Koordination der Bewegung
Der E-713 Motion Controller unterstützt Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren und koordiniert die Bewegung von bis zu 6 logischen Achsen der Mechanik. Die Bewegung der Achsen basiert je nach Controllerkonfiguration auf bis zu 8 Piezokanälen und 6 Sensorkanälen. Der Anwender kann Bewegungen komfortabel für die Achsen kommandieren, denn der Controller übernimmt die Umrechnung zwischen achsbezogenen und kanalbezogenen Werten.
Einbindung analoger Signale
Je nach Konfiguration stehen jeweils 4 hochauflösende analoge Eingänge und Ausgänge mit hoher Bandbreite zur Verfügung. Jeder der analogen Eingänge und Ausgänge kann vom Anwender für verschiedene Einsatzzwecke konfiguriert werden, so zum Beispiel als Steuereingang oder Monitorausgang. Digitale Linearisierung der Eingänge über Polynome vierter Ordnung und Filterung für reduziertes Signalrauschen ermöglichen Anwendungen, die extrem hohe Genauigkeit erfordern.
Analyse und Automatisierung
Über den flexibel konfigurierbaren Datenrekorder können Betriebsgrößen wie z. B. Motoransteuerung, Geschwindigkeit, Position oder Positionsfehler aufgezeichnet werden. Die Ausführung von Makros auf dem Controller ermöglicht den Stand-Alone-Betrieb.
Schnelle periodische Bewegungen
Der integrierte Funktionsgenerator kann periodische Bewegungsprofile abspeichern und ausgeben. Während schneller periodischer Bewegungen, wie sie z. B. für Scananwendungen typisch sind, lässt sich die Bahntreue durch die optionale Dynamische Digitale Linearisierung (DDL) um bis zu drei Größenordnungen erhöhen.
Umfangreiche Softwareunterstützung
Die Anwendersoftware von PI ermöglicht die schnelle Inbetriebnahme ohne Programmierkenntnisse und die grafische Darstellung von Signalen und Abläufen. Darüber hinaus steht ein umfangreicher Satz von Treibern zur Verfügung, z. B. zur Verwendung mit C, C++, C#, Python, NI LabVIEW oder MATLAB.
Lieferumfang
Die Lieferung umfasst den Controller und ein Softwarepaket. Es wird empfohlen, das Piezo-Nanopositioniersystem zusammen mit dem Controller zu bestellen, damit die Komponenten aufeinander abgestimmt werden können.
Einsatzgebiete
Industrie und Forschung. Halbleiterfertigung und -inspektion.
| Grundlegendes | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen, Analog-I/O | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen, Analog-I/O | |
|---|---|---|---|---|---|
| Gehäuseform | Rack-Einschub 19" 4HE | Rack-Einschub 19" 4HE | Rack-Einschub 19" 4HE | Rack-Einschub 19" 4HE | |
| Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Achsen | 3 | 3 | 6 | 6 | |
| Ausgangskanäle | 4 | 4 | 8 | 8 | |
| Eingangskanäle | 3 | 3 | 6 | 6 | |
| Prozessor | PC-basierend | PC-basierend | PC-basierend | PC-basierend | |
| Anwendungsbezogene Funktionen | Makro ǀ Startup-Makro ǀ Datenrekorder | Makro ǀ Startup-Makro ǀ Datenrekorder ǀ Fast Alignment | Makro ǀ Startup-Makro ǀ Datenrekorder | Makro ǀ Startup-Makro ǀ Datenrekorder ǀ Fast Alignment | |
| Antriebsfunktionen | AutoZero | AutoZero | AutoZero | AutoZero | |
| Schutzfunktionen | Abschaltung des Spannungsausgangs bei interner Überhitzung ǀ Ausschalten des Servomodus im Fehlerfall ǀ Automatischer Motorstopp | Abschaltung des Spannungsausgangs bei interner Überhitzung ǀ Ausschalten des Servomodus im Fehlerfall ǀ Automatischer Motorstopp | Abschaltung des Spannungsausgangs bei interner Überhitzung ǀ Ausschalten des Servomodus im Fehlerfall ǀ Automatischer Motorstopp | Abschaltung des Spannungsausgangs bei interner Überhitzung ǀ Ausschalten des Servomodus im Fehlerfall ǀ Automatischer Motorstopp | |
| Konfigurations-Management | Import von Parameterdateien ǀ Auslesen des ID-Chips ǀ manuelle Parametereingabe | Import von Parameterdateien ǀ Auslesen des ID-Chips ǀ manuelle Parametereingabe | Import von Parameterdateien ǀ Auslesen des ID-Chips ǀ manuelle Parametereingabe | Import von Parameterdateien ǀ Auslesen des ID-Chips ǀ manuelle Parametereingabe | |
| Unterstützter ID-Chip | ID-Chip 2.0 | ID-Chip 2.0 | ID-Chip 2.0 | ID-Chip 2.0 | |
| Bewegung und Regler | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen, Analog-I/O | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen, Analog-I/O | |
| Unterstütztes Sensorsignal | analog (kap) | analog (kap) | analog (kap) | analog (kap) | |
| Geregelte Größen | Position | Position | Position | Position | |
| Maximale Regelfrequenz (Servozyklus) | 50000 Hz | 50000 Hz | 20000 Hz | 20000 Hz | |
| Bewegungstypen | Punkt-zu-Punkt-Bewegung ǀ Punkt-zu-Punkt-Bewegung mit Profilgenerator ǀ Funktionsgenerator | Punkt-zu-Punkt-Bewegung ǀ Punkt-zu-Punkt-Bewegung mit Profilgenerator ǀ Area Scan Routinen ǀ Gradient Search Routinen ǀ Funktionsgenerator | Punkt-zu-Punkt-Bewegung ǀ Punkt-zu-Punkt-Bewegung mit Profilgenerator ǀ Funktionsgenerator | Punkt-zu-Punkt-Bewegung ǀ Punkt-zu-Punkt-Bewegung mit Profilgenerator ǀ Area Scan Routinen ǀ Gradient Search Routinen ǀ Funktionsgenerator | |
| Koordinierung der Bewegung | Koordinierte Mehrachsbewegung | Koordinierte Mehrachsbewegung | Koordinierte Mehrachsbewegung | Koordinierte Mehrachsbewegung | |
| Schnittstellen und Bedienung | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen, Analog-I/O | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen, Analog-I/O | |
| Kommunikationsschnittstellen | TCP/IP ǀ USB | TCP/IP ǀ USB | TCP/IP ǀ USB | TCP/IP ǀ USB | |
| An/Aus-Schalter | Hardware-Schalter An/Aus | Hardware-Schalter An/Aus | Hardware-Schalter An/Aus | Hardware-Schalter An/Aus | |
| Display und Anzeigen | Error-LED ǀ Power-LED ǀ On-Target-LED ǀ Overtemp-LED | Error-LED ǀ Power-LED ǀ On-Target-LED ǀ Overtemp-LED | Error-LED ǀ Power-LED ǀ On-Target-LED ǀ Overtemp-LED | Error-LED ǀ Power-LED ǀ On-Target-LED ǀ Overtemp-LED | |
| Befehlssatz | GCS 2.0 | GCS 2.0 | GCS 2.0 | GCS 2.0 | |
| Anwendersoftware | PIMikroMove® | PIMikroMove® | PIMikroMove® | PIMikroMove® | |
| Schnittstellen zur Anwendungsprogrammierung | C, C++, C# ǀ MATLAB ǀ NI LabView ǀ Python | C, C++, C# ǀ MATLAB ǀ NI LabView ǀ Python | C, C++, C# ǀ MATLAB ǀ NI LabView ǀ Python | C, C++, C# ǀ MATLAB ǀ NI LabView ǀ Python | |
| Linearisierung | DDL-Option (Dynamic Digital Linearization) ǀ Polynome 4. Ordnung | DDL-Option (Dynamic Digital Linearization) ǀ Polynome 4. Ordnung | DDL-Option (Dynamic Digital Linearization) ǀ Polynome 4. Ordnung | DDL-Option (Dynamic Digital Linearization) ǀ Polynome 4. Ordnung | |
| Analoge Eingänge | — | 4 | — | 4 | |
| Analoges Eingangssignal | — | ±10,675 V differenziell, Eingangsimpedanz 150 kΩ, Bandbreite maximal 25 kHz | — | ±10,675 V differenziell, Eingangsimpedanz 150 kΩ, Bandbreite maximal 25 kHz | |
| Digitale Auflösung des analogen Eingangs | — | 18 Bit | — | 18 Bit | |
| Analoge Ausgänge | — | 4 | — | 4 | |
| Analoges Ausgangssignal | — | ±12,775 V, Ausgangsstrom maximal 60 mA pro Ausgang, Bandbreite maximal 12 kHz | — | ±12,775 V, Ausgangsstrom maximal 60 mA pro Ausgang, Bandbreite maximal 12 kHz | |
| Digitale Auflösung des analogen Ausgangs | — | 16 Bit | — | 16 Bit | |
| Verstärker | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen, Analog-I/O | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen, Analog-I/O | |
| Auflösung DAC/Spannungsauflösung | 20 Bit | 20 Bit | 20 Bit | 20 Bit | |
| Sensor | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen, Analog-I/O | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen, Analog-I/O | |
| Digitale Auflösung des Sensoreingangs | 18 Bit | 18 Bit | 18 Bit | 18 Bit | |
| Sensorbandbreite | 10 kHz | 10 kHz | 10 kHz | 10 kHz | |
| Elektrische Eigenschaften | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen, Analog-I/O | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen, Analog-I/O | |
| Ausgangsspannung | -30 bis +135 V | -30 bis +135 V | -30 bis +135 V | -30 bis +135 V | |
| Kurzschlussfest | Ja | Ja | Ja | Ja | |
| Dauerausgangsleistung pro Kanal | 8 W | 8 W | 8 W | 8 W | |
| Spitzenausgangsleistung pro Kanal | 25 W | 25 W | 25 W | 25 W | |
| Spitzenausgangsleistung pro Kanal, Zeitbegrenzung | 5 ms | 5 ms | 5 ms | 5 ms | |
| Dauerausgangsstrom pro Kanal | 150 mA | 150 mA | 150 mA | 150 mA | |
| Spitzenausgangsstrom pro Kanal | 250 mA | 250 mA | 250 mA | 250 mA | |
| Spitzenausgangsstrom pro Kanal, Zeitbegrenzung | 5 ms | 5 ms | 5 ms | 5 ms | |
| Anschlüsse und Umgebung | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 3 Achsen, Analog-I/O | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen | E-713 PICMA® Controller, 6 Achsen, Analog-I/O | |
| Motor-/Aktoranschluss | D-Sub 25W3 | D-Sub 25W3 | D-Sub 25W3 | D-Sub 25W3 | |
| Sensoranschluss | D-Sub 25W3 | D-Sub 25W3 | D-Sub 25W3 | D-Sub 25W3 | |
| Anschluss analoger Eingang | — | LEMO EPG.00.302.NLN | — | LEMO EPG.00.302.NLN | |
| Anschluss analoger Ausgang | — | LEMO EPG.00.302.NLN | — | LEMO EPG.00.302.NLN | |
| Anschluss TCP/IP | RJ45 Buchse, 8P8C | RJ45 Buchse, 8P8C | RJ45 Buchse, 8P8C | RJ45 Buchse, 8P8C | |
| Anschluss USB | USB-Buchse Typ B | USB-Buchse Typ B | USB-Buchse Typ B | USB-Buchse Typ B | |
| Anschluss Versorgungsspannung | IEC 60320 Typ C14 | IEC 60320 Typ C14 | IEC 60320 Typ C14 | IEC 60320 Typ C14 | |
| Netzanschluss | 100 bis 240 V AC ǀ 50 bis 60 Hz | 100 bis 240 V AC ǀ 50 bis 60 Hz | 100 bis 240 V AC ǀ 50 bis 60 Hz | 100 bis 240 V AC ǀ 50 bis 60 Hz | |
| Sicherung Netzanschluss | 1 x T6,3AH, 250 V | 1 x T6,3AH, 250 V | 1 x T6,3AH, 250 V | 1 x T6,3AH, 250 V | |
| Maximale Leistungsaufnahme | 330 W | 330 W | 330 W | 330 W | |
| Betriebstemperaturbereich | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | |
| Gesamtmasse | 7892 g | 8054 g | 8584 g | 8746 g |
Die angegebenen Ausgangskanäle sind Verstärkerkanäle.
Die angegebenen Eingangskanäle sind Sensorkanäle.
Die maximale Ausgangsleistung wird begrenzt durch das Netzteil des Gehäuses und die Anzahl der vorhandenen Kanäle.
E-713 modulares Motion Controller-System
GCS-Befehle für E-713 modulares Motion Controller-System
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Motion Controller für Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren; 3 Achsen; TCP/IP- und USB-Schnittstelle zur Kommunikation.
Diese Konfiguration besteht aus folgenden Modulen:
─ 1 × E-713.R2: Gehäuse
─ 1 × E-713.M1: Hauptmodul
─ 1 × E-713.S03CM: Modul zur Sensorauswertung
─ 1 × E-713.D40P0L: Verstärkermodul
Motion Controller für Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren; 3 Achsen; jeweils 4 analoge Eingänge und Ausgänge; TCP/IP- und USB-Schnittstelle zur Kommunikation.
Diese Konfiguration besteht aus folgenden Modulen:
─ 1 × E-713.R2: Gehäuse
─ 1 × E-713.M1: Hauptmodul
─ 1 × E-713.S03CM: Modul zur Sensorauswertung
─ 1 × E-713.D40P0L: Verstärkermodul
─ 1 × E-713.I44A0: Analoges Schnittstellenmodul
Motion Controller für Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren; 6 Achsen; TCP/IP- und USB-Schnittstelle zur Kommunikation.
Diese Konfiguration besteht aus folgenden Modulen:
─ 1 × E-713.R2: Gehäuse
─ 1 × E-713.M1: Hauptmodul
─ 2 × E-713.S03CM: Modul zur Sensorauswertung
─ 2 × E-713.D40P0L: Verstärkermodul
Motion Controller für Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren; 6 Achsen; jeweils 4 analoge Eingänge und Ausgänge; TCP/IP- und USB-Schnittstelle zur Kommunikation.
Diese Konfiguration besteht aus folgenden Modulen:
─ 1 × E-713.R2: Gehäuse
─ 1 × E-713.M1: Hauptmodul
─ 2 × E-713.S03CM: Modul zur Sensorauswertung
─ 2 × E-713.D40P0L: Verstärkermodul
─ 1 × E-713.I44A0: Analoges Schnittstellenmodul
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