A-361 PIglide luftgelagerter XY-Rotationstisch

Hohe Leistungsfähigkeit • Reinraumtauglich • Niedrige Bauhöhe

Stellweg in X- und Y-Richtung ±2,5 mm
Rotationsbereich ±1 °
Belastbarkeit bis 3 Kg
Durchmesser der Bewegungsplattform 200 mm
Gesamthöhe 40 mm
Integriertes Vakuumspannsystem
Reibungsfreier Betrieb, Luftlager arretierbar

A-361, Abmessungen in mm

6-Achskombination aus A-361 (oben) und A-523 (unten): Aufbau für Faserpositionierung. (Die Kaffeetasse dient dem Größenvergleich.)

A-361 ist ein luftgelagerter Kreuz- und Rotationstisch mit Direktantrieb. Ausgelegt als parallelkinematisches Mehrachssystem, macht die Plattform sowohl Bewegungen in X- und Y-Richtung als auch Drehbewegungen um die Z-Achse. Dieser Tisch bietet ultrahohe Präzision bei sehr niedriger Bauhöhe. Die Kombination der berührungslosen Komponenten ergibt reibungslose Bewegungen. Dadurch bietet der A-361 nicht nur ultrahohe Präzision, sondern auch sehr hohe Leistung und hohe Lebensdauer. Da der A-361 bei Bedarf arretiert werden kann, bietet er eine hervorragende Positionsstabilität.

Der A-361 kann auf einem A-523 Hub-Kipptisch montiert werden. Dadurch erhalten Sie ein kompaktes System mit 6 Freiheitsgraden.

Luftfilter und Druckregler
Kompatible A-8xx Kabel
A-8xx Mehrachs-Controller
Integriertes Vakuumspannsystem

Der Tisch ist ideal geeignet für viele hochpräzise Anwendungen, wie Wafer-Inspektion, Faserpositionierung, Optikpositionierung, Flachbildschirm-Inspektion, maskenlose Lithographie und Ultra-LED-Herstellung. Der berührungslose Aufbau ist ideal geeignet für Anwendungen im Reinraum.

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Datenblatt

Version / Datum

2024-02-21

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Version / Datum

2024-02-21

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Bewegen	A-361.AA100	Toleranz
Aktive Achsen	X, Y, θZ
Stellweg in X, Y ⁽¹⁾	± 2,5 mm	max.
Rotationsbereich in θZ ⁽¹⁾	± 1 °	max.
Neigen (X, Y)	25 µrad	max.
Gieren (X, Y)	2 µrad	max.

Positionieren	A-361.AA100	Toleranz
Kleinste Schrittweite in X, Y ⁽²⁾	< 30 nm	typ.
Kleinste Schrittweite in θZ ⁽²⁾	< 0,5 µrad	typ.
Positioniergenauigkeit in X, Y, kalibriert ⁽³⁾	± 0,2 µm	max.
Positioniergenauigkeit in θZ, kalibriert ⁽³⁾	± 5 µrad	max.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X, Y	0,2 µm	max.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θZ	4 µrad	max.
Integrierter Sensor	3 × inkrementell, optisch
Sensorsignal	Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze (differenziell)
Sensorsignalperiode	80 µm, 20 nm bei 4096-facher Interpolation

Antriebseigenschaften	A-361.AA100	Toleranz
Antriebstyp	Voice-Coil (X-Achse: 1 ×,Y-Achse: 2 ×)
Busspannung	48 V DC nom., 48 V DC max.
Dauerstrom	0,5 A	max.
Spitzenstrom	1,5 A	max.
Dauerkraft	6 N	max.
Spitzenkraft	19,2 N	max.
Kraftkonstante	11,7 N/A	typ.
Widerstand Phase-Phase	25 Ω	typ.
Induktivität Phase-Phase	8,8 mH	typ.
Gegen-EMK Phase-Phase	12 V·s/m	typ.
Polteilung N-N	N/A

Mechanische Eigenschaften	A-361.AA100	Toleranz
Zulässige Druckkraft in Z ⁽⁴⁾	30 N	max.
Bewegte Masse, unbelastet	1,4 kg	typ.
Führung	Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung, arretierbar
Gesamtmasse	3,4 kg	typ.
Material	Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl

Anschlüsse und Umgebung	A-361.AA100	Toleranz
Anschluss	HD D-Sub 44 (m)
Luftanschluss	Steckverbinder für Einhandbedienung, für Schlauch mit 4 mm Außendurchmesser
Vakuumanschluss	Steckverbinder für Einhandbedienung, für Schlauch mit 6 mm Außendurchmesser
Betriebsdruck ⁽⁵⁾	447 bis 517 kPa
Luftdurchsatz	28 L/min	max.
Luftqualität	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1, Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1, Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3

⁽¹⁾ Die X- und Y-Stellwege und der Rotationsbereich in θZ hängen zusammen. Die Angaben in der Tabelle zeigen für jede Achse den maximalen Stellweg, wenn alle anderen Achsen an der Referenzposition stehen.

⁽²⁾ Steht in direktem Zusammenhang mit der Systemstabilität (Servozittern); diese ist vom verwendeten Servoantrieb abhängig. Die Positionsstabilität kann durch den Einsatz von ServoBoost^TM PLUS auf einem ACS SPiiPlus Controller verbessert werden.

⁽³⁾ Die kalibrierte Genauigkeit kann nur mit Controller-gesteuerter Fehlerkompensation erreicht werden. Der Tisch muss mit einem Controller von PI geordert werden, um diese Werte zu erreichen. Genauigkeitswerte gehen von kurzfristiger Dauer aus und berücksichtigen die Langzeitfolgen des thermischen Drifts auf den Tisch nicht.

⁽⁴⁾ Geht von einem Betriebsdruck der Luftlager von 480 kPA (70 psi) aus. Der Tisch ist nur für den horizontalen Betrieb ausgelegt.

⁽⁵⁾ Zum Schutz des Tischs gegen Schäden wird empfohlen, einen Luftdrucksensor an den E-Stop-Eingang des Controllers anzuschließen.

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Datenblatt

Version / Datum

2024-02-21

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A-361.AA100

PIglide luftgelagerter XY-Rotationstisch; Voice-Coil-Antrieb; ±2,5 mm × ±2,5 mm Stellweg (X × Y), ±1 ° Rotationsbereich (θZ); 30 N Belastbarkeit; 3 inkrementelle Encoder mit sin/cos-Signalübertragung, 80 µm Signalperiode

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