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Hochgeschwindigkeits-XYZ-Nanopositionierer von PI: Höchste Präzision durch 99,97 Prozent Linearität für mehr Produktivität in Industrie und Forschung

Anwendungen und Prozesse in Forschung und Industrie erfordern ultrapräzise Positioniersysteme, die ohne lange Wartezeiten einsatzbereit sind. Mit den Hochgeschwindigkeits-XYZ-Nanopositioniersystemen der PIMars-Serie bietet Physik Instrumente (PI) präzise, dynamische und sofort verfügbare Lösungen für anspruchsvolle Anwendungen. Sie verbinden Subnanometerauflösung mit hoher Dynamik und eröffnen damit Möglichkeiten für zukunftsweisende Prozesse in Scanning, Alignment und Metrologie. Modernste Produktionsmethoden bei PI gewährleisten, dass zahlreiche Piezopositionierer auch sehr kurzfristig zur Verfügung gestellt werden können.

Mit ihrer einzigartigen Leistung bieten die PIMars Systeme einen klaren Mehrwert für präzisionskritische Anwendungen. Sie erreichen eine Linearität von 99,97 %, eine Wiederholgenauigkeit von 2 nm und kombinieren Verfahrwege bis 300 µm mit Einschwingzeiten unter 10 ms. Exzellente Planarität (±30 nm Geradheit und Ebenheit bei Z-Bewegung) sorgt für höchste Genauigkeit auch in komplexen Setups.

Effizienz und Prozesssicherheit

Für industrielle Anwendungen oder anspruchsvolle Forschungsumgebungen sind neben einer hohen Langzeitstabilität auch die Prozesssicherheit mit minimalen Ausfallzeiten und reduzierten Wartungskosten wichtig. Die PIMars-Systeme ermöglichen durch ihre piezoelektrischen Antriebe mit paralleler Positionsmessung auch bei hohen Geschwindigkeiten nanometergenaue Bewegungen. Diese Verbindung von Geschwindigkeit und Präzision führt auch bei kritischen Anwendungen zu einer Erhöhung der Produktivität. Die Bewegungstechnik bleibt dauerhaft verschleißfrei, hochsteif und langzeitstabil, unabhängig von Vibrationen, Stößen oder Temperaturschwankungen. Ein wichtiger Aspekt, auf den auch die spielfreie Festkörpergelenkführung einzahlt.

Breites Anwendungsspektrum in Forschung und Industrie

Die hochpräzisen XYZ-Nanopositioniersysteme unterstützen zahlreiche Anwendungsfelder. In der Mikroskopie und den Life Sciences ermöglichen sie höchste Präzision bei Superresolution- und konfokaler Mikroskopie, AFM sowie Live-Cell-Imaging. In der Photonik und Optik unterstützen sie Aufgaben wie Faser- und Strahlausrichtung, Interferometrie und die Ausrichtung von Präzisionsoptiken. Die freie Apertur bietet zusätzliche Flexibilität und erleichtert Strahlausrichtungen sowie vielfältige Anwendungen in Photonik und Mikroskopie. In der Halbleiterfertigung und Messtechnik kommen XYZ-Nanopositioniersysteme unter anderem bei Waferinspektion, Lithografie, Maskenausrichtung und Defekterkennung zum Einsatz. Auch in der Nanotechnologie leisten sie einen wichtigen Beitrag, etwa bei der präzisen Manipulation und Montage von Nanostrukturen.

Weitere Informationen unter: >> P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioning Stage

 

Über Physik Instrumente (PI)

PI mit Hauptsitz in Karlsruhe ist Markt- und Technologieführer für hochpräzise Positioniertechnik und Piezoanwendungen in den Marktsegmenten Industrielle Automatisierung, Halbleiterindustrie, Photonik sowie Mikroskopie & Biowissenschaften. In enger Zusammenarbeit mit Kunden aus aller Welt verschieben die über 1.900 Spezialisten von PI seit mehr als 50 Jahren immer wieder die Grenzen des technisch Machbaren. Die Basis dafür bilden vielfältige Antriebstechnologien, eigenentwickelte Sensorik, Elektronik sowie Steuerungs- und Regelungstechnik. Das Angebot reicht von Komponenten über Subsysteme bis hin zu maßgeschneiderten Komplettlösungen. Über 560 erteilte und angemeldete Patente unterstreichen den technologischen Führungsanspruch des Unternehmens in der Präzisionspositionierung und Piezotechnologie. PI ist mit neun Fertigungsstandorten in Europa, Nordamerika und Asien sowie 16 Vertriebs- und Serviceniederlassungen weltweit vertreten.

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Pressemitteilung - Hochgeschwindigkeits-XYZ-Nanopositionierer

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