A-523 PIglide High-Precision Z Tip/Tilt Stage with Air Bearings

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Hohe Leistungsfähigkeit • Reinraumtauglich • Niedrige Bauhöhe

A-523 PIglide High-Precision Z Tip/Tilt Stage with Air Bearings

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Produktübersicht

A-523 ist ein luftgelagerter Hub-Kipptisch mit Direktantrieb. Ausgelegt als parallelkinematisches Mehrachssystem, macht die Plattform sowohl Hub- als auch Kippbewegungen. Dieser Tisch bietet höchste Präzision bei niedriger Bauhöhe. Die Kombination der berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungslose Bewegungsplattform, die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet.

Wenn der A-523 zusammen mit einem Controller der Reihen A-81x oder A-82x bezogen wird, übernimmt PI die Konfiguration und Verkabelung des Hub-Kipptisches, mit angewandter Servo-Optimierung und unter Last. Sie erhalten ein komplettes, sofort einsatzbereites Positioniersystem.

Zubehör und Optionen

Luftfiltersätze
Eingebaute Vakuum-Spannvorrichtung

Einsatzgebiete

Der Hub-Kipptisch ist ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen, wie Wafer-Inspektion, Faserpositionierung, Optikpositionierung, Flachbildschirm-Inspektion, Maskenlose Lithographie und Ultra-LED-Herstellung. Der berührungslose Aufbau ist ideal geeignet für Anwendungen im Reinraum.

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Datenblatt

Datenblatt A-523

Version / Datum

2021-03-15

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2021-03-15

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Bewegen	A-523.25005B3	Toleranz
Aktive Achsen	Z θX θY
Stellweg in Z	5 mm
Rotationsbereich in θX	2 °
Rotationsbereich in θY	1,6 °
Beschleunigung in Z	10 m/s²	max.
Maximale Geschwindigkeit in Z	200 mm/s
Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z	± 25 µrad	typ.
Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z	± 25 µrad	typ.
Positionieren	A-523.25005B3	Toleranz
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z	± 0,25 µm	typ.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θX	± 8 µrad	typ.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θY	± 8 µrad	typ.
Positioniergenauigkeit in Z, kalibriert	± 0,5 µm	typ.
Positioniergenauigkeit in θX, unkalibriert	± 15 µrad	typ.
Positioniergenauigkeit in θY, unkalibriert	± 15 µrad	typ.
Kleinste Schrittweite in Z	0,01 µm	typ.
Kleinste Schrittweite in θX	0,06 µrad	typ.
Kleinste Schrittweite in θY	0,06 µrad	typ.
Integrierter Sensor	Absoluter Linearencoder
Sensorsignal	BiSS-C
Sensorauflösung	1 nm
Antriebseigenschaften	A-523.25005B3	Toleranz
Antriebstyp	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor
Nennspannung	48 V
Spitzenspannung	80 V
Nennstrom, effektiv	0,8 A	typ.
Spitzenstrom, effektiv	1,5 A	typ.
Kraftkonstante	10 N/A
Widerstand Phase-Phase	23,5 Ω	typ.
Induktivität Phase-Phase	5,2 mH
Gegen-EMK Phase-Phase	10 V·s/m	max.
Mechanische Eigenschaften	A-523.25005B3	Toleranz
Führung	Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung
Zulässige Druckkraft in Z	80 N	max.
Gesamtmasse	8,2 g
Material	Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl
Anschlüsse und Umgebung	A-523.25005B3	Toleranz
Anschluss	HD D-Sub 26-pin (m)
Luftlageranschluss	Steckverbindung für Schlauch mit 6 mm Außendurchmesser
Betriebsdruck	515 bis 585 (75 bis 85 psi) kPa
Luftdurchsatz	84 L/min	max.
Luftqualität	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3
Empfohlene Controller / Treiber	A-814 (vier Achsen), A-82x (4 / 6 Achsen)
Betriebstemperaturbereich	+15 bis +25 °C

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Datenblatt

Datenblatt A-523

Version / Datum

2021-03-15

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3-D-Modelle

3D-Modell A-523

Version / Datum

2021-03-09

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A-523.25005B3 NEW!

PIglide hochpräziser Hub-Kipptisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 5 mm Stellweg; 2 ° × 1,6 ° Rotationswinkel (θX × θY); 80 N Belastbarkeit; 200 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C

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