Q-622 Q-Motion® Miniatur-Rotationstisch

Minimale Abmessungen: 22 mm Durchmesser des Drehtellers

Q-622 Q-Motion® Miniatur-Rotationstisch
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  • Nur 22 mm breit und 10 mm hoch
  • Direkte Positionsmessung mit inkrementellem Encoder mit 0,55 µrad Auflösung
  • Bis zu 2,2 µrad kleinste Schrittweite
  • Geschwindigkeit 70 °/s
  • Ohne Adapter auf den Lineartisch Q-522 montierbar
  • Geeignet für Vakuum bis 10-6 hPa, Versionen bis 10-9 hPa verfügbar

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoträgheitsantriebe sind platzsparende und preiswerte piezobasierte Antriebe mit relativ hohen Haltekräften und prinzipiell unbegrenztem Stellweg. Das Trägheitsantriebsprinzip basiert auf einem einzelnen piezoelektrischen Aktor, der über die Treiberelektronik mit einer modifizierten Sägezahnspannung angesteuert wird. Der Aktor dehnt sich langsam aus und nimmt einen Läufer mit. Die darauf folgende schnelle Kontraktion des Aktors kann der Läufer aufgrund seiner Trägheit nicht nachvollziehen und verharrt auf seiner Position. Mit einer Betriebsfrequenz von bis zu 20 kHz erreichen direkt auf den Läufer wirkende Antriebe Geschwindigkeiten bis max. 70 °/s.

Einsatzgebiete

Mikromontage, Photonik, Optische Justage, Mikroskopie, Beamline-Instrumentierung, Halbleitertechnik, Testanwendungen

Spezifikationen

Datenblatt Q-622

Version / Datum
2015-06-02
Version / Datum
2015-07-10
Dokumentsprache
pdf - 623 KB
pdf - 631 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt Q-622

Version / Datum
2015-06-02
Version / Datum
2015-07-10
Dokumentsprache
pdf - 623 KB
pdf - 631 KB

Dokumentation

Benutzerhandbuch MP128

Q-622 Q-Motion Miniatur-Drehtisch mit 22 mm Durchmesser, piezoelektrischer Trägheitsantrieb
Version / Datum
1.1.0 2017-11-28
Version / Datum
1.1.0 2017-11-28
Dokumentsprache
pdf - 2 MB
pdf - 2 MB

Kurzanleitung MP139EK

Q-5xx, Q-6xx PIShift Versteller
Version / Datum
3.1.0 2018-06-19
pdf - 696 KB

3-D-Modelle

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Q-622.930
Q-Motion® Rotationstisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, >360° Drehbereich, inkrementeller Encoder, 0,55 µrad Auflösung, 5 mNm Drehmoment, 22 mm Durchmesser, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-622.900
Q-Motion® Rotationstisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, >360° Drehbereich, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 5 mNm Drehmoment, 22 mm Durchmesser, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-622.90U
Q-Motion® Rotationstisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, >360° Drehbereich, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 5 mNm Drehmoment, 22 mm Durchmesser, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

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