Kompakter Lineartisch, vielseitig einsetzbar
Lineartisch mit kompakter Baugröße durch gefalteten Antrieb mit Riemengetriebe. Freie Apertur mit 10 mm Ø. XY-Aufbauten sind ohne Adapterplatte direkt montierbar.
Reduziertes Ausgasen speziell für den Einsatz in Vakuumumgebung
Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden. Durch diese und weitere Modifikationen der PI Vakuumklasse V6 kann dieser Positionierer bei bis zu 10-6 hPa verwendet werden.
Antrieb
Positionsmessung
Einsatzgebiete
Vakuumkammern. Forschung. Beamline-Instrumentierung. Mikroskopie. Elektronikmontage und -inspektion.
| Bewegen | M-110.1VG1 | M-111.1VG1 | M-112.1VG1 | Toleranz |
|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X | X | X | |
| Stellweg in X | 5 mm | 15 mm | 25 mm | |
| Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 1 mm/s | 1,5 mm/s | 1,5 mm/s | |
| Positionieren | M-110.1VG1 | M-111.1VG1 | M-112.1VG1 | Toleranz |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | 0,25 µm | 0,25 µm | 0,25 µm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 2 µm | ± 2 µm | ± 2 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in X | 0,05 µm | 0,05 µm | 0,05 µm | typ. |
| Umkehrspiel in X | 3 µm | 3 µm | 3 µm | typ. |
| Referenzschalter | Hall-Effekt | Hall-Effekt | Hall-Effekt | |
| Endschalter | Hall-Effekt | Hall-Effekt | Hall-Effekt | |
| Motorencoder | Inkrementeller Rotationsencoder | Inkrementeller Rotationsencoder | Inkrementeller Rotationsencoder | |
| Auflösung Motorencoder | 2048 Impulse/U | 2048 Impulse/U | 2048 Impulse/U | |
| Sensorsignal Motorencoder | A/B-Quadratur, RS-422 | A/B-Quadratur, RS-422 | A/B-Quadratur, RS-422 | |
| Antriebseigenschaften | M-110.1VG1 | M-111.1VG1 | M-112.1VG1 | Toleranz |
| Antriebstyp | DC-Getriebemotor | DC-Getriebemotor | DC-Getriebemotor | |
| Nennspannung | 12 V | 12 V | 12 V | |
| Nennstrom, effektiv | 0,16 A | 0,32 A | 0,32 A | typ. |
| Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X | 10 N | 10 N | 10 N | typ. |
| Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X | 10 N | 10 N | 10 N | typ. |
| Mechanische Eigenschaften | M-110.1VG1 | M-111.1VG1 | M-112.1VG1 | Toleranz |
| Führung | Kugelführung | Kugelführung | Kugelführung | |
| Spindeltyp | Feingewindespindel | Feingewindespindel | Feingewindespindel | |
| Spindelsteigung | 0,4 mm | 0,4 mm | 0,4 mm | |
| Getriebeuntersetzung i | 256 : 9 | 256 : 9 | 256 : 9 | |
| Haltekraft in X, passiv | 10 N | 10 N | 10 N | |
| Bewegte Masse in X, unbelastet | 11 g | 11 g | 11 g | |
| Zulässige Druckkraft in Y | 15 N | 10 N | 10 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 30 N | 30 N | 20 N | max. |
| Zulässiges Moment in θX | 0,15 N·m | 0,15 N·m | 0,15 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θY | 0,15 N·m | 0,15 N·m | 0,15 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θZ | 0,15 N·m | 0,15 N·m | 0,15 N·m | max. |
| Gesamtmasse | 250 g | 270 g | 300 g | |
| Material | Aluminium eloxiert | Aluminium eloxiert | Aluminium eloxiert | |
| Anschlüsse und Umgebung | M-110.1VG1 | M-111.1VG1 | M-112.1VG1 | Toleranz |
| Anschluss | HD D-Sub 26-polig (m) | HD D-Sub 26-polig (m) | HD D-Sub 26-polig (m) | |
| Vakuumklasse | 10⁻⁶ hPa | 10⁻⁶ hPa | 10⁻⁶ hPa | |
| Empfohlene Controller / Treiber | C-863 C-884 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-863 C-884 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | C-863 C-884 G-901 G-910 Modularer ACS-Controller | |
| Kabellänge | 0,5 m | 0,5 m | 0,5 m | |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 65 °C | -20 bis 65 °C | -20 bis 65 °C |
Hinweis zu kleinster Schrittweite: Werte werden mit empfohlenem Controller erreicht
Hinweis zu Nennstrom: Werte gelten pro Phase
M-110.xxx1 / M-111.xxx1 / M-112.xxx1 Mikrostelltisch
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Vakuumgeeigneter kompakter Lineartisch; DC-Getriebemotor; 5 mm Stellweg; 30 N Belastbarkeit; 1 mm/s maximale Geschwindigkeit; Feingewindespindel; Inkrementeller Rotationsencoder, 2048 Impulse/U Auflösung, A/B-Quadratur, RS-422; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa; 0,5 m Kabellänge
Vakuumgeeigneter kompakter Lineartisch; DC-Getriebemotor; 15 mm Stellweg; 30 N Belastbarkeit; 1,5 mm/s maximale Geschwindigkeit; Feingewindespindel; Inkrementeller Rotationsencoder, 2048 Impulse/U Auflösung, A/B-Quadratur, RS-422; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa; 0,5 m Kabellänge
Vakuumgeeigneter kompakter Lineartisch; DC-Getriebemotor; 25 mm Stellweg; 20 N Belastbarkeit; 1,5 mm/s maximale Geschwindigkeit; Feingewindespindel; Inkrementeller Rotationsencoder, 2048 Impulse/U Auflösung, A/B-Quadratur, RS-422; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa; 0,5 m Kabellänge
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Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
Die drehenden Elektromotoren, wie zum Beispiel DC- oder Schrittmotoren, werden in Verbindung mit Spindel- oder Schneckenantrieb eingesetzt.
