N-331 PICMAWalk Schreitantrieb

OEM-Schreitantrieb für dauerhafte Anwendungen mit bis zu 15 mm/s Geschwindigkeit und bis zu 50 N Druck- / Zugkraft

Robuster und industriell nutzbarer Schreitantrieb mit PICMA® Technologie für extreme Langlebigkeit
Schnellster und stärkster Antrieb in seiner Größenklasse
Variable Läuferlänge von 25 mm bis 100 mm
Präzises, nanometergenaues Positionieren von Lasten bis zu 5 kg
Plug and Play dank PI-eigener Controller-Technologie

N-331.x3, Abmessungen in mm. Die Abmessungen für N-331.x0 sind identisch.

10-nm-Schritte führt der N-331-Antrieb zuverlässig und wiederholbar aus. Gemessen wurde mit einem Interferometer.

Industrielle Präzisionspositionierung
Halbleitertechnik
Halbleitertests
Wafer-Inspektion
Lithografie
Nanoimprint
Nanometrologie
Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

Piezomotoren von PI sind im Prinzip vakuumtauglich und für den Betrieb unter starken Magnetfeldern geeignet. Hierfür werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ultravioletter Strahlung eingesetzt werden.

Download Datenblatt Zu den Spezifikationen

Datenblatt

Version / Datum

2019-01-21

pdf - 756 KB

Version / Datum

2019-01-21

pdf - 769 KB

Version / Datum

2018-10-16

pdf - 791 KB

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	N-331.10 / N-331.13 N-331.20 / N-331.23 N-331.40 / N-331.43	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	X
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor	N-331.x0: ohne Sensor N-331.x3: mit inkrementellem Sensor
Stellweg (Schrittbetrieb, ungeregelt)*	N-331.1x: 30 N-331.2x: 55 N-331.4x: 105	mm	±0,5 mm
Stellweg (Schrittbetrieb, geregelt)	N-331.1x: 25 N-331.2x: 50 N-331.4x: 100	mm
Schrittfrequenz**	600	Hz	max.
Geschwindigkeit (Schrittbetrieb)**	15	mm/s	max.
Stellweg (Analogbetrieb)	±10	µm	typ.
Auflösung (ungeregelt)	0,02	nm	typ.
Auflösung (geregelt)	10 (N-331.x3)	nm	typ.
Laufleistung (atmosphärischer Betrieb)***	>30	km
Mechanische Eigenschaften
Druck-/Zugkraft (aktiv)	50	N	max.
Haltekraft (passiv)	60	N	max.
Antriebseigenschaften
Antriebstyp	PICMAWalk
Betriebsspannung	-20 bis 120	V
Anschlüsse
Anschlussstecker	D-Sub 37 (m)
Sonstiges
Betriebstemperaturbereich	0 bis 50	°C
Material	Aluminium, Edelstahl
Masse mit Kabel	N-331.1x: 580 N-331.2x: 610 N-331.4x: 660	g	±20 g
Bewegte Masse	N-331.1x: 110 N-331.2x: 140 N-331.4x: 190	g	±10 g
Kabellänge	2,0	m	±10 mm
Empfohlene Elektroniken	E-712.1AN • E-712.2AN • E–712.3AN

* Von einem mechanischen Anschlag des Läufers zum anderen mechanischen Anschlag, nur in ungeregeltem Betrieb

** Bei Betrieb mit Digitalcontroller mit 25 W Spitzenausgangsleistung

*** Bei einer optimal entkoppelten Last von 2 kg mit max. 70 % Einschaltdauer und externer Kühlung des Digitalcontrollers, bei 20 °C und 1013 hPa. Höchste Laufleistung innerhalb der PiezoWalk® Familie.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Datenblatt

Version / Datum

2019-01-21

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2018-10-16

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Dokumentation

N-331 Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk

Version / Datum

1.1.3 2021-09-22

pdf - 2 MB

Englisch

3-D-Modelle

N-331 3D-Modell

zip - 1 MB

Whitepaper

Version / Datum

WP4017E 2018-11

pdf - 637 KB

Version / Datum

WP4017D 2018-11

pdf - 1 MB

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Zu Angebot / Bestellung

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N-331.10

Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk, 25 mm Stellweg, ungeregelt, 50 N Druck- / Zugkraft

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N-331.13

Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk, 25 mm Stellweg, inkrementeller Sensor, 50 N Druck- / Zugkraft

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N-331.20

Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk, 50 mm Stellweg, ungeregelt, 50 N Druck- / Zugkraft

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N-331.23

Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk, 50 mm Stellweg, inkrementeller Sensor, 50 N Druck- / Zugkraft

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