A-123.050B1Z NEU!
PIglide vertikaler Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 50 mm Stellweg; 10 kg Nutzlast; 500 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
NEU
A-123 Z PIglide vertikaler Lineartisch mit Luftlager
Leistungsfähiger vertikaler Nanopositioniertisch
- Lineartisch mit pneumatischem Gegengewicht zur vertikalen Montage
- Ideal geeignet für Scananwendungen und hochpräzise Positionieraufgaben
- Reinraumtauglich
- Stellwege 50 mm, 100 mm und 150 mm
- Sensorauflösung 1 nm
A-123, Abmessungen in mm
A-123 Z PIglide vertikaler Lineartisch mit Luftlager
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Produktübersicht
Die Tische der PIglide Serie verfügen über einen Servo-Linearmotorantrieb mit vorgespannten Luftlagern und integriertem optischen Linearencoder. Die Kombination dieser berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungsfreie Bewegungsplattform, die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet.
Ein Hochleistungslinearmotor kann den Tisch zur Höchstgeschwindigkeit innerhalb weniger Millisekunden fahren und die hohe Tragfähigkeit ermöglicht Nutzlasten bis zu 10 kg. Die lateral entgegengesetzte, aktiv vorgespannte und luftgelagerte Konstruktion ermöglicht eine Montage in beliebiger Orientierung.
Zubehör und Optionen
- PIglide Filter und Druckregler
- Ein- und mehrachsige Motion Controller
- XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen
- Schleppkettenvarianten
- Modelle mit Bremse zur Vermeidung von Kollisionen bei Druckluftabfall
- Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung
- Manuelle Anpassung des Standardwerts für die Nutzlast, Option zur automatischen Regulierung verfügbar
- Kundenspezifische Anpassungen verfügbar
Einsatzgebiete
PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder Flachbildschirm-Herstellung.
Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.
Spezifikationen
Spezifikationen
| Bewegen | A-123.050B1Z | A-123.050B1ZB | A-123.100B1Z | A-123.100B1ZB | A-123.150B1Z | A-123.150B1ZB | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | Z | Z | Z | Z | Z | Z | |
| Stellweg in Z | 50 mm | 50 mm | 100 mm | 100 mm | 150 mm | 150 mm | |
| Beschleunigung in Z, unbelastet | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | max. |
| Maximale Geschwindigkeit in Z, unbelastet | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | |
| Geradheitsabweichung in X | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | max. |
| Geradheitsabweichung in Y | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | max. |
| Winkelabweichung um X | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 15 µrad | ± 15 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | max. |
| Winkelabweichung um Y | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 15 µrad | ± 15 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | max. |
| Positionieren | A-123.050B1Z | A-123.050B1ZB | A-123.100B1Z | A-123.100B1ZB | A-123.150B1Z | A-123.150B1ZB | Toleranz |
| Positioniergenauigkeit in X, unkalibriert | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | typ. |
| Positioniergenauigkeit in Z, kalibriert | ± 0,3 µm | ± 0,3 µm | ± 0,3 µm | ± 0,3 µm | ± 0,3 µm | ± 0,3 µm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | 0,15 µm | 0,15 µm | 0,15 µm | 0,15 µm | 0,15 µm | 0,15 µm | typ. |
| Integrierter Sensor | Absoluter Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Absoluter Linearencoder | |
| Sensorsignal | BiSS-C | BiSS-C | BiSS-C | BiSS-C | BiSS-C | BiSS-C | |
| Sensorauflösung | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | |
| Antriebseigenschaften | A-123.050B1Z | A-123.050B1ZB | A-123.100B1Z | A-123.100B1ZB | A-123.150B1Z | A-123.150B1ZB | Toleranz |
| Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | |
| Nennspannung | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | |
| Spitzenspannung | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | |
| Nennstrom, effektiv | 4,4 A | 4,4 A | 4,4 A | 4,4 A | 4,4 A | 4,4 A | typ. |
| Spitzenstrom, effektiv | 15 A | 15 A | 15 A | 15 A | 15 A | 15 A | typ. |
| Antriebskraft in Z | 87,5 N | 87,5 N | 87,5 N | 87,5 N | 87,5 N | 87,5 N | typ. |
| Spitzenkraft in Z | 298 N | 298 N | 298 N | 298 N | 298 N | 298 N | |
| Kraftkonstante | 19,9 N/A | 19,9 N/A | 19,9 N/A | 19,9 N/A | 19,9 N/A | 19,9 N/A | |
| Widerstand Phase-Phase | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | typ. |
| Induktivität Phase-Phase | 1,2 mH | 1,2 mH | 1,2 mH | 1,2 mH | 1,2 mH | 1,2 mH | |
| Gegen-EMK Phase-Phase | 16 V·s/m | 16 V·s/m | 16 V·s/m | 16 V·s/m | 16 V·s/m | 16 V·s/m | max. |
| Polteilung N-N | 30 mm | 30 mm | 30 mm | 30 mm | 30 mm | 30 mm | |
| Mechanische Eigenschaften | A-123.050B1Z | A-123.050B1ZB | A-123.100B1Z | A-123.100B1ZB | A-123.150B1Z | A-123.150B1ZB | Toleranz |
| Zulässiges Moment in θY | 10 N·m | 10 N·m | 10 N·m | 10 N·m | 10 N·m | 10 N·m | max. |
| Maximale Nutzlast, vertikale Ausrichtung | 10 kg | 10 kg | 10 kg | 10 kg | 10 kg | 10 kg | |
| Bewegte Masse in Z, unbelastet | 3,5 g | 3,5 g | 3,5 g | 3,5 g | 3,5 g | 3,5 g | |
| Führung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Luftvorspannung | |
| Gesamtmasse | 14000 g | 14000 g | 15500 g | 15500 g | 16500 g | 16500 g | |
| Material | Hartbeschichtetes Aluminium; Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium; Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium; Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium; Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium; Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium; Befestigungsmaterial aus Edelstahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | A-123.050B1Z | A-123.050B1ZB | A-123.100B1Z | A-123.100B1ZB | A-123.150B1Z | A-123.150B1ZB | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | |
| Anschluss | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | |
| Sensoranschluss | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | |
| Betriebsdruck | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | |
| Luftdurchsatz | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | max. |
| Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | |
| Empfohlene Controller/Treiber | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x |
Hinweis zu Geradheitsabweichung: 0,15 µm auf 25 mm Stellweg
Hinweis zu Geradheits- und Winkelabweichung: Abhängig von der Ebenheit der Oberfläche, auf der der Tisch montiert ist.
Hinweis zu Geschwindigkeit und Beschleunigung: Kann durch die Nutzlast, den Controller oder den Antrieb eingeschränkt werden.
Hinweis zu zulässiger Druckkraft in Z: Geht davon aus, dass sich der Schwerpunkt der Nutzlast in der Mitte und nicht mehr als 50 mm oberhalb der Bewegungsplattform befindet.
Hinweis zu bidirektionaler Wiederholgenauigkeit und Sensorauflösung: Geht von einer 16384-fachen Interpolation aus.
Hinweis zur Positioniergenauigkeit: Verbesserte Genauigkeit kann mit Controller-gesteuerter Fehlerkompensation erreicht werden. Der Tisch muss mit einem Controller von PI geordert werden, um diese Werte zu erreichen. Genauigkeitswerte gehen von kurzfristiger Dauer aus und berücksichtigen die Langzeitfolgen des thermischen Drifts auf den Tisch nicht.
Hinweis zum Betriebsdruck: Zum Schutz des Tischs gegen Schäden wird empfohlen, einen Luftdrucksensor an den E-Stop-Eingang des Controllers anzuschließen.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
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Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch A123D0001
A-123 PIglide AT3 Motorisierter Linearversteller mit Luftlagermodul und Encoder
Version / Datum
2021-05-17
pdf - 1 MB
Englisch
3-D-Modelle
3-D-Modelle
A-123 Z 3D-Modell
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A-123.050B1ZB NEU!
PIglide vertikaler Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 50 mm Stellweg; 10 kg Nutzlast; 500 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
A-123.100B1Z NEU!
PIglide vertikaler Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 100 mm Stellweg; 10 kg Nutzlast; 500 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
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PIglide vertikaler Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 100 mm Stellweg; 10 kg Nutzlast; 500 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
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PIglide vertikaler Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 150 mm Stellweg; 10 kg Nutzlast; 500 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
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PIglide vertikaler Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 150 mm Stellweg; 10 kg Nutzlast; 500 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
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