P-616.3C
Parallelkinematischer NanoCube® Nanopositionierer; 100 µm × 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y × Z); kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 25W3 (m); 1,5 m Kabellänge
P-616 NanoCube® Nanopositionierer
Kompakter parallelkinematischer Nanopositionierer für Faserjustage und Scanning-Mikroskopie
- Parallelkinematisches Design für höchste Steifigkeiten in allen Raumrichtungen
- Hochdynamische Bewegungen mit Lasten bis zu 100 g durch hohe Resonanzfrequenzen
- Innovatives Produktdesign durch eine einzige, flexibel einsetzbare Montageplattform
- Einziger auf dem Markt verfügbarer Nanopositionierer mit ID-Chip-Funktionalität
- Kleinster und leichtester NanoCube® am Markt mit 100 µm Stellweg
P-616.3C, Abmessungen in mm.
P-616 NanoCube® Nanopositionierer
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Einsatzgebiete
- Faserpositionierung und -ausrichtung
- Scanning-Mikroskopie
- 2-Photonen-Polymerisation
- Nanotechnologie und Nanofertigung
- Photonik / integrierte Optik
- Mikromanipulation
- Probenpositionierung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Hochdynamischer Mehrachsbetrieb durch Parallelkinematik
In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.
Spezifikationen
Spezifikationen
Wählen Sie einen Stellweg:
Klicken Sie in die Tabelle und nutzen Sie die Pfeiltasten auf Ihrer Tastatur, um nach links und rechts zu scrollen.
| Bewegen | P-616.3C | Toleranz |
|---|---|---|
| Aktive Achsen | X ǀ Y ǀ Z | |
| Stellweg in X | 100 µm | |
| Stellweg in Y | 100 µm | |
| Stellweg in Z | 100 µm | |
| Stellweg in X, ungeregelt | 110 µm | ±20 % |
| Stellweg in Y, ungeregelt | 110 µm | ±20 % |
| Stellweg in Z, ungeregelt | 110 µm | ±20 % |
| Linearitätsabweichung in X | 0,03 % | typ. |
| Linearitätsabweichung in Y | 0,03 % | typ. |
| Linearitätsabweichung in Z | 0,03 % | typ. |
| Positionieren | P-616.3C | Toleranz |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | 10 nm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | 20 nm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | 10 nm | typ. |
| Auflösung in X, ungeregelt | 0,3 nm | typ. |
| Auflösung in Y, ungeregelt | 0,3 nm | typ. |
| Auflösung in Z, ungeregelt | 0,3 nm | typ. |
| Integrierter Sensor | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | |
| Systemauflösung in X | 0,4 nm | |
| Systemauflösung in Y | 0,4 nm | |
| Systemauflösung in Z | 0,4 nm | |
| Antriebseigenschaften | P-616.3C | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | |
| Elektrische Kapazität in X | 1,5 µF | ±20 % |
| Elektrische Kapazität in Y | 1,5 µF | ±20 % |
| Elektrische Kapazität in Z | 1,5 µF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-616.3C | Toleranz |
| Steifigkeit in X | 0,5 N/µm | ±20 % |
| Steifigkeit in Y | 0,5 N/µm | ±20 % |
| Steifigkeit in Z | 0,5 N/µm | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, unbelastet | 700 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 38 g | 380 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g | 250 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, unbelastet | 700 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 38 g | 380 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 100 g | 250 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, unbelastet | 700 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 38 g | 380 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 100 g | 250 Hz | ±20 % |
| Zulässige Druckkraft in X | 15 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Y | 15 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 15 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in X | 15 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Y | 15 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Z | 15 N | max. |
| Zulässiges Moment in θX | 0,4 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θY | 0,4 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θZ | 0,4 N·m | max. |
| Bewegte Masse in X, unbelastet | 21 g | |
| Bewegte Masse in Y, unbelastet | 21 g | |
| Bewegte Masse in Z, unbelastet | 21 g | |
| Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
| Gesamtmasse | 400 g | |
| Masse ohne Kabel | 125 g | |
| Material | Aluminium, Stahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | P-616.3C | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | |
| ID-Chip | Ja | |
| Anschluss | D-Sub 25W3 (m) | |
| Kabellänge | 1,5 m | |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-503, E-663, E-712, E-727 |
Die bidirektionale Wiederholgenauigkeit bezieht sich auf einen 10-%-Schritt und ist ein 1 Sigma-Wert.
Downloads
Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
User Manual F603T0003
F-603.41 / F-603.42 / F-603.43 Fiber holders for P-616-type (NanoCube®) piezo positioners
Version / Datum
2018-12-03
pdf - 793 KB
Englisch
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ268
P-616 NanoCube® XYZ-Nanopositionierer
Version / Datum
1.2.0 2024-04-04
pdf - 1 MB
Version / Datum
1.2.0 2024-04-04
pdf - 1 MB
3-D-Modelle
3-D-Modelle
P-616.3C 3D-Modell
zip - 342 KB
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