A-523 PIglide hochpräziser Hub-Kipptisch mit Luftlager
Hohe Leistungsfähigkeit • Reinraumtauglich • Niedrige Bauhöhe
- Stellweg in Z bis ±2,5 mm
- Rotationsbereich in θX, θY bis ±1°
- Belastbarkeit bis 8 kg
- Durchmesser Plattform 250 mm
- Gesamthöhe 60 mm
Produktübersicht
A-523 ist ein luftgelagerter Hub-Kipptisch mit Direktantrieb. Ausgelegt als parallelkinematisches Mehrachssystem, macht die Plattform sowohl Hub- als auch Kippbewegungen. Dieser Tisch bietet höchste Präzision bei niedriger Bauhöhe. Die Kombination der berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungslose Bewegungsplattform, die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet.
Wenn der A-523 zusammen mit einem Controller der Reihen A-81x oder A-82x bezogen wird, übernimmt PI die Konfiguration und Verkabelung des Hub-Kipptisches, mit angewandter Servo-Optimierung und unter Last. Sie erhalten ein komplettes, sofort einsatzbereites Positioniersystem.
Zubehör und Optionen
- Luftfiltersätze
- Eingebaute Vakuum-Spannvorrichtung
Einsatzgebiete
Der Hub-Kipptisch ist ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen, wie Wafer-Inspektion, Faserpositionierung, Optikpositionierung, Flachbildschirm-Inspektion, Maskenlose Lithographie und Ultra-LED-Herstellung. Der berührungslose Aufbau ist ideal geeignet für Anwendungen im Reinraum.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | A-523.25005B3 | Toleranz |
---|---|---|
Aktive Achsen | Z θX θY | |
Stellweg in Z | 5 mm | |
Rotationsbereich in θX | 2 ° | |
Rotationsbereich in θY | 1,6 ° | |
Beschleunigung in Z, unbelastet | 10 m/s² | max. |
Maximale Geschwindigkeit in Z, unbelastet | 200 mm/s | |
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z) | ± 25 µrad | typ. |
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z) | ± 25 µrad | typ. |
Positionieren | A-523.25005B3 | Toleranz |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 0,25 µm | typ. |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θX | ± 8 µrad | typ. |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θY | ± 8 µrad | typ. |
Positioniergenauigkeit in Z, kalibriert | ± 0,5 µm | typ. |
Positioniergenauigkeit in θX, unkalibriert | ± 15 µrad | typ. |
Positioniergenauigkeit in θY, unkalibriert | ± 15 µrad | typ. |
Kleinste Schrittweite in Z | 0,01 µm | typ. |
Kleinste Schrittweite in θX | 0,06 µrad | typ. |
Kleinste Schrittweite in θY | 0,06 µrad | typ. |
Integrierter Sensor | Absoluter Linearencoder | |
Sensorsignal | BiSS-C | |
Sensorauflösung | 1 nm | |
Antriebseigenschaften | A-523.25005B3 | Toleranz |
Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | |
Nennspannung | 24 V | |
Spitzenspannung | 60 V | |
Nennstrom, effektiv | 1,4 A | typ. |
Spitzenstrom, effektiv | 2,8 A | typ. |
Kraftkonstante | 5,9 N/A | |
Widerstand Phase-Phase | 5,2 Ω | typ. |
Induktivität Phase-Phase | 1 mH | |
Gegen-EMK Phase-Phase | 4,2 V·s/m | max. |
Polteilung N-N | 19,66 mm | |
Mechanische Eigenschaften | A-523.25005B3 | Toleranz |
Führung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | |
Zulässige Druckkraft in Z | 80 N | max. |
Gesamtmasse | 8200 g | |
Material | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | |
Anschlüsse und Umgebung | A-523.25005B3 | Toleranz |
Anschluss | HD D-Sub 26-pin (m) | |
Luftlageranschluss | Steckverbindung für Schlauch mit 6 mm Außendurchmesser | |
Betriebsdruck | 515 bis 585 (75 bis 85 psi) kPa | |
Luftdurchsatz | 84 L/min | max. |
Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | |
Empfohlene Controller / Treiber | A-814 (vier Achsen), A-82x (4 / 6 / 8 Achsen) | |
Betriebstemperaturbereich | +15 bis +25 °C |
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