Integrierte Piezoaktoren

Sub-Millisekunden-Ansprechzeit und Sub-Nanometer-Auflösung

  • Gehäuse mit mechanischen Adaptern zur elektrischen Isolation, einfachen Integration und zum Schutz des Aktors vor den Umgebungsbedingungen
  • Mechanische Vorspannung ermöglicht dynamischen Betrieb
  • Flexure Festkörpergelenksführungen für geradlinige Bewegung
  • Im Flexure integrierte mechanische Hebelübersetzung für große Stellwege
  • DMS-Sensoren für Wiederholgenauigkeiten von nur wenigen Nanometern

Anwendungen

Die mechanische Integration von Piezoaktoren erleichtert deren Anwendung. Um Zugkräfte am Piezoelement, die bei dynamischen Anwendungen durch die Trägheit der bewegten Last unweigerlich auftreten, zu vermeiden, ist es erforderlich, das Piezoelement mit einer mechanischen Vorspannung zu versehen. Dies kann in mechanischen Gehäusen erfolgen oder durch Festkörpergelenke. Letztere übernehmen zusätzlich die Führung oder Umlenkung der Bewegungsrichtung oder erhöhen den Stellweg durch eine Hebelübersetzung. PI bietet mit vorgespannten, integrierten Piezoaktoren eine Integrationsstufe zwischen dem reinem Piezoelement und dem Piezopositioniersystem für einfache Zustellaufgaben.

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PiezoMove® Hebelaktoren

Geführte Aktoren mit Stellwegen bis 2 mm

Geführte und vorgespannte Multilayer-Piezoaktoren mit Hebelübersetzung werden eingesetzt für Ventile, Pumpen, Mikro- und Nanoliterdosierung, aktive Schwingungsisolierung, Probenhandling und Imprinttechniken in Mikrofluidtechnik, Biotechnologie, Medizintechnik, Mechatronik, Adaptronik, Lasertechnik oder Messtechnik.

Mechanische Führung, Vorspannung und Hebelübersetzung für Stellwege bis 2 mm
Versionen mit DMS-Sensoren für Wiederholgenauigkeiten von nur wenigen Nanometern
Preisgünstige OEM-Lösungen zur Integration, auch für hohe Stückzahlen

P-601 PiezoMove® Linearaktor mit Führungen

P-602 PiezoMove® Linearaktor mit hoher Steifigkeit

P-603 Preisgünstiger PiezoMove® Linearaktor

P-604 Kompakter PiezoMove® Linearaktor


Kompakte Aktoren

Vorgespannte PICMA® Piezo-Linearaktoren

Anwendungen mit gleichzeitig hohen Anforderungen an Präzision und Dynamik gibt es unter anderem in der Fluid- und Dosiertechnik oder bei der präzisen Justage von Spaltbreiten in der Optik oder Fertigungstechnik. Ausführungen für Vakuum bis 10-9 hPa sind verfügbar.

Sub-Millisekunden-Ansprechzeit und Sub-Nanometer-Auflösung
Versionen mit DMS-Positionssensor verfügbar
Wassergeschützte Versionen verfügbar
PICMA® Piezo Linear Actuators

PICMA® Piezolinearaktoren

Multilayer-Piezoaktoren mit vollkeramischer Isolierung


Hochlastaktoren

Vorgespannte, kompakte PICA Piezo-Linearaktoren

Hochdynamische Anwendungen mit gleichzeitig hohen Anforderungen an Präzision und Krafterzeugung gibt es unter anderem im Präzisionsmaschinenbau, bei der Materialbearbeitung und –formung oder der aktiven Kompensation von Schwingungen. Ausführungen für Vakuum bis 10-9 hPa, besonders hohe oder tiefe Betriebstemperaturen sind verfügbar.

Sub-Millisekunden-Ansprechzeit und Sub-Nanometer-Auflösung
Kompakte Edelstahlgehäuse mit variablen Endstücken
Versionen mit DMS-Positionssensor verfügbar

PICA Gestapelte piezoelektrische Aktoren

Stack, Power und Thru


PICMA® Bender Multilayer-Biegeaktoren

mit Positionssensor

Bimorpher Aufbau für symmetrische Auslenkung
Sub-Millisekunden-Ansprechzeit und Sub-Nanometer-Auflösung
Einfache Montage

Vorgespannte Disk-Translatoren

Bimorpher Aufbau für symmetrische Auslenkung
Sub-Millisekunden-Ansprechzeit und Sub-Nanometer-Auflösung
Einfache Montage

P-286 · P-288 · P-289 Disk-Translatoren

Bimorph-Piezoaktoren mit hoher Dynamik

  • Stellweg bis 200 μm
  • Sub-nm Auflösung
  • Sub-ms Ansprechzeit
  • Preisgünstig
  • Flaches Design

Motion Controller und Verstärker

PI bietet vom gehausten digitalen Motion Controller bis hin zur OEM-Platine ein breites Spektrum von Möglichkeiten zur Ansteuerung von integrierten Piezoaktoren:

 

Welche Ansteuerung passt?PiezoMove® / PICMA®
ohne Sensoren
U <120 V
PICA
ohne Sensoren
U <1000 V
PiezoMove® / PICMA®
mit DMS-Sensoren
PICA
mit DMS-Sensoren
mittlere Dynamik,
mittlere Lasten
>> E-836
>> E-610
E-420>> E-610
>> E-625
E-420

mittlere Dynamik,
mittlere Lasten,
hohe Stückzahlen

>> E-831>> E-462--
schnelle Schaltanwendungen>> E-617
>> E-618
>> E-506
>> E-482>> E-500>> E-481
hohe Lasten
(>100 kg)
-E-420-E-420

 

Verstärker und Controller für PICMA® Stack/Chip Multilayer-Aktoren

Piezoverstärker für >> PICMA® Multilayer-Piezoaktoren bieten eine Ausgangsspannung bis 130 V. Verstärker mit hohem Ausgangsstrom ermöglichen einen dynamischen Betrieb der Aktoren und präzise Positionierung mit geringem Leistungsbedarf.

Verstärker und Controller für PICA Stack/Power/Thru Aktoren

Piezoverstärker für >> PICA Aktoren bieten einen Spannungshub bis 1100 V, der unipolar oder bipolar zur Verfügung steht. Verstärker mit hohem Ausgangsstrom ermöglichen einen dynamischen Betrieb der Aktoren und präzise Positionierung mit geringerem Leistungsbedarf.

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