P-612.2 XY Piezo-Nanopositioniersystem

Kompakt, mit Apertur

P-612.2 XY Piezo-Nanopositioniersystem
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  • Kompakt: Grundfläche 60 mm × 60 mm
  • 100 µm × 100 µm geregelter Stellweg (130 µm × 130 µm, ungeregelt)
  • Für kostenkritische Anwendungen
  • Freie Apertur 20 mm × 20 mm
  • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • Auch als Kompaktversion erhältlich

Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Hochdurchsatz-Mikroskopie
  • Superresolution-Mikroskopie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Interferometrie
  • Messtechnik
  • Biotechnologie
  • Mikromanipulation

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Spezifikationen

Datenblatt P-612.2

Version / Datum
2018-04-16
Version / Datum
2018-04-16
Version / Datum
2018-06-13
Dokumentsprache
pdf - 638 KB
pdf - 970 KB
pdf - 720 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt P-612.2

Version / Datum
2018-04-16
Version / Datum
2018-04-16
Version / Datum
2018-06-13
Dokumentsprache
pdf - 638 KB
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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ280

P-612 XY-Nanopositioniersysteme und Nanopositionier-Hubtische
Version / Datum
1.0.0 2017-04-27
Version / Datum
1.0.0 2017-04-27
Dokumentsprache
pdf - 2 MB
pdf - 2 MB

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