P-753 LISA Linearaktor und Positioniertisch

Dynamisch und positionsstabil

Geführter Stelltisch und Aktor zugleich
Stellweg bis 38 µm
Auflösung 0,05 nm
Besonders schnelles Ansprechverhalten durch Direktantrieb
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren


P-753.1CD

P-753.2CD

P-753.3CD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X

X

X


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg, geregelt

12

25

38

µm

Auflösung, ungeregelt / geregelt

0,05

0,1

0,2

nm

typ., voller Stellweg

Linearitätsabweichung, geregelt

0,03

0,03

0,03

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

±1

±2

±3

nm

typ.

Neigen / Gieren

±5

±7

±10

µrad

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

45

24

16

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

5,6

3,7

2,9

kHz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 200 g

2,5

1,7

1,4

kHz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

100 / 20

100 / 20

100 / 20

N

max.

Tragfähigkeit (vertikaler / horizontaler Betrieb)

10 / 2

10 / 2

10 / 2

kg

max.


Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

1,5

3,1

4,6

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

12

15

15

µA / (Hz × µm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Stahl

Stahl

Stahl

Abmessungen

44 mm × 30 mm × 15 mm

62 mm × 30 mm × 15 mm

80 mm × 30 mm × 15 mm

Masse

0,16

0,215

0,26

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

Die Auflösung von PI Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Piezoverstärkermodul

Versionen mit LEMO-Stecker sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.x1C.

Vakuumversionen bis 10-9 hPa sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.xUD.

Nichtmagnetische Versionen sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.xND.

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI P-753.1
PI P-753.2
PI P-753.3

Versionen mit D-Sub-Stecker

P-753.1CD
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 12 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-753.2CD
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 25 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-753.3CD
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 38 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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Versionen mit LEMO-Stecker

P-753.11C
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 12 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-753.21C
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 25 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-753.31C
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 38 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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Vakuumversionen

P-753.1UD
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 12 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-753.2UD
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 25 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-753.3UD
LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 38 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Nichtmagnetische Versionen sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.xND.

Sonderausführungen auf Anfrage.

Downloads

Datenblatt

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Benutzerhandbuch PZ254

P-753 LISA Hochdynamische Piezo-Nanopositioniersysteme
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PI Datenblatt P-753

LISA Linearaktor und Positioniertisch dynamisch und positionsstabil
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3D Modelle

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P-753 STEP

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