P-753 LISA Linearaktor und Positioniertisch

Dynamisch und positionsstabil

  • Geführter Stelltisch und Aktor zugleich
  • Stellweg bis 38 µm
  • Auflösung 0,1 nm
  • Nichtmagnetische Versionen verfügbar
  • Besonders schnelles Ansprechverhalten durch Direktantrieb
  • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
P-753 LISA Linearaktor und Positioniertisch
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Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Messtechnik
  • Prüfverfahren und Qualitätssicherung
  • Photonik
  • Faserpositionierung

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

Höhere Steifigkeit und Dynamik durch PICMA® Direktantrieb

Piezonanopositionierer mit PICMA® Direktantrieb haben keine mechanische Übersetzung. Dies ermöglicht schnelle Ansprechgeschwindigkeiten sowie die höchste erreichbare Steifigkeit und Dynamik im Piezoantriebsbereich.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt P-753

Version / Datum
2018-11-16
pdf - 688 KB
Version / Datum
2018-11-16
pdf - 692 KB
Version / Datum
2019-01-14
pdf - 928 KB
Version / Datum
2019-04-01
pdf - 1,007 KB

Downloads

Produktmitteilung

Produktmitteilung

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt P-753

Version / Datum
2018-11-16
pdf - 688 KB
Version / Datum
2018-11-16
pdf - 692 KB
Version / Datum
2019-01-14
pdf - 928 KB
Version / Datum
2019-04-01
pdf - 1,007 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ254

P-753 LISA Hochdynamische Piezo-Nanopositioniersysteme

Version / Datum
1.1.0 2022-05-11
pdf - 1 MB
Version / Datum
1.1.0 2022-05-11
pdf - 1 MB
Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum
6.1.0 10/2019
pdf - 1 MB
Version / Datum
6.1.0 10/2019
pdf - 1 MB

3-D-Modelle

3-D-Modelle

P-753 3D Modell

zip - 415 KB

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