P-753 LISA Linearaktor und Positioniertisch

Dynamisch und positionsstabil

Geführter Stelltisch und Aktor zugleich
Stellweg bis 38 µm
Auflösung 0,05 nm
Besonders schnelles Ansprechverhalten durch Direktantrieb
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren

Spezifikationen

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Benutzerhandbuch PZ254

P-753 LISA Hochdynamische Piezo-Nanopositioniersysteme
2014-10-13
2014-10-13
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Zeichnungen / Bilder

PI P-753.1
PI P-753.2
PI P-753.3

Versionen mit D-Sub-Stecker

P-753.1CD
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 12 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-753.2CD
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 25 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-753.3CD
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 38 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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Versionen mit LEMO-Stecker

P-753.11C
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 12 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-753.21C
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 25 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-753.31C
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 38 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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Vakuumversionen

P-753.1UD
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 12 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-753.2UD
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 25 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-753.3UD
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 38 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Nichtmagnetische Versionen sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.xND.

Sonderausführungen auf Anfrage.

Downloads

Datenblatt

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P-753 LISA Hochdynamische Piezo-Nanopositioniersysteme
2014-10-13
2014-10-13
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Datenblatt P-753

2015-01-30
2015-01-30
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3-D-Modelle

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P-753 STEP

Englisch
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