P-562.6CD PIMars 6-Achsen-Nanopositioniertisch

Hochpräziser Nanopositionierer mit 6 Freiheitsgraden

  • 6 Bewegungsachsen: 3 × linear, 3 × rotatorisch
  • Stellwege bis 200 µm linear und bis 1 mrad Kippwinkel
  • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
  • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Exzellente Scan-Ebenheit
  • Freie Apertur 66 mm × 66 mm
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
P-562.6CD PIMars 6-Achsen-Nanopositioniertisch
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Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Superresolution-Mikroskopie
  • Biotechnologie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Probenpositionierung
  • Interferometrie
  • Messtechnik

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt P-562.6CD

Version / Datum
2024-08-14
pdf - 412 KB
Version / Datum
2024-08-14
pdf - 415 KB
Version / Datum
2018-06-07
pdf - 742 KB
Version / Datum
2018-07-19
pdf - 821 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt P-562.6CD

Version / Datum
2024-08-14
pdf - 412 KB
Version / Datum
2024-08-14
pdf - 415 KB
Version / Datum
2018-06-07
pdf - 742 KB
Version / Datum
2018-07-19
pdf - 821 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ297

P-562.6CD Nanopositionierer

Version / Datum
V1.2.0 2024-08-13
pdf - 1 MB
Version / Datum
V1.2.0 2024-08-13
pdf - 1 MB
Dokumentation

Technical Note P500T0002

Unpacking and Packing P-5xx Positioners

Version / Datum
2019-03-04
pdf - 448 KB
Englisch
Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum
6.2.0 03/2024
pdf - 561 KB
Version / Datum
6.2.0 03/2024
pdf - 595 KB

3-D-Modelle

3-D-Modelle

P-562.6CD 3D-Modell

zip - 809 KB

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P-562.6CD

PIMars 6-Achsen-Nanopositioniertisch; 200 µm × 200 µm × 200 µm Stellweg (X × Y × Z); 1 mrad × 1 mrad × 1 mrad Rotationswinkel (θX × θY × θZ); kapazitiv, indirekte Positionsmessung; 2 × D-Sub 25W3 (m)-Stecker; 1,5 m Kabellänge

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