Festkörpergelenksführungen

Die Bewegung eines Festkörpers basiert auf der elastischen Deformation eines Festkörpers, wodurch Haft-, Roll- oder Gleitreibung vermieden wird. Festkörperelemente wie Gelenke oder Führungssysteme zeichnen sich durch hohe Steifigkeit und hohe Belastbarkeit aus und sind kaum schlag- oder vibrationsempfindlich. Sie sind verschleiß- und wartungsfrei, vakuum-kompatibel, funktionieren in einem großen Temperaturbereich und benötigen keine Schmierstoffe.

Firmware

Auf dem Controller installierte Software.

Flächenscan

Bewegungssequenz für eine vordefinierte Fläche.

Siehe >> Scan-Routine.

FMPA

Abkürzung für „Fast Multichannel Photonic Alignment“.

Funktionsgenerator

Jede Achse kann von einem Funktionsgenerator gesteuert werden, der Kurvenformen ausgibt. Der Funktionsgenerator ist besonders für dynamische Anwendungen geeignet, in denen die Achse in freien, vom Benutzer definierten Bewegungsprofilen arbeitet.