P-612.Z Piezohubtisch

Kompakter Nanopositionierer mit Apertur

Stellweg 100 µm
Auflösung bis 0,2 nm
Linearitätsabweichung 0,2 %
Kompakt: Grundfläche 60 mm × 60 mm
Besonders kostengünstige Systeme (Mechanik und Controller)
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

P-612.Z, Abmessungen in mm

Die Einschwingzeit beträgt weniger als 10 Millisekunden über den vollen Hub bei aktiver Regelung.

Interferometrie
Mikroskopie
Nanopositionierung
Biotechnologie
Prüfverfahren und Qualitätssicherung
Halbleitertechnik

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

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Datenblatt

Version / Datum

2018-05-08

pdf - 562 KB

Version / Datum

2018-05-08

pdf - 567 KB

Version / Datum

2018-06-14

pdf - 778 KB

Version / Datum

2018-07-12

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	P-612.ZSL	P-612.Z0L	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	Z	Z
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor	DMS	-
Stellweg bei -20 bis +120V, ungeregelt	110	110	µm	+20 % / -0 %
Stellweg, geregelt	100	-	µm
Auflösung, ungeregelt	0,2	0,2	nm	typ.
Auflösung, geregelt	1,5	-	nm	typ.
Linearitätsabweichung, geregelt	0,2	-	%	typ.
Wiederholgenauigkeit	±4	-	nm	typ.
Verkippung θ_X, θ_Y	±10	±10	µrad	typ.
Übersprechen in X, Y	±20	±20	nm	typ.
Mechanische Eigenschaften
Steifigkeit in Stellrichtung	0,63	0,63	N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz, unbelastet	490	490	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz, belastet, 30 g	420	420	Hz	±20 %
Belastbarkeit	15 / 10	15 / 10	N	max.
Antriebseigenschaften
Keramiktyp	PICMA® P-885	PICMA® P-885
Elektrische Kapazität	3	3	µF	±20 %
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80	-20 bis 80	°C
Material	Aluminium	Aluminium
Masse	0,28	0,275	kg	±5 %
Kabellänge	1,5	1,5	m	±10 mm
Spannungsanschluss	LEMO	LEMO
Sensoranschluss	LEMO	-
Empfohlene Elektroniken	E-610, E-621, E-625, E-665	E-610, E-621, E-625, E-665

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

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Datenblatt

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2018-05-08

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2018-06-14

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Dokumentation

P-612 XY-Nanopositioniersysteme und Nanopositionier-Hubtische

Version / Datum

1.0.0 2017-04-27

pdf - 2 MB

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1.0.0 2017-04-27

pdf - 2 MB

Dokumentation

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum

6.1.0 10/2019

pdf - 1 MB

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6.1.0 10/2019

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3-D-Modelle

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P-612.Z0L

Nanopositionier-Hubtisch, 110 µm, Apertur 20 mm × 20 mm, ungeregelt

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P-612.ZSL

Nanopositionier-Hubtisch, 100 µm, Apertur 20 mm × 20 mm, DMS-Sensor

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