H-850.x2IV, Abmessungen in mm, bei Nullposition des Nominalstellweges
Einsatzgebiete
Die hohe Präzision macht den H-850.x2IV zum idealen Positioniersystem um Komponenten mit sechs Freiheitsgraden (6-DoF) in Vakuumanwendungen mit Genauigkeiten im Submikrometerbereich zu positionieren und auszurichten, ohne die Vakuumbedingungen zu stören.
Typische Einsatzgebiete in Industrie und Forschung sind beispielsweise die Präzisionsausrichtung von optischen Komponenten in Vakuumkammern, die Positionierung und Ausrichtung von Lithografie- und Inspektionssystemen, die Ausrichtung von Proben oder Strahloptiken in Beamlines von Forschungsanlagen sowie die Ausrichtung und Bewegung von Komponenten in Vakuum-Testkammern für Satelliten oder optische Sensoren.
Präzise Positionierung bei hohen Lasten
Aufgrund seiner hohen Lastkapazität bis zu 80 kg und seiner bewährten Zuverlässigkeit wird der H-850.x2IV typischerweise zur präzisen Positionierung von schweren Versuchsobjekten oder Proben in Vakuumumgebungen eingesetzt. Die H-850.x2IV sind für Vakuumumgebungen bis 10-6 hPa geeignet.
Die hohen Selbsthaltekräfte sorgen für eine hohe Positionsstabilität und bieten den Vorteil, dass der Hexapod auch in stromlosem Zustand die Position hält.
Parallelkinematisches Design
Das parallelkinematische Design für 6 Freiheitsgrade macht den Aufbau wesentlich kompakter und steifer als vergleichbare seriellkinematische Systeme. Die Vorteile gegenüber seriellen, also gestapelten Systemen, sind vor allem die bessere Bahntreue und Wiederholgenauigkeit. Zudem ist die bewegte Masse geringer und ermöglicht dadurch eine verbesserte Dynamik, die für alle Bewegungsachsen gleich ist. Da keine Kabel bewegt werden, ist auch das Kabelmanagement unproblematisch.
Bewegungssimulation zum Schutz des Gesamtsystems
Die Software PIVirtualMove, die kostenfrei heruntergeladen werden kann, simuliert den Stellweg, die Ausrichtung und die zulässigen Kräfte und Momente des H-850.x2IV, um eine optimale Systemkonfiguration zu ermöglichen. Dabei wird sowohl der gewählte Drehpunkt als auch der Lastschwerpunkt berücksichtigt.
Work- und Tool-Koordinatensysteme sowie ein Emulationstool sind in dem kostenfreien Softwarepaket enthalten, das zum Lieferumfang des Hexapod-Controllers gehört. Die bereitgestellten Tools helfen, kritische Komponenten wie z. B. optische Bauteile in Vakuumumgebungen zu schützen.
| Bewegen | H-850.G2IV | H-850.H2IV | Toleranz |
|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | |
| Stellweg in X | ± 50 mm | ± 50 mm | |
| Stellweg in Y | ± 50 mm | ± 50 mm | |
| Stellweg in Z | ± 25 mm | ± 25 mm | |
| Rotationsbereich in θX | ± 15 ° | ± 15 ° | |
| Rotationsbereich in θY | ± 15 ° | ± 15 ° | |
| Rotationsbereich in θZ | ± 30 ° | ± 30 ° | |
| Maximale Geschwindigkeit in X | 2,5 mm/s | 0,15 mm/s | |
| Empfohlene Geschwindigkeit in X | 2 mm/s | 0,1 mm/s | |
| Maximale Geschwindigkeit in Y | 2,5 mm/s | 0,15 mm/s | |
| Empfohlene Geschwindigkeit in Y | 2 mm/s | 0,1 mm/s | |
| Maximale Geschwindigkeit in Z | 2,5 mm/s | 0,15 mm/s | |
| Empfohlene Geschwindigkeit in Z | 2 mm/s | 0,1 mm/s | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θX | 30 mrad/s | 1,8 mrad/s | |
| Empfohlene Winkelgeschwindigkeit in θX | 25 mrad/s | 1,2 mrad/s | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θY | 30 mrad/s | 1,8 mrad/s | |
| Empfohlene Winkelgeschwindigkeit in θY | 25 mrad/s | 1,2 mrad/s | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θZ | 30 mrad/s | 1,8 mrad/s | |
| Empfohlene Winkelgeschwindigkeit in θZ | 25 mrad/s | 1,2 mrad/s | |
| Positionieren | H-850.G2IV | H-850.H2IV | Toleranz |
| Kleinste Schrittweite in X | 1 µm | 0,3 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in Y | 1 µm | 0,3 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in Z | 0,5 µm | 0,2 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θX | 7,5 µrad | 3 µrad | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θY | 7,5 µrad | 3 µrad | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θZ | 15 µrad | 5 µrad | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θX | ± 3 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θY | ± 3 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θZ | ± 7,5 µrad | ± 7,5 µrad | typ. |
| Umkehrspiel in X | 8 µm | 6 µm | typ. |
| Umkehrspiel in Y | 8 µm | 6 µm | typ. |
| Umkehrspiel in Z | 1,5 µm | 0,5 µm | typ. |
| Umkehrspiel in θX | 25 µrad | 7,5 µrad | typ. |
| Umkehrspiel in θY | 25 µrad | 7,5 µrad | typ. |
| Umkehrspiel in θZ | 90 µrad | 60 µrad | typ. |
| Antriebseigenschaften | H-850.G2IV | H-850.H2IV | Toleranz |
| Antriebstyp | DC-Getriebemotor | DC-Getriebemotor | |
| Nennspannung | 24 V | 24 V | |
| Mechanische Eigenschaften | H-850.G2IV | H-850.H2IV | Toleranz |
| Steifigkeit in X | 3,5 N/µm | 4 N/µm | |
| Steifigkeit in Y | 3,5 N/µm | 4 N/µm | |
| Steifigkeit in Z | 50 N/µm | 60 N/µm | |
| Maximale Nutzlast, Grundplatte horizontal | 25 kg | 80 kg | |
| Maximale Nutzlast, Grundplatte in beliebiger Ausrichtung | 10 kg | 40 kg | |
| Maximale Haltekraft, passiv, Grundplatte horizontal | 250 N | 2000 N | |
| Maximale Haltekraft, passiv, Grundplatte in beliebiger Ausrichtung | 85 N | 500 N | |
| Spindeltyp | Kugelumlaufspindel | Kugelumlaufspindel | |
| Gesamtmasse | 17 kg | 17 kg | |
| Material | Aluminium | Aluminium | |
| Anschlüsse und Umgebung | H-850.G2IV | H-850.H2IV | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -10 bis 50 °C | -10 bis 50 °C | |
| Vakuumklasse | 10⁻⁶ ǀ hPa | 10⁻⁶ ǀ hPa | |
| Einschaltdauer | 5 % | 10 % | |
| Anschluss Datenübertragung | HD D-Sub 78 (m) | HD D-Sub 78 (m) | |
| Anschluss Versorgungsspannung | M12 4-polig (m) | M12 4-polig (m) | |
| Kabellänge | 2 m | 2 m | |
| Empfohlene Controller/Treiber | C-887.5x | C-887.5x |
Die Einschaltdauer definiert das maximal zulässige Betriebsintervall des Hexapods, nach dem eine Ruhephase erfolgen muss, um keine Beschädigung am Hexapod durch zu hohe Wärmeentwicklung hervorzurufen. Die Einschaltdauer für einen Dauerbetrieb des H-850.x2IV ist definiert als: maximale Bewegungsdauer von 15 Minuten bei empfohlener Geschwindigkeit. Bei Dauerbetrieb im Vakuum kann aufgrund von Wärmeentwicklung gegebenenfalls eine Einschränkung der Betriebsparameter erforderlich sein.
Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
Sonderausführungen und kundenspezifische Anpassungen auf Anfrage.
Bei der Vermessung der Positionsspezifikationen wird die typische Geschwindigkeit verwendet. Die Daten werden als Messprotokoll mit dem Produkt ausgeliefert und bei PI vorgehalten.
Die maximalen Stellwege der einzelnen Koordinaten (X, Y, Z, θX, θY, θZ) sind voneinander abhängig. Die Daten für jede Achse zeigen jeweils ihren maximalen Stellweg, wenn alle anderen Achsen auf der Nullposition des Nominalstellweges stehen und das werkseitige Koordinatensystem verwendet wird, beziehungsweise wenn der Pivotpunkt auf 0,0,0 gesetzt ist.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
H-850 Hexapod-Mikroroboter mit hervorragender Wiederholgenauigkeit
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Präziser Hexapod; DC-Getriebemotor; Rotationsencoder; 25 kg Nutzlast; 2,5 mm/s maximale Geschwindigkeit; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa; Kabelsatz 2 m vakuumseitig; Durchführung. Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
Präziser Hexapod; DC-Getriebemotor; Rotationsencoder; 80 kg Nutzlast; 0,15 mm/s maximale Geschwindigkeit; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa; Kabelsatz 2 m vakuumseitig; Durchführung. Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
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