Ultrapräziser Kreuztisch mit Direktantrieb; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 110 mm × 110 mm Stellweg (X × Y); 100 N Belastbarkeit; 500 mm/s × 500 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
V-781 Ultrapräziser Kreuztisch mit Direktantrieb
Ideal zum Scannen, Messen und für bildgebende Verfahren
- Stellwege von 110 mm, 210 mm und 310 mm
- Direktantrieb für hohe dynamische Leistungsfähigkeit
- Kreuzrollenlager für optimale Geradheit und Ebenheit
- Inkrementeller oder absoluter Encoder für höchste Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit und Sicherheit (mit absolutem Encoder)
Produktübersicht
Die monolithischen XY-Lineartische der V-781 Familie sind auf Genauigkeit, Präzision, geringen Wartungsaufwand und einfache Bedienung ausgelegt. Sie bieten eine kompaktere Bauform und, durch ihre breitere Basis, bessere Geradheit, weniger Gieren und eine höhere Steifigkeit als gestapelte Systemen aus zwei einzelnen Lineartischen.
V-781 Nanopositioniertische bieten hervorragende Positioniergenauigkeit und Wiederholgenauigkeit. Die Modelle mit absolutem Encoder bieten nicht nur eine Auflösung von 1 nm, sondern auch einen sicheren und effizienten Start, der keine Initialisierung oder Referenzierungsfahrt erfordert.
Durch ihren leistungsstarken, rastmomentfreien Direktantriebsmotor und die Kreuzrollenlager ist die V-781 Kreuztischfamilie für den Einsatz in Produktionsumgebungen bestens geeignet. Die hochpräzisen Kreuzrollenlager sind für einen wartungsarmen Betrieb über die gesamte Tischlebensdauer konzipiert.
3-Phasen-Motoren für höhere Dynamik sowie reibungs- und wartungsfreien Betrieb
Die 3-phasigen Linearmotoren, die die Tische der V-781 Familie antreiben, übertragen ihre Kraft direkt und reibungsfrei auf die Bewegungsplattform. Dadurch werden Umkehrspiel und Spiel vermieden, die durch mechanische Komponenten wie Zahnräder und Schrauben im Antriebsstrang verursacht werden können. Diese Motoren, die ideal für Anwendungen mit hohen Geschwindigkeiten und hohen Beschleunigungen geeignet sind, zeichnen sich durch ein reibungs- und wartungsfreies Design aus, das eine lange Lebensdauer im anspruchsvollen Dauerbetrieb gewährleistet. Die Controllereinstellungen zur Strombegrenzung ermöglichen eine einfache Deaktivierung des Motors, um mögliche Schäden am Tisch oder an der Anwendung abzuwenden.
Kreuzrollenlager für höhere Belastbarkeit und Genauigkeit sowie eine längere Lebensdauer
Kreuzrollenlager bieten ein hohes Maß an Leichtgängigkeit, Geradheit und Ebenheit, das der Leistung von Luftlagern nahe kommt. Indem der Punktkontakt der Kugellager durch einen Linienkontakt ersetzt wurde, sind die Rollen wesentlich steifer und benötigen weniger Vorspannung. Diese Verringerung der Reibung führt zu einem ruhigeren Lauf und einer höheren Genauigkeit. Kreuzrollenlager können auch höhere senkrechte Lasten und Momentbelastungen aufnehmen. Der Anti-Kriech-Mechanismus verhindert ein Abdriften der Rollen und sorgt dadurch für eine erhöhte Zuverlässigkeit. Die Anwendung von Reinraumfett sorgt für einen wartungsarmen Betrieb.
Modelle mit inkrementellem und absolutem Encoder verfügbar
V-781 Tische sind mit Linearencodern ausgestattet, die Positionen mit höchster Genauigkeit direkt auf der Bewegungsplattform messen. Dies verbessert die Linearität und gewährleistet Unempfindlichkeit gegenüber mechanischem Spiel und elastischer Verformung, wie sie bei indirekten Messverfahren auftreten können. Inkrementelle Encoder, die Sinus/Cosinus-Signale von 1 Vpp ausgeben, benötigen für den Start ein Referenzsignal. Im Gegensatz dazu bieten absolut messende Linearencoder eine eindeutige Positionsinformation, die eine sofortige Bestimmung der Position ermöglicht. Dadurch entfällt die Notwendigkeit einer Referenzierung beim Einschalten, wodurch sowohl die Effizienz als auch die Sicherheit im Betrieb erhöht werden.
Auswahl des passenden Präzisionslineartischs und Controllers
Die Auswahl des richtigen Lineartischs ist entscheidend für eine optimale Leistung bei hochpräzisen Bewegungsanwendungen wie Halbleiterinspektion und Ausrichtung in der Photonik. Faktoren wie Auflösung, Führungsgenauigkeit und Wiederholgenauigkeit müssen in Betracht gezogen werden. Die Lineartischfamilie V-781 bietet eine ausgesprochen hohe geometrische Genauigkeit (Ebenheit, Geradheit, Nicken und Gieren) sowie eine bidirektionale Wiederholgenauigkeit von ±70 Nanometern. Mit ihren hochdynamischen Eigenschaften, einschließlich einer Beschleunigung von 1g und einer Geschwindigkeit von 1 m/s, sind diese schnellen und präzisen motorisierten Tische ideal für die Automatisierung hochgenauer Positionieraufgaben, die für die Massenproduktion von Präzisionsgeräten erforderlich sind.
In Kombination mit den Controllern der A-8xx Serie von PI erreichen diese Tische eine unübertroffene Bewegungsleistung. Die EtherCAT-basierten Controller von PI bieten eine außerordentliche Flexibilität und erleichtern so die nahtlose Integration von EtherCAT-kompatiblen Geräten anderer Hersteller. Hochentwickelte Algorithmen in den Controllern der Serie A-8xx, wie PILOT, ermöglichen eine höhere Dynamik bei reduzierten Motorströmen und erhöhen dadurch praktisch die Kraftkonstante des Motors. Der V-781 ist die ideale Wahl, wenn es Ihnen um Präzision, Zuverlässigkeit und Effizienz in Ihren Bewegungsanwendungen geht.
Zubehör und Optionen
- Encodertyp: inkrementeller Encoder mit 1-Vpp-Sin/Cos Signalausgang oder absoluter Encoder mit BiSS-Ausgang
- Mehrachsige ACS Motion Controller und Servoantriebe, integriert oder verteilt
- Mit A-8xx, der Serie ACS-basierter Controller, kompatible Kabel
- Mehrachsige XYZ-Tischaufbauten
- Granitunterbau
Einsatzgebiete
Messtechnik. Oberflächenprofil und -charakterisierung. Halbleitertest und -inspektion. Probeninspektion. Präzise Mikromontage. Forschung. Biotechnologie. Halbleiterindustrie. Allgemeine Automatisierung. Gerätemontage. Lasermikrobearbeitung. Pick-and-Place.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | V-781.110A1 | V-781.210A1 | V-781.310A1 | V-781.110B1 | V-781.210B1 | V-781.310B1 | Toleranz |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Aktive Achsen | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | |
Stellweg in X | 110 mm | 210 mm | 310 mm | 110 mm | 210 mm | 310 mm | |
Stellweg in Y | 110 mm | 210 mm | 310 mm | 110 mm | 210 mm | 310 mm | |
Beschleunigung in X, unbelastet | 5 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | 5 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | max. |
Beschleunigung in Y, unbelastet | 5 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | 5 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | max. |
Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 500 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 500 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | |
Maximale Geschwindigkeit in Y, unbelastet | 500 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 500 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | |
Geradheitsabweichung E_XY (Geradheit) | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | max. |
Geradheitsabweichung E_YX (Geradheit) | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | max. |
Geradheitsabweichung E_ZX (Ebenheit) | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | max. |
Geradheitsabweichung E_ZY (Ebenheit) | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | max. |
Winkelabweichung E_AY (Nicken) | ± 25 µrad | ± 50 µrad | ± 75 µrad | ± 25 µrad | ± 50 µrad | ± 75 µrad | max. |
Winkelabweichung E_BX (Nicken) | ± 25 µrad | ± 50 µrad | ± 75 µrad | ± 25 µrad | ± 50 µrad | ± 75 µrad | max. |
Winkelabweichung E_CX (Gieren) | ± 25 µrad | ± 40 µrad | ± 50 µrad | ± 25 µrad | ± 40 µrad | ± 50 µrad | max. |
Winkelabweichung E_CY (Gieren) | ± 25 µrad | ± 40 µrad | ± 50 µrad | ± 25 µrad | ± 40 µrad | ± 50 µrad | max. |
Positionieren | V-781.110A1 | V-781.210A1 | V-781.310A1 | V-781.110B1 | V-781.210B1 | V-781.310B1 | Toleranz |
Positioniergenauigkeit in X, kalibriert | ± 0,17 µm | ± 0,17 µm | ± 0,17 µm | ± 0,17 µm | ± 0,17 µm | ± 0,17 µm | max. |
Positioniergenauigkeit in Y, kalibriert | ± 0,17 µm | ± 0,17 µm | ± 0,17 µm | ± 0,17 µm | ± 0,17 µm | ± 0,17 µm | max. |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | 0,07 µm | 0,07 µm | 0,07 µm | 0,07 µm | 0,07 µm | 0,07 µm | max. |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | 0,07 µm | 0,07 µm | 0,07 µm | 0,07 µm | 0,07 µm | 0,07 µm | max. |
Referenzschalter | Index in der Mitte des Stellwegs, 1 V Spitze-Spitze | Index in der Mitte des Stellwegs, 1 V Spitze-Spitze | Index in der Mitte des Stellwegs, 1 V Spitze-Spitze | — | — | — | |
Integrierter Sensor | Inkrementeller Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Absoluter Linearencoder | |
Sensorsignal | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C, 32 Bit | BiSS-C, 32 Bit | BiSS-C, 32 Bit | |
Sensorauflösung | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | |
Antriebseigenschaften | V-781.110A1 | V-781.210A1 | V-781.310A1 | V-781.110B1 | V-781.210B1 | V-781.310B1 | Toleranz |
Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | |
Nennspannung | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | |
Nennstrom, effektiv | 1,7 A | 5,1 A | 5,1 A | 1,7 A | 5,1 A | 5,1 A | typ. |
Spitzenstrom, effektiv | 6,2 A | 17,5 A | 17,5 A | 6,2 A | 17,5 A | 17,5 A | typ. |
Antriebskraft in X | 20 N | 140 N | 140 N | 20 N | 140 N | 140 N | typ. |
Antriebskraft in Y | 20 N | 140 N | 140 N | 20 N | 140 N | 140 N | typ. |
Spitzenkraft in X | 72 N | 480 N | 480 N | 72 N | 480 N | 480 N | |
Spitzenkraft in Y | 72 N | 480 N | 480 N | 72 N | 480 N | 480 N | |
Kraftkonstante | 11,4 N/A | 27,5 N/A | 27,5 N/A | 11,4 N/A | 27,5 N/A | 27,5 N/A | |
Widerstand Phase-Phase | 2,4 Ω | 1,28 Ω | 1,28 Ω | 2,4 Ω | 1,28 Ω | 1,28 Ω | typ. |
Induktivität Phase-Phase | 0,38 mH | 1,02 mH | 1,02 mH | 0,38 mH | 1,02 mH | 1,02 mH | |
Gegen-EMK Phase-Phase | 9,3 V·s/m | 22,5 V·s/m | 22,5 V·s/m | 9,3 V·s/m | 22,5 V·s/m | 22,5 V·s/m | max. |
Polteilung N-N | 16 mm | 42 mm | 42 mm | 16 mm | 42 mm | 42 mm | |
Mechanische Eigenschaften | V-781.110A1 | V-781.210A1 | V-781.310A1 | V-781.110B1 | V-781.210B1 | V-781.310B1 | Toleranz |
Zulässige Druckkraft in Z | 100 N | 500 N | 500 N | 100 N | 500 N | 500 N | max. |
Bewegte Masse in X, unbelastet | 6,5 kg | 25 kg | 46 kg | 6,5 kg | 25 kg | 46 kg | |
Bewegte Masse in Y, unbelastet | 3 kg | 11 kg | 20 kg | 3 kg | 11 kg | 20 kg | |
Lagertyp | Kreuzrollenlager | Kreuzrollenlager | Kreuzrollenlager | Kreuzrollenlager | Kreuzrollenlager | Kreuzrollenlager | |
Gesamtmasse | 7 kg | 38 kg | 62 kg | 7 kg | 38 kg | 62 kg | |
Material | Aluminium, harteloxiert | Aluminium, harteloxiert | Aluminium, harteloxiert | Aluminium, harteloxiert | Aluminium, harteloxiert | Aluminium, harteloxiert | |
Höhe | 80 mm | 100 mm | 100 mm | 80 mm | 100 mm | 100 mm | |
Anschlüsse und Umgebung | V-781.110A1 | V-781.210A1 | V-781.310A1 | V-781.110B1 | V-781.210B1 | V-781.310B1 | Toleranz |
Betriebstemperaturbereich | 5 bis 50 °C | 5 bis 50 °C | 5 bis 50 °C | 5 bis 50 °C | 5 bis 50 °C | 5 bis 50 °C | |
Anschluss | D-Sub 3W3 (m) | D-Sub 3W3 (m) | D-Sub 3W3 (m) | D-Sub 3W3 (m) | D-Sub 3W3 (m) | D-Sub 3W3 (m) | |
Sensoranschluss | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | |
Empfohlene Controller/Treiber | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x |
Hinweis zu Geradheits- und Winkelabweichung: Abhängig von der Qualität des Untergrunds, der Nutzlast, der Ausrichtung und von Kräften, die von außen auf den Tisch wirken. Kontaktieren Sie PI für anwendungsspezifische Parameter. Die angegebenen Werte sind statisch (keine Rotationsbewegung während der Messung) und ohne Last.
Hinweis zu Positioniergenauigkeit: Die angegebenen Werte basieren auf der mit PI-Controllern möglichen Fehlerkompensation. Der Positionierer muss mit einem Controller von PI geordert werden, um diese Werte zu erreichen. Genauigkeitswerte gehen von kurzfristiger Dauer aus und berücksichtigen die Langzeitfolgen des thermischen Drifts auf den Tisch nicht.
Hinweis zu Geschwindigkeit, Beschleunigung und zulässiger Druckkraft in Z: Kann durch ein Ungleichgewicht der Nutzlast oder den Controller und den Antrieb eingeschränkt werden.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
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Ultrapräziser Kreuztisch mit Direktantrieb; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 210 mm × 210 mm Stellweg (X × Y); 500 N Belastbarkeit; 1000 mm/s × 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
Ultrapräziser Kreuztisch mit Direktantrieb; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 310 mm × 310 mm Stellweg (X × Y); 500 N Belastbarkeit; 1000 mm/s × 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
Ultrapräziser Kreuztisch mit Direktantrieb; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 110 mm × 110 mm Stellweg (X × Y); 100 N Belastbarkeit; 500 mm/s × 500 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C, 32 Bit
Ultrapräziser Kreuztisch mit Direktantrieb; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 210 mm × 210 mm Stellweg (X × Y); 500 N Belastbarkeit; 1000 mm/s × 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C, 32 Bit
Ultrapräziser Kreuztisch mit Direktantrieb; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 310 mm × 310 mm Stellweg (X × Y); 500 N Belastbarkeit; 1000 mm/s × 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C, 32 Bit
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