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A-68x PIglide RLA Rotation Stage with Air Bearings, Large Aperture

Reibungsfrei, motorisiert

A-68x PIglide RLA Rotation Stage with Air Bearings, Large Aperture
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Durchmesser Bewegungsplattform 365 mm, Durchmesser Apertur 260 mm
  • Niedrige Bauhöhe
  • Exzentrizität und Ebenheit < 300 nm

Produktübersicht

Die direktangetriebenen Rotationstische der PIglide RLA-Serie sind für höchste Präzision ausgelegt. Sie haben eine flache Bauform und eine große freie Apertur. Die RLA-Tische bieten eine überragende Leistung bei Ablaufgenauigkeit, Ebenheit und Taumeln.

3-Phasen-Torquemotor

  • Bürstenlos
  • Geringes Rastmoment

Absolutencoder (optional)

Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden.

Zubehör und Optionen

  • Inkrementeller oder absoluter Encoder
  • PIglide Filter und Druckregler
  • Ein- oder mehrachsige Motion Controller und Servoantriebe
  • Mehrachs-/ kundenspezifische Aufbauten
  • Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung

Einsatzgebiete

Tomografie, Beamline-Systeme, Wafermetrologie, Waferinspektion, Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen.

Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt A-68x

Version / Datum
2020-04-08
Version / Datum
2020-04-08
Dokumentsprache
pdf - 356 KB
pdf - 360 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt A-68x

Version / Datum
2020-04-08
Version / Datum
2020-04-08
Dokumentsprache
pdf - 356 KB
pdf - 360 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch A688D0001

A-688 Series Large Clear Aperture Rotary Air Bearing Stage
Version / Datum
1.0 / 2020-04-01
Dokumentsprache Englisch
Anfrage Downloadlink

3-D-Modelle

3-D-Modelle

3D-Modell A-68x

Version / Datum
2020-04-01
Anfrage Downloadlink

Angebot / Bestellung

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A-688.A100 NEW!
PIglide RLA Rotationstisch, Luftlager, 365 mm Durchmesser Bewegungsplattform, 260 mm Durchmesser Apertur, niedrige Bauhöhe, inkrementelles Winkelmesssystem mit sin/cos-Signalübertragung, bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
A-688.B100 NEW!
PIglide RLA Rotationstisch, Luftlager, 365 mm Durchmesser Bewegungsplattform, 260 mm Durchmesser Apertur, niedrige Bauhöhe, absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor