P-313 PicoCube® XY(Z)-Piezoscanner
Picometergenau, hohe Bandbreite, für die Rastersondenmikroskopie
- Hochlinearer Scanner für AFM / SPM
- Bis 20 Picometer Auflösung, Hysterese <1 nm
- Höchste Bandbreite ohne Regelverluste durch neues Antriebskonzept
- Höchstauflösendes Manipulations-Tool für Bio- / Nanotechnologie
- Resonanzfrequenz 4,0 kHz (X, Y), 11 kHz (Z)
- Stellweg 1 µm × 1 µm × 0,6 µm
Einsatzgebiete
- Rastersondenmikroskopie
- Rasterkraftmikroskopie
- Scanning und Screening
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Hochdynamischer Mehrachsbetrieb durch Parallelkinematik
In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.
Spezifikationen
Spezifikationen
P-313 PicoCube® XY(Z)-Piezoscanner | Einheit | |
---|---|---|
Bewegen und Positionieren | ||
Aktive Achsen | X, Y, Z | |
Stellweg X,Y (±250 V) | 1 | µm |
Stellweg Z (±250 V) | 0,6 | µm |
Auflösung in X, Y | 0,02 | nm |
Auflösung in Z | 0,14 | nm |
Mechanische Eigenschaften | ||
Resonanzfrequenz in X, Y | 4 | kHz |
Resonanzfrequenz in Z | 11 | kHz |
Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung | ±10 | N |
Belastbarkeit | ±10 | N |
Anschlüsse und Umgebung | ||
Betriebstemperaturbereich | 5 bis 40 | °C |
Masse | 80 | g |
Kabellänge | 1,5 | m |
Spannungsanschluss | P-313.30L: LEMO P-313.30D: D-Sub 24W7 (m) | |
Empfohlene Elektroniken | E-536 |
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch P313T0001
P-313 hochlinearer PicoCobe XYZ-Positionierer und -Scanner
3-D-Modelle
3D-Modell P-313.30X
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Technologie

Flexure Festkörpergelenke
Festkörpergelenksführungen von PI führen den Piezoaktor und dienen der geradlinigen Bewegung ohne Verkippung oder seitlichen Versatz.

Parallele Kinematik
Der Vorteil eines Parallelkinematik-Mehrachsensystem ist, dass es kompakter gebaut werden kann, da nur es nur eine bewegte Plattform gibt.