V-551.2B
Präzisions-Lineartisch, 160 mm Breite, 60 mm Stellweg, 150 N Belastbarkeit, Absolutencoder, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor
V-551 Präzisions-Lineartisch
Hohe Geschwindigkeit und Präzision durch magnetischen Direktantrieb
- Stellwege bis 230 mm
- Geschwindigkeit bis 0,5 m/s
- Absolutencoder mit 1 nm Auflösung
- Höchste Präzision mit PIOne Linearencoder: Kleinste Schrittweite 0,5 nm
- Hohe Führungsgenauigkeit
- Kompakte Bauform mit 160 mm Breite
Ein V-551.4D mit PIOne Linearencoder führt eine Folge von 0,5-nm-Schritten aus.
Ein V-551.4D mit PIOne Linearencoder führt eine Folge von 1-nm-Schritten aus.
V-551, Ansicht von unten und Seitenansichten, Abmessungen in mm
V-551, Ansicht von oben und Seitenansichten, Abmessungen in mm
Ein XY-Aufbau aus modifizierten V-551.4D Lineartischen und optionaler Schleppkette.
Ein XYZ-Aufbau aus drei V-551 Lineartischen mit jeweils 60 mm Stellweg. Die Z-Achse wurde modifiziert und verfügt über eine magnetische Kompensation der Gewichtskraft.
V-551 Präzisions-Lineartisch
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Lineartisch der Referenzklasse
Durch die leichtgängigen Präzisions-Linearführungen mit Kreuzrollenlagern eignet sich der Lineartisch sehr gut für Scanning-Anwendungen mit konstanter Geschwindigkeit. Die Käfig-Zwangsführung verhindert zuverlässig das Käfigwandern. Die Führungen sind hochbelastbar und unter allen Betriebsbedingungen sehr präzise.
Linearmotoren
Linearmotoren sind elektromagnetische Direktantriebe. Sie verzichten auf mechanische Bauteile im Antriebsstrang und übertragen die Antriebskraft direkt und reibungsfrei auf die Bewegungsplattform. Die Antriebe erreichen hohe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen. Eisenlose Motoren eignen sich besonders für Positionieraufgaben mit höchsten Ansprüchen an Präzision, da es keine unerwünschten Wechselwirkungen mit den Permanentmagneten gibt. Dies ermöglicht einen gleichmäßigen Lauf auch bei niedrigsten Geschwindigkeiten, gleichzeitig treten keine Vibrationen bei hohen Geschwindigkeiten auf. Nichtlinearitäten im Regelverhalten werden vermieden und jede beliebige Position kann einfach geregelt werden. Die Antriebskraft ist frei einstellbar.
Direkte Positionsmessung
Die Positionsmessung erfolgt mit höchster Genauigkeit direkt an der Bewegungsplattform, so dass Nichtlinearität, mechanisches Spiel oder elastische Deformation keinen Einfluss auf die Positionsmessung haben.
Der hochauflösende PIOne Encoder wurde von PI entwickelt und erlaubt bei entsprechender Messauswertung eine Positionsauflösung von weit unter einem Nanometer. Die optisch und kontaktlos arbeitenden PIOne Encoder basieren auf einem interferometrischen Messprinzip. Durch die kleine Signalperiode und die hohe Qualität der Signale erreichen PIOne Encoder eine Linearitätsabweichung von weniger als 1 %. PIOne Encoder unterstützen die Richtungserkennung bei der Auswertung eines Referenzsignals.
Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden.
Einsatzgebiete
Industrie und Forschung. Automatisierung. Messtechnik. Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung
Spezifikationen
Spezifikationen
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| Bewegen | V-551.2B | V-551.4B | V-551.7B | Toleranz |
|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X | X | X | |
| Stellweg in X | 60 mm | 130 mm | 230 mm | |
| Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | |
| Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in X) | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 2 µm | typ. |
| Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in X) | ± 2 µm | ± 2 µm | ± 2 µm | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 50 µrad | ± 100 µrad | ± 100 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 50 µrad | ± 50 µrad | ± 50 µrad | typ. |
| Positionieren | V-551.2B | V-551.4B | V-551.7B | Toleranz |
| Kleinste Schrittweite in X | 0,002 µm | 0,002 µm | 0,002 µm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | 0,05 µm | 0,05 µm | 0,05 µm | typ. |
| Endschalter | Hall-Effekt, Schließer, 5 V, TTL | Hall-Effekt, Schließer, 5 V, TTL | Hall-Effekt, Schließer, 5 V, TTL | |
| Integrierter Sensor | Absoluter Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Absoluter Linearencoder | |
| Sensorsignal | BiSS-C | BiSS-C | BiSS-C | |
| Sensorauflösung | 1 nm | 1 nm | 1 nm | |
| Antriebseigenschaften | V-551.2B | V-551.4B | V-551.7B | Toleranz |
| Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | |
| Nennspannung | 48 V | 48 V | 48 V | |
| Spitzenspannung | 48 V | 48 V | 48 V | |
| Nennstrom, effektiv | 1,5 A | 1,5 A | 1,5 A | typ. |
| Spitzenstrom, effektiv | 10 A | 10 A | 10 A | typ. |
| Antriebskraft in X | 27 N | 27 N | 27 N | typ. |
| Spitzenkraft in X | 180 N | 180 N | 180 N | |
| Kraftkonstante | 18 N/A | 18 N/A | 18 N/A | |
| Widerstand Phase-Phase | 5,4 Ω | 5,4 Ω | 5,4 Ω | typ. |
| Induktivität Phase-Phase | 1,8 mH | 1,8 mH | 1,8 mH | |
| Gegen-EMK | 16 V·s/m | 16 V·s/m | 16 V·s/m | max. |
| Polteilung N-N | 30 mm | 30 mm | 30 mm | |
| Mechanische Eigenschaften | V-551.2B | V-551.4B | V-551.7B | Toleranz |
| Zulässige Druckkraft in Y | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 150 N | 150 N | 150 N | max. |
| Bewegte Masse in X, unbelastet | 2200 g | 2700 g | 4900 g | |
| Führung | Kreuzrollenführung | Kreuzrollenführung | Kreuzrollenführung | |
| Gesamtmasse | 4200 g | 5500 g | 9700 g | |
| Material | Aluminium, schwarz eloxiert | Aluminium, schwarz eloxiert | Aluminium, schwarz eloxiert | |
| Anschlüsse und Umgebung | V-551.2B | V-551.4B | V-551.7B | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | |
| Anschluss | HD D-Sub 26 (m) | HD D-Sub 26 (m) | HD D-Sub 26 (m) | |
| Sensoranschluss | D-Sub 15 (f) | D-Sub 15 (f) | D-Sub 15 (f) | |
| Empfohlene Controller / Treiber | C-891, C-885 mit C-891.10C885, A-811.CE, G-901 | C-891, C-885 mit C-891.10C885, A-811.CE, G-901 | C-891, C-885 mit C-891.10C885, A-811.CE, G-901 |
Hinweis zu Sensorauflösung: interpoliert
Hinweis zur kleinsten Schrittweite: Mit ACS NanoPWM
Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch MP160
V-551.xD Präzisions-Lineartisch
Version / Datum
1.1.3 2020-06-12
pdf - 2 MB
Version / Datum
1.1.3 2020-06-12
pdf - 2 MB
Dokumentation
Benutzerhandbuch MP147
V-551.xB Präzisions-Lineartisch
Version / Datum
1.0.4 2020-06-12
pdf - 2 MB
Version / Datum
1.0.4 2020-06-12
pdf - 2 MB
3-D-Modelle
3-D-Modelle
V-551 3-D model
zip - 6 MB
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