N-331 PICMAWalk Schreitantrieb

OEM-Schreitantrieb für dauerhafte Anwendungen mit bis zu 12 mm/s Geschwindigkeit und 50 N Antriebskraft

  • Robuster und industriell nutzbarer Schreitantrieb mit ​P​I​C​M​A​® Technologie für extreme Langlebigkeit
  • Schnellster und stärkster Antrieb in seiner Größenklasse
  • Variable Läuferlänge von 25 mm bis 100 mm
  • Präzises, nanometergenaues Positionieren von Lasten bis zu 5 kg
  • Plug and Play dank PI-eigener Controller-Technologie
  • Versionen für Vakuum bis 10-9 hPa verfügbar
N-331 PICMAWalk Schreitantrieb
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Einsatzgebiete

  • Industrielle Präzisionspositionierung
  • Halbleitertechnik
  • Halbleitertests
  • Wafer-Inspektion
  • Lithografie
  • Nanoimprint
  • Nanometrologie

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben

Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt N-331

Version / Datum
2023-12-11
pdf - 799 KB
Version / Datum
2023-12-11
pdf - 801 KB
Version / Datum
2018-10-16
pdf - 791 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt N-331

Version / Datum
2023-12-11
pdf - 799 KB
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2023-12-11
pdf - 801 KB
Version / Datum
2018-10-16
pdf - 791 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ271

N-331 Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk

Version / Datum
1.1.5 2023-11-24
pdf - 2 MB
Englisch

Whitepaper

Whitepaper

Regelung von PI Positionierern mittels externem Zygo-Interferometer

Version / Datum
WP4017E 2022-07
pdf - 637 KB
Version / Datum
WP4017D 2022-07
pdf - 1 MB

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