N-331.10
Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk, 25 mm Stellweg, ungeregelt, 50 N Druck- / Zugkraft
N-331 PICMAWalk Schreitantrieb
OEM-Schreitantrieb für dauerhafte Anwendungen mit bis zu 15 mm/s Geschwindigkeit und bis zu 50 N Druck- / Zugkraft
- Robuster und industriell nutzbarer Schreitantrieb mit PICMA® Technologie für extreme Langlebigkeit
- Schnellster und stärkster Antrieb in seiner Größenklasse
- Variable Läuferlänge von 25 mm bis 100 mm
- Präzises, nanometergenaues Positionieren von Lasten bis zu 5 kg
- Plug and Play dank PI-eigener Controller-Technologie
N-331.x3, Abmessungen in mm. Die Abmessungen für N-331.x0 sind identisch.
10-nm-Schritte führt der N-331-Antrieb zuverlässig und wiederholbar aus. Gemessen wurde mit einem Interferometer.
N-331 PICMAWalk Schreitantrieb
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Einsatzgebiete
- Industrielle Präzisionspositionierung
- Halbleitertechnik
- Halbleitertests
- Wafer-Inspektion
- Lithografie
- Nanoimprint
- Nanometrologie
- Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben
Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.
Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder
Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.
Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen
Piezomotoren von PI sind im Prinzip vakuumtauglich und für den Betrieb unter starken Magnetfeldern geeignet. Hierfür werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ultravioletter Strahlung eingesetzt werden.
Spezifikationen
Spezifikationen
N-331.10 / N-331.13 N-331.20 / N-331.23 N-331.40 / N-331.43 | Einheit | Toleranz | |
|---|---|---|---|
Aktive Achsen | X | ||
Bewegung und Positionieren | |||
Integrierter Sensor | N-331.x0: ohne Sensor N-331.x3: mit inkrementellem Sensor | ||
Stellweg (Schrittbetrieb, ungeregelt)* | N-331.1x: 30 N-331.2x: 55 N-331.4x: 105 | mm | ±0,5 mm |
Stellweg (Schrittbetrieb, geregelt) | N-331.1x: 25 N-331.2x: 50 N-331.4x: 100 | mm | |
Schrittfrequenz** | 600 | Hz | max. |
Geschwindigkeit (Schrittbetrieb)** | 15 | mm/s | max. |
Stellweg (Analogbetrieb) | ±10 | µm | typ. |
Auflösung (ungeregelt) | 0,02 | nm | typ. |
Auflösung (geregelt) | <10 (N-331.x3) | nm | typ. |
Laufleistung (atmosphärischer Betrieb)*** | >30 | km | |
Mechanische Eigenschaften | |||
Druck-/Zugkraft (aktiv) | 50 | N | max. |
Haltekraft (passiv) | 60 | N | max. |
Antriebseigenschaften | |||
Antriebstyp | PICMAWalk | ||
Betriebsspannung | -20 bis 120 | V | |
Anschlüsse | |||
Anschlussstecker | D-Sub 37 (m) | ||
Sonstiges | |||
Betriebstemperaturbereich | 0 bis 50 | °C | |
Material | Aluminium, Edelstahl | ||
Masse mit Kabel | N-331.1x: 580 N-331.2x: 610 N-331.4x: 660 | g | ±20 g |
Bewegte Masse | N-331.1x: 110 N-331.2x: 140 N-331.4x: 190 | g | ±10 g |
Kabellänge | 2,0 | m | ±10 mm |
Empfohlene Elektroniken | E-712.1AN • E-712.2AN • E–712.3AN |
* Von einem mechanischen Anschlag des Läufers zum anderen mechanischen Anschlag, nur in ungeregeltem Betrieb
** Bei Betrieb mit Digitalcontroller mit 25 W Spitzenausgangsleistung
*** Bei einer optimal entkoppelten Last von 2 kg mit max. 70 % Einschaltdauer und externer Kühlung des Digitalcontrollers, bei 20 °C und 1013 hPa. Höchste Laufleistung innerhalb der PiezoWalk® Familie.
Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).
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Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ271
N-331 Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk
Version / Datum
1.1.3 2021-09-22
pdf - 2 MB
Englisch
3-D-Modelle
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N-331 3D-Modell
N-331 3D-Modell
zip - 1 MB
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N-331.13
Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk, 25 mm Stellweg, inkrementeller Sensor, 50 N Druck- / Zugkraft
N-331.20
Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk, 50 mm Stellweg, ungeregelt, 50 N Druck- / Zugkraft
N-331.23
Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk, 50 mm Stellweg, inkrementeller Sensor, 50 N Druck- / Zugkraft
N-331.40
Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk, 100 mm Stellweg, ungeregelt, 50 N Druck- / Zugkraft
N-331.43
Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk, 100 mm Stellweg, inkrementeller Sensor, 50 N Druck- / Zugkraft
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