P-871 PICMA® Multilayer-Biegeaktoren

Mit Positionssensor

P-871 PICMA® Multilayer-Biegeaktoren

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Positionssensor für hohe Genauigkeit
nm-Auflösung
Auslenkung bis 2 mm
Vollkeramisch isoliert für hohe Lebensdauer
Ideal für Scan-Anwendungen
Vakuumkompatible Versionen
Geringe Betriebsspannung
Montageadapter inklusive
Spezielle OEM- und Tischverstärker verfügbar

Drahtbonder
Pneumatikventile
Faseroptische Positionierung / Schalter
Laserstrahlsteuerung
Mikromanipulation
Mikropositionierung
Nanotechnologie

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

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Datenblatt

Datenblatt P-871

Version / Datum

2020-03-06

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	P-871.112	P-871.122	P-871.127	P-871.128	P-871.140	Einheit	Toleranz
Betriebsspannungsbereich	0 bis 60 (±30)	0 bis 60 (±30)	0 bis 60 (±30)	0 bis 60 (±30)	0 bis 60 (±30)	V
Stellweg, geregelt	±80	±200	±360	±360	±800	µm
Integrierter Positionssensor	DMS	DMS	DMS	DMS	DMS
Linearitätsabweichung, geregelt	0,5	0,5	0,5	0,5	0,5	%
Statische Großsignalsteifigkeit	0,02	0,01	0,003	0,002	0,0007	N/µm
Blockierkraft	±2,1	±1,25	±1,1	±0,55	±0,5	N	±20 %
Elektrische Kapazität*	2 × 1,1	2 × 2,5	2 × 3,4	2 × 1,2	2 × 4,1	µF	±20 %
Resonanzfrequenz, unbelastet**	1800	600	420	360	160	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz, belastet, 6,5 g	480	220	145	100	60	Hz	±20 %
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 150	-20 bis 85	-20 bis 85	-20 bis 150	-20 bis 85	°C
Kabellänge	1	1	1	1	1	m	+50 mm / -0 mm
Sensor- und Spannungsanschluss	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO
Empfohlene Elektroniken	E-651 • E-614	E-651 • E-614	E-651 • E-614	E-651 • E-614	E-651 • E-614

* Elektrische Kapazität: Gemessen bei 1 V_pp, 1 kHz, RT, Toleranz ±20 %.

** Resonanzfrequenz: Gemessen bei 1 V_pp, unbelastet.

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezoaktoren reibungsfrei arbeiten.

Alle Spezifikationen sind abhängig von den realen Einspannbedingungen und der aufgebrachten mechanischen Last.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

Andere Spezifikationen auf Anfrage.

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Datenblatt

Datenblatt P-871

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2020-03-06

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2020-03-06

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Dokumentation

Benutzerhandbuch P871UM0001

P-871 Biegeaktor

Version / Datum

1.0.0 2021-02-26

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1.0.0 2021-02-26

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3-D-Modelle

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Zu Angebot / Bestellung

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P-871.112

PICMA® Multilayer-Piezobiegeaktor, 160 µm, 9,6 mm Breite, DMS-Sensor

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P-871.122

PICMA® Multilayer-Piezobiegeaktor, 400 µm, 9,6 mm Breite, DMS-Sensor

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P-871.127

PICMA® Multilayer-Piezobiegeaktor, 720 µm, 9,6 mm Breite, DMS-Sensor

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P-871.128

PICMA® Multilayer-Piezobiegeaktor, 720 µm, 6,3 mm Breite, DMS-Sensor

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