N-331 PICMAWalk Schreitantrieb

OEM-Schreitantrieb für dauerhafte Anwendungen mit bis zu 15 mm/s Geschwindigkeit und bis zu 50 N Druck- / Zugkraft

N-331 PICMAWalk Schreitantrieb
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Robuster und industriell nutzbarer Schreitantrieb mit PICMA® Technologie für extreme Langlebigkeit
  • Schnellster und stärkster Antrieb in seiner Größenklasse
  • Variable Läuferlänge von 25 mm bis 100 mm
  • Präzises, nanometergenaues Positionieren von Lasten bis zu 5 kg
  • Plug and Play dank PI-eigener Controller-Technologie

Einsatzgebiete

  • Industrielle Präzisionspositionierung
  • Halbleitertechnik
  • Halbleitertests
  • Wafer-Inspektion
  • Lithografie
  • Nanoimprint
  • Nanometrologie
  • Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben

Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Piezomotoren von PI sind im Prinzip vakuumtauglich und für den Betrieb unter starken Magnetfeldern geeignet. Hierfür werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ultravioletter Strahlung eingesetzt werden.

Spezifikationen

Datenblatt N-331

Version / Datum
2018-10-16
Version / Datum
2018-10-16
Version / Datum
2018-10-16
Dokumentsprache
pdf - 756 KB
pdf - 769 KB
pdf - 791 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt N-331

Version / Datum
2018-10-16
Version / Datum
2018-10-16
Version / Datum
2018-10-16
Dokumentsprache
pdf - 756 KB
pdf - 769 KB
pdf - 791 KB

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ271

N-331 Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk
Version / Datum
2017-03-22
Dokumentsprache Englisch
pdf - 564 KB

3-D-Modelle

N-331 3D-Modell

N-331 3D-Modell

Whitepapers & Success Stories

Whitepaper: Regelung von PI Positionierern mittels externem Zygo-Interferometer

Version / Datum
WP4017E 2018-11
Version / Datum
WP4017D 2018-11
Dokumentsprache
pdf - 637 KB
pdf - 1 MB

Angebot / Bestellung

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