-Schritt bei einer Last von 30 g.

Kompakt: Grundfläche nur 44 mm × 44 mm
Stellweg 100 µm
Auflösung bis 0,2 nm
Besonders kostengünstige Systeme (Mechanik und Controller)
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
X-, XY-, XZ- und XYZ-Versionen

Mikrobearbeitung
Photonik
Faserpositionierung
Prüfverfahren und Qualitätssicherung

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

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Datenblatt

Datenblatt P-611.Z

Version / Datum

2019-01-18

Version / Datum

2019-01-18

Version / Datum

2019-01-18

Version / Datum

2019-01-18

Dokumentsprache

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	P-611.ZS	P-611.Z0	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	Z	Z
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor	DMS	-
Stellweg bei -20 bis +120V, ungeregelt	120	120	µm	+20 % / -0 %
Stellweg, geregelt	100	-	µm
Auflösung, ungeregelt	0,2	0,2	nm	typ.
Auflösung, geregelt	2	-	nm	typ.
Linearitätsabweichung	0,1	-	%	typ.
Wiederholgenauigkeit	<10	-	nm	typ.
Verkippung θ_Z (Bewegung in Z)	±5	±5	µrad	typ.
Verkippung θ_X (Bewegung in Z)	±20	±20	µrad	typ.
Verkippung θ_Y (Bewegung in Z)	±5	±5	µrad	typ.
Mechanische Eigenschaften
Steifigkeit	0,45	0,45	N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz unbelastet	460	460	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz belastet, 30 g	375	375	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz belastet, 100 g	265	265	Hz	±20 %
Druck- / Zugbelastbarkeit	15 / 10	15 / 10	N	max.
Antriebseigenschaften
Keramiktyp	PICMA® P-885	PICMA® P-885
Elektrische Kapazität	1,5	1,5	µF	±20 %
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80	-20 bis 80	°C
Material	Aluminium, Stahl	Aluminium, Stahl
Abmessungen	44 mm × 44 mm × 27 mm	44 mm × 44 mm × 27 mm
Masse	176	176	g	±5 %
Kabellänge	1,5	1,5	m	±10 mm
Sensoranschluss	LEMO	-
Spannungsanschluss	LEMO	LEMO
Empfohlene Elektroniken	E-610, E-625, E-665, E-836	E-610, E-625, E-665, E-836

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

Systemeigenschaften

Systemkonfiguration: P-611.ZS und E-665.SR Controller mit 30 g Last

Kleinsignalbandbreite: 40 Hz

Einschwingzeit (10 % Schrittweite): 25 ms

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Datenblatt

Datenblatt P-611.Z

Version / Datum

2019-01-18

Version / Datum

2019-01-18

Version / Datum

2019-01-18

Version / Datum

2019-01-18

Dokumentsprache

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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ253

P-611 Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor / ohne Sensor

Version / Datum

1.2.0 2021-04-13

Version / Datum

1.2.0 2021-04-13

Dokumentsprache

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Dokumentation

Auspackanweisung P611T0006

Auspacken und Handhabung von P-611 Positionierern

Version / Datum

2018-01-24

Dokumentsprache Englisch

Anfrage Downloadlink

Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum

6.1.0 10/2019

Version / Datum

6.1.0 10/2019

Dokumentsprache

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3-D-Modelle

P-611.Z 3D-Modell

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P-611.Z0

Nanopositionier-Hubtisch, 120 µm, ohne Sensor

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P-611.ZS

Nanopositionier-Hubtisch, 100 µm, DMS-Sensor

Verfügbar im PI Store

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