N-331 PICMAWalk Schreitantrieb
OEM-Schreitantrieb für dauerhafte Anwendungen mit bis zu 15 mm/s Geschwindigkeit und bis zu 50 N Druck- / Zugkraft
- Robuster und industriell nutzbarer Schreitantrieb mit PICMA® Technologie für extreme Langlebigkeit
- Schnellster und stärkster Antrieb in seiner Größenklasse
- Variable Läuferlänge von 25 mm bis 100 mm
- Präzises, nanometergenaues Positionieren von Lasten bis zu 5 kg
- Plug and Play dank PI-eigener Controller-Technologie
Einsatzgebiete
- Industrielle Präzisionspositionierung
- Halbleitertechnik
- Halbleitertests
- Wafer-Inspektion
- Lithografie
- Nanoimprint
- Nanometrologie
- Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben
Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.
Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder
Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.
Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen
Piezomotoren von PI sind im Prinzip vakuumtauglich und für den Betrieb unter starken Magnetfeldern geeignet. Hierfür werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ultravioletter Strahlung eingesetzt werden.
Spezifikationen
Spezifikationen
N-331.10 / N-331.13 N-331.20 / N-331.23 N-331.40 / N-331.43 | Einheit | Toleranz | |
---|---|---|---|
Aktive Achsen | X | ||
Bewegung und Positionieren | |||
Integrierter Sensor | N-331.x0: ohne Sensor N-331.x3: mit inkrementellem Sensor | ||
Stellweg (Schrittbetrieb, ungeregelt)* | N-331.1x: 30 N-331.2x: 55 N-331.4x: 105 | mm | ±0,5 mm |
Stellweg (Schrittbetrieb, geregelt) | N-331.1x: 25 N-331.2x: 50 N-331.4x: 100 | mm | |
Schrittfrequenz** | 600 | Hz | max. |
Geschwindigkeit (Schrittbetrieb)** | 15 | mm/s | max. |
Stellweg (Analogbetrieb) | ±10 | µm | typ. |
Auflösung (ungeregelt) | 0,02 | nm | typ. |
Auflösung (geregelt) | <10 (N-331.x3) | nm | typ. |
Laufleistung (atmosphärischer Betrieb)*** | >30 | km | |
Mechanische Eigenschaften | |||
Druck-/Zugkraft (aktiv) | 50 | N | max. |
Haltekraft (passiv) | 60 | N | max. |
Antriebseigenschaften | |||
Antriebstyp | PICMAWalk | ||
Betriebsspannung | -20 bis 120 | V | |
Anschlüsse | |||
Anschlussstecker | D-Sub 37 (m) | ||
Sonstiges | |||
Betriebstemperaturbereich | 0 bis 50 | °C | |
Material | Aluminium, Edelstahl | ||
Masse mit Kabel | N-331.1x: 580 N-331.2x: 610 N-331.4x: 660 | g | ±20 g |
Bewegte Masse | N-331.1x: 110 N-331.2x: 140 N-331.4x: 190 | g | ±10 g |
Kabellänge | 2,0 | m | ±10 mm |
Empfohlene Elektroniken | E-712.1AN • E-712.2AN • E–712.3AN |
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ271
N-331 Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk
3-D-Modelle
N-331 3D-Modell
N-331 3D-Modell
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Technologie

PiezoWalk® Piezoschreitantriebe
PiezoWalk®Antriebe wurden für die Halbleiterindustrie entwickelt, die hohe Anforderungen an die Zuverlässigkeit, Positionsauflösung und Stabilität hat.

PICMA® Technologie
Hohe Zuverlässigkeit und überlegene Lebensdauer durch das patentierte Herstellungsverfahren für Multilayer-Aktoren.

Vakuum
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.

Digitale Motion Controller
Digitale Controller haben gegenüber analogen Verstärkerelektroniken Vorteile, die vor allem bei hochpräzisen Positionieraufgaben zum Tragen kommen.

Inkrementelle Sensoren
Bei längeren Stellwegen ab ca. 1 Millimeter stoßen die kapazitiven Messsysteme an ihre Grenzen: PI verwendet daher inkrementelle Messsysteme.
![[Translate to German:] Parallel-Kinematic Precision Positioning Systems Hexapoden und SpaceFAB](/fileadmin/_processed_/6/d/csm_PI_Hexapod_0e99ed77db.jpg)
Hexapoden und SpaceFAB
Hexapoden sind Systeme für die Bewegung und Positionierung, Justierung und Verschiebung von Lasten in sechs Achsen im Raum, linear und rotatorisch.