Maximale Präzision auf kleinstem Raum

Miniaturlineartisch mit Biphase-Inertia-Antrieb für nanometergenaue Positionierung, höchste Langzeitstabilität und flexible Konfiguration

Exaktes, stabiles Positioniersystem für anspruchsvolle Hightech-Anwendungen

Langzeitstabile Bewegungen, reproduzierbare Positionierung im Nanometerbereich sowie eine kompakte Bauweise und flexible Konfiguration für den Einsatz in kleinen Bauräumen - das sind zentrale Herausforderungen moderner Hightech-Positionieranwendungen. Schon kleinste Abweichungen können die Funktion beeinträchtigen, entsprechend hoch sind die Ansprüche an Auflösung, Stabilität und Integrationsfähigkeit. Der B-421 BIX Miniaturlineartisch wurde entwickelt, um diesen technischen Anforderungen zuverlässig gerecht zu werden.

 

Vorteile auf einen Blick:
 

  • Herausragende Präzision: Kleinste Schrittweite von 10 nm
  • Stabil: Selbsthemmende Mechanik für hohe Positionsstabilität über lange Zeiträume
  • Exakte Positionierung: Hohe Auflösung und Reproduzierbarkeit
  • Platzsparend: Kompaktes Design von 25 mm Breite und 11mm Höhe
  • Flexibel: Stapelbar für mehrachsige Kombinationen

 

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Exakte Strahlformung und Strahllenkung

Der Erfolg moderner Hochpräzisionssysteme hängt vor allem von der stabilen und nanometergenauen Positionierung der optischen Komponenten ab. Bei der Strahlmanipulation sind typische Anforderungen unter anderem die Langzeitpositionierung von Spiegeln, Blenden oder Linsen oder die nanometergenaue Ausrichtung für reproduzierbare Strahlführung. Gefragt sind kompakte Positioniersysteme, die nanometergenaue Bewegungen ermöglichen und sich flexibel in Multi-Achs-Setups integrieren lassen. Besonders in der Halbleiterindustrie, etwa bei der Overlay-Messtechnik, und in der Mikroskopie bei superauflösenden Mikroskopieverfahren, wie TIRF oder STED ist das entscheidend für die Strahlqualität.

Mit dem B-421 BIX Miniaturlineartisch bringen wir Präzision in die Halbleiterqualitätssicherung – genau dort, wo konventionelle Systeme an ihre Grenzen stoßen. Dank kompakter Bauform und exakter Bewegungen im Nanometerbereich unterstützen wir unsere Kunden bei der zuverlässigen Qualitätskontrolle und Prozessoptimierung.

Dr. Cameron Hughes, Produktmanager PI

Wichtige Fakten auf einen Blick

  • Kleinste Schrittweite von 10nm 
  • 25 mm breit, 11mm hoch 
  • Stellweg von 13 bis 33 mm 
  • 6 nm Auflösung 
  • Maximale Antriebskraft von 2,5 N 
  • Maximale Nutzlast 0,5 kg (Bewegung in x) und 0,15 kg (Bewegung in z) 
  • Benutzerfreundliche Software PIMikroMove

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