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E-713.xCDx Motion Controller für Piezoaktoren

Bis zu 6 Achsen, für Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren

  • Für PICMA® Piezoaktoren
  • Bis zu 6 Achsen
  • Hochstabile 20-Bit-D/A-Wandler
  • Regelfrequenz max. 50 kHz
  • Optional: hochauflösende analoge Eingänge und Ausgänge
  • Umfangreiches Softwarepaket
E-713.xCDx Motion Controller für Piezoaktoren
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung

Koordination der Bewegung

Der E-713 Motion Controller unterstützt Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren und koordiniert die Bewegung von bis zu 6 logischen Achsen der Mechanik. Die Bewegung der Achsen basiert je nach Controllermodell auf bis zu 8 Piezokanälen und 6 Sensorkanälen. Der Anwender kann Bewegungen komfortabel für die Achsen kommandieren, denn der Controller übernimmt die Umrechnung zwischen achsbezogenen und kanalbezogenen Werten.

Einbindung analoger Signale

Modellabhängig stehen jeweils 4 hochauflösende analoge Eingänge und Ausgänge mit hoher Bandbreite zur Verfügung. Jeder der analogen Eingänge und Ausgänge kann vom Anwender für verschiedene Einsatzzwecke konfiguriert werden, so zum Beispiel als Steuereingang oder Monitorausgang. Digitale Linearisierung der Eingänge über Polynome vierter Ordnung und Filterung für reduziertes Signalrauschen ermöglichen Anwendungen, die extrem hohe Genauigkeit erfordern.

Analyse und Automatisierung

Über den flexibel konfigurierbaren Datenrekorder können Betriebsgrößen wie z. B. Motoransteuerung, Geschwindigkeit, Position oder Positionsfehler aufgezeichnet werden. Die Ausführung von Makros auf dem Controller ermöglicht den Stand-Alone-Betrieb.

Schnelle periodische Bewegungen

Der integrierte Funktionsgenerator kann periodische Bewegungsprofile abspeichern und ausgeben. Während schneller periodischer Bewegungen, wie sie z. B. für Scananwendungen typisch sind, lässt sich die Bahntreue durch die optionale Dynamische Digitale Linearisierung (DDL) um bis zu drei Größenordnungen erhöhen.

Umfangreiche Softwareunterstützung

Die Anwendersoftware PIMikroMove® ermöglicht die schnelle Inbetriebnahme ohne Programmierkenntnisse und die grafische Darstellung von Signalen und Abläufen. Darüber hinaus steht ein umfangreicher Satz von Treibern zur Verfügung, z. B. zur Verwendung mit C, C++, C#, NI LabVIEW oder MATLAB.

Lieferumfang

Die Lieferung umfasst den Controller und ein Softwarepaket. Es wird empfohlen, die Parallelkinematik zusammen mit dem Controller zu bestellen, damit die Komponenten aufeinander abgestimmt werden können.

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Halbleiterfertigung und -inspektion.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt E-713.xCDx

Version / Datum
2025-10-07
pdf - 523 KB
Version / Datum
2025-10-07
pdf - 526 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt E-713.xCDx

Version / Datum
2025-10-07
pdf - 523 KB
Version / Datum
2025-10-07
pdf - 526 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ311

E-713 modulares Motion Controller-System

Version / Datum
1.0.0
pdf - 9 MB
Version / Datum
1.0.0
pdf - 9 MB
Dokumentation

Befehlshandbuch PZ312

GCS-Befehle für E-713 modulares Motion Controller-System

Version / Datum
1.0.0
pdf - 1 MB
Version / Datum
1.0.0
pdf - 1 MB

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