A-688.A100 NEW!
PIglide RLA Rotationstisch, Luftlager, 365 mm Durchmesser Bewegungsplattform, 260 mm Durchmesser Apertur, niedrige Bauhöhe, inkrementelles Winkelmesssystem mit sin/cos-Signalübertragung, bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
NEW
A-68x PIglide RLA Rotationstisch mit Luftlager, große Apertur
Reibungsfrei, motorisiert
- Durchmesser Bewegungsplattform 365 mm, Durchmesser Apertur 260 mm
- Niedrige Bauhöhe
- Exzentrizität und Ebenheit < 300 nm
A-688.A100
A-688, Abmessungen in mm
A-68x PIglide RLA Rotationstisch mit Luftlager, große Apertur
Produktbeschreibung
Spezifikationen
Downloads
Angebot / Bestellung
Produktübersicht
Die direktangetriebenen Rotationstische der PIglide RLA-Serie sind für höchste Präzision ausgelegt. Sie haben eine flache Bauform und eine große freie Apertur. Die RLA-Tische bieten eine überragende Leistung bei Ablaufgenauigkeit, Ebenheit und Taumeln.
3-Phasen-Torquemotor
- Bürstenlos
- Geringes Rastmoment
Absolutencoder (optional)
Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden.
Zubehör und Optionen
- Inkrementeller oder absoluter Encoder
- PIglide Filter und Druckregler
- Ein- oder mehrachsige Motion Controller und Servoantriebe
- Mehrachs-/ kundenspezifische Aufbauten
- Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung
Einsatzgebiete
Tomografie, Beamline-Systeme, Wafermetrologie, Waferinspektion, Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen.
Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.
Spezifikationen
Spezifikationen
Antriebseigenschaften | A-688 | Einheit | Toleranz |
|---|---|---|---|
Antriebstyp | Torquemotor, 3-phasig, bürstenlos | ||
Zwischenkreisspannung | 48, nom. 80, max. | V DC | |
Spitzenstrom | 6,9 | A | max. |
Nennstrom | 3,2 | A | max. |
Spitzenmoment | 85 | Nm | max. |
Nennmoment | 39 | Nm | max. |
Drehmomentkonstante | 12,3 | Nm/A | typ. |
Widerstand Phase-Phase | 3,6 | Ω | typ. |
Induktivität Phase-Phase | 1,24 | mH | typ. |
Gegen-EMK Phase-Phase | 10,1 | V/kRPM | typ. |
Positionieren | A-688.A100 | A-688.B100 |
|---|---|---|
Integrierter Sensor | Inkrementelles Winkelmesssystem | Absolutes Winkelmesssystem |
Sensorsignal | Sin/cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C |
Striche/Umdrehung | 55040 | – |
Geschwindigkeit (3) | 500 RPM max. | 500 RPM max. |
Sensorauflösung | 0,03 µrad (4) | 0,0015 µrad |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit | ± 4 µrad | ± 4 µrad |
Genauigkeit, mit Führungsfehlerkompensation (5) | ± 8 µrad | ± 8 µrad |
Referenzschalter | 1 / Umdrehung, Differenzialpuls über eine Sensorsignalperiode, 1 V Spitze-Spitze | – |
Anschlüsse und Umgebung | A-688 |
|---|---|
Betriebsdruck (6) | 75 bis 85 psi (515 bis 585 kPa) |
Luftdurchsatz | < 2 SCFM (56 SLPM) |
Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573‑1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573‑1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573‑1 Klasse 3 |
Materialien | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl |
(1) Abhängig von der Qualität des Untergrundes, der Nutzlast, der Orientierung und Kräften, die von außen auf den Tisch wirken. Bitte kontaktieren Sie PI für applikationsspezifische Parameter. Angegebene Werte sind statisch (keine Rotationsbewegung während der Messung) und ohne Last.
(2)Die aufgeführten Werte setzen eine Luftversorgung mit 550 kPa (80 psi) voraus. Für andere Drücke wenden Sie sich bitte an PI.
(3)Kann durch die Nutzlast, die Nutzlastunwucht, den Controller oder Antrieb eingeschränkt werden.
(4) Geht von einer 4096-fachen Interpolation aus. Kontaktieren Sie PI für den Einsatz anderer Faktoren.
(5) Angegebene Werte basieren auf Controller-gesteuerter Fehlerkompensation. Der Tisch muss mit einem Controller der Serie A-8xx von PI geordert werden, um diese Werte zu erreichen. Genauigkeitswerte gehen von kurzfristiger Dauer aus und berücksichtigen die Langzeitfolgen des thermischen Drifts auf den Tisch nicht.
(6) Zum Schutz des Tischs gegen Schäden wird empfohlen, einen Luftdrucksensor an den Motion-Stop-Eingang des Controllers anzuschließen.
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch A688D0001
A-688 Series Large Clear Aperture Rotary Air Bearing Stage
Version / Datum
1.0 / 2020-04-01
pdf - 983 KB
Englisch
3-D-Modelle
3-D-Modelle
3D-Modell A-68x
Version / Datum
2020-04-01
zip - 2 MB
Angebot / Bestellung
Fordern Sie ein unverbindliches Angebot über gewünschte Stückzahlen, Preise und Lieferzeiten an oder beschreiben Sie Ihre gewünschte Modifikation.
A-688.B100 NEW!
PIglide RLA Rotationstisch, Luftlager, 365 mm Durchmesser Bewegungsplattform, 260 mm Durchmesser Apertur, niedrige Bauhöhe, absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
