N-111 NEXLINE® OEM-Linearaktor

Nanopositionierung über große Stellwege, PiezoWalk® Prinzip

N-111 NEXLINE® OEM-Linearaktor
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Stellweg 10 mm
  • Direktmessender Linearencoder mit Auflösung 5 nm
  • Stellkraft bis 50 N
  • Haltekraft bis 70 N

Einsatzgebiete

  • Industrielle Präzisionspositionierung
  • Halbleitertechnik
  • Halbleitertests
  • Wafer-Inspektion
  • Lithografie
  • Nanoimprint
  • Nanometrologie
  • Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum

Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben

Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Piezomotoren von PI sind im Prinzip vakuumtauglich und für den Betrieb unter starken Magnetfeldern geeignet. Hierfür werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ultravioletter Strahlung eingesetzt werden.

Spezifikationen

Datenblatt N-111

Version / Datum
2018-04-17
Version / Datum
2018-04-17
Version / Datum
2018-07-17
Dokumentsprache
pdf - 585 KB
pdf - 592 KB
pdf - 673 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt N-111

Version / Datum
2018-04-17
Version / Datum
2018-04-17
Version / Datum
2018-07-17
Dokumentsprache
pdf - 585 KB
pdf - 592 KB
pdf - 673 KB

Dokumentation

Benutzerhandbuch MP110

N-111.20 und N-111.2A NEXLINE® OEM-Piezoschreitaktoren
Version / Datum
1.0.1 2017-06-20
Version / Datum
1.0.1 2017-07-20
Dokumentsprache
pdf - 885 KB
pdf - 963 KB

Benutzerhandbuch MP142

N-111.201 und N-111.2A1 NEXLINE® OEM Piezoschreitaktoren
Version / Datum
1.0.1 2016-12-05
Version / Datum
1.0.1 2016-12-05
Dokumentsprache
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB

3-D-Modelle

N-111 3D-Modell

Angebot / Bestellung

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