S-330 Schnelle Piezo-Kippplattform

Dynamisch, mit großen Ablenkwinkeln, für Spiegel und Optiken

Kippwinkel bis 10 mrad, optischer Ablenkwinkel bis 20 mrad (>1°)
Hohe Resonanzfrequenzen bis 1,6 kHz(1"-Spiegel) für dynamisches Bewegen und schnelles Einschwingen
Auflösung bis 20 nrad
Hervorragende Positionsstabilität
Sub-ms-Ansprechzeit
Für Spiegel bis Ø 50 mm

S-330.xSH, Abmessungen in mm.

S-330.xSL mit Kabelsplitterbox; Abmessungen in mm.

Systemfrequenzgang mit unterschiedlichen E-727 Controllern und Spiegelgrößen: S-330.2SH

Systemfrequenzgang mit unterschiedlichen E-727 Controllern und Spiegelgrößen: S-330.8SH

Bildverarbeitung / -stabilisierung
Optische Falle
Laserscanning / -strahlsteuerung
Lasertuning
Optische Filter / Schalter
Optik
Strahlstabilisierung

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.

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Datenblatt

Version / Datum

2020-10-12

pdf - 428 KB

Version / Datum

2020-10-12

pdf - 433 KB

Version / Datum

2021-01-26

pdf - 595 KB

Version / Datum

2018-07-19

pdf - 891 KB

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	S-330.2SH / S-330.2SL	S-330.4SH / S-330.4SL	S-330.8SH / S-330.8SL	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	θ_X, θ_Y	θ_X, θ_Y	θ_X, θ_Y
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor *	DMS	DMS	DMS
Kippwinkel in θ_X, θ_Y bei -20 bis 120 V, ungeregelt	3,5	7	15	mrad	min.
Kippwinkel in θ_X, θ_Y, geregelt	2	5	10	mrad
Auflösung in θ_X, θ_Y, ungeregelt	0,02	0,1	0,2	µrad	typ.
Auflösung in θ_X, θ_Y, geregelt	0,05	0,25	0,5	µrad	typ.
Linearitätsabweichung in θ_X, θ_Y	0,05 **	0,1 **	0,1 **	%	typ.
Wiederholgenauigkeit in θ_X, θ_Y, 10 % Kippwinkel	0,06 **	0,08 **	0,15 **	µrad	typ.
Wiederholgenauigkeit in θ_X, θ_Y, 100 % Kippwinkel	0,6 **	0,8 **	1,5 **	µrad	typ.
Mechanische Eigenschaften
Resonanzfrequenz, unbelastet in θ_X, θ_Y	2,4	2,0	1,0	kHz	±20 %
Resonanzfrequenz, belastet in θ_X, θ_Y (mit Glasspiegel, Ø 25 mm, Dicke 8 mm)	1,6	1,5	1,0	kHz	±20 %
Abstand Drehpunkt-Plattformoberfläche	6,5	6,5	6,5	mm	±1 mm
Trägheitsmoment der Plattform	1530	1530	1530	g × mm²	±20 %
Antriebseigenschaften
Keramiktyp	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Elektrische Kapazität	3 / Achse	6 / Achse	12,5 / Achse	µF	±20 %
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	°C
Material Gehäuse	Stahl	Stahl	Stahl
Material Plattform	Invar	Invar	Invar
Masse	0,2	0,38	0,7	kg	±5 %
Kabellänge	2	2	2	m	+100 mm / -0 mm
Sensor- / Spannungsanschluss	SH-Version: D-Sub 37 (m) SL-Version: LEMO	SH-Version: D-Sub 37 (m) SL-Version: LEMO	SH-Version: D-Sub 37 (m) SL-Version: LEMO
Empfohlene Elektroniken	E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00, E-727	E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00, E-727	E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00, E-727

* Modelle ohne Sensor sind auf Anfrage realisierbar.

** S-330.xSH in Kombination mit digitalen Controllern.

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

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Datenblatt

Version / Datum

2020-10-12

pdf - 428 KB

Version / Datum

2020-10-12

pdf - 433 KB

Version / Datum

2021-01-26

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Version / Datum

2018-07-19

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Dokumentation

Piezokippplattformen: S-3xx

Version / Datum

1.3.0 09/2021

pdf - 1 MB

Version / Datum

1.3.0 09/2021

pdf - 1 MB

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Dokumentation

S-330.xSH und S-330.xSL Hochdynamische Kippplattformen

Version / Datum

1.1.1 2020-10-12

pdf - 931 KB

Version / Datum

1.1.1 2020-10-12

pdf - 983 KB

Dokumentation

S-330.xSD Hochdynamische Piezo-Kippplattformen

Version / Datum

2007-07-24

pdf - 347 KB

Englisch

3-D-Modelle

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3-D-Modelle

zip - 550 KB

3-D-Modelle

zip - 575 KB

Whitepaper

Aufbau – Performance – Tuning

Version / Datum

WP4012E 2018-10

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Version / Datum

WP4012D 2018-10

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S-330.2SL

Hochdynamische Kippplattform, 2 mrad Kippwinkel, Dehnmessstreifen-Sensoren, LEMO-Stecker

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S-330.2SH

Hochdynamische Kippplattform, 2 mrad Kippwinkel, Dehnmessstreifen-Sensoren, D-Sub 37-Stecker

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S-330.4SL

Hochdynamische Kippplattform, 5 mrad Kippwinkel, Dehnmessstreifen-Sensoren, LEMO-Stecker

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S-330.4SH

Hochdynamische Kippplattform, 5 mrad Kippwinkel, Dehnmessstreifen-Sensoren, D-Sub 37-Stecker

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