A-361 PIglide luftgelagerter XY-Rotationstisch

Hohe Leistungsfähigkeit • Reinraumtauglich • Niedrige Bauhöhe

  • Stellweg in X- und Y-Richtung ±2,5 mm
  • Rotationsbereich ±1 °
  • Belastbarkeit bis 3 Kg
  • Durchmesser der Bewegungsplattform 200 mm
  • Gesamthöhe 40 mm
  • Integriertes Vakuumspannsystem
  • Reibungsfreier Betrieb, Luftlager arretierbar
A-361 PIglide luftgelagerter XY-Rotationstisch
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Produktübersicht

A-361 ist ein luftgelagerter Kreuz- und Rotationstisch mit Direktantrieb. Ausgelegt als parallelkinematisches Mehrachssystem, macht die Plattform sowohl Bewegungen in X- und Y-Richtung als auch Drehbewegungen um die Z-Achse. Dieser Tisch bietet ultrahohe Präzision bei sehr niedriger Bauhöhe. Die Kombination der berührungslosen Komponenten ergibt reibungslose Bewegungen. Dadurch bietet der A-361 nicht nur ultrahohe Präzision, sondern auch sehr hohe Leistung und hohe Lebensdauer. Da der A-361 bei Bedarf arretiert werden kann, bietet er eine hervorragende Positionsstabilität.

Der A-361 kann auf einem A-523 Hub-Kipptisch montiert werden. Dadurch erhalten Sie ein kompaktes System mit 6 Freiheitsgraden.

Zubehör und Optionen

  • Luftfilter und Druckregler
  • Kompatible A-8xx Kabel
  • A-8xx Mehrachs-Controller
  • Integriertes Vakuumspannsystem

Einsatzgebiete

Der Tisch ist ideal geeignet für viele hochpräzise Anwendungen, wie Wafer-Inspektion, Faserpositionierung, Optikpositionierung, Flachbildschirm-Inspektion, maskenlose Lithographie und Ultra-LED-Herstellung. Der berührungslose Aufbau ist ideal geeignet für Anwendungen im Reinraum.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt A-361

Version / Datum
2024-02-21
pdf - 622 KB
Version / Datum
2024-02-21
pdf - 631 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt A-361

Version / Datum
2024-02-21
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Version / Datum
2024-02-21
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3-D-Modelle

3-D-Modelle

A-361 3-D-Modell

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A-361.AA100
PIglide luftgelagerter XY-Rotationstisch; Voice-Coil-Antrieb; ±2,5 mm × ±2,5 mm Stellweg (X × Y), ±1 ° Rotationsbereich (θZ); 30 N Belastbarkeit; 3 inkrementelle Encoder mit sin/cos-Signalübertragung, 80 µm Signalperiode

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